O a ni isi mea e sui ai vaega o le granite i masini semiconductor? O a ni lelei ma ni mea le lelei o nei mea e sui ai pe a fa'atusatusa i le granite?

O le Granite o se mea e masani ona faʻaaogaina i le pisinisi semiconductor ona o ona uiga lelei faʻainisinia, mautu i le vevela, ma le maualalo o le coefficient o le faʻalauteleina o le vevela. Peitaʻi, faʻatasi ai ma le faʻateleina o le manaʻoga mo le saʻo ma le gaosiga maualuga, ua aliaʻe mai ai ni mea faʻaopoopo e avea ma filifiliga talafeagai mo le gaosiga o vaega o masini semiconductor. I totonu o lenei tusiga, o le a matou suʻesuʻeina nisi o mea faʻaopoopo mo vaega granite i masini semiconductor ma faʻatusatusa o latou lelei ma mea le lelei.

Meafaitino Eseese mo Vaega Granite

1. Mea tioata-seramika

O mea tioata-seramika, e pei o le Zerodur ma le Cervit, ua lautele lona faʻaaogaina i le alamanuia semiconductor ona o le maualalo o le faʻalauteleina o le vevela, lea e latalata i le silicon. O le mea lea, e mafai e nei mea ona maua ai le mautu lelei o le vevela ma le faʻaleleia atili o le saʻo i le faagasologa o le gaosiga o semiconductor. Ae maise lava le Zerodur, e maualuga lona tulaga o le tutusa ma le mautu, ma talafeagai ai mo le gaosiga o masini lithography.

Fa'amanuiaga:

- Fa'aitiitiga maualalo o le fa'alauteleina o le vevela
- Maualuga le sa'o ma le mautu
- Talafeagai mo galuega i le vevela maualuga

Le lelei:

- Tau maualuga atu pe a faʻatusatusa i le granite
- E fai si maaleale, e ono avea ma luʻitau i le faʻaaogaina o masini ma le taulimaina

2. Omea

O mea seramika, e pei o le alumini oxide (Al2O3), silicon carbide (SiC), ma le silicon nitride (Si3N4), e iai o latou uiga fa'amekanika lelei tele, tete'e atu i le vevela maualuga, ma le maualalo o le fa'alauteleina o le vevela. O nei uiga e avea ai seramika ma mea e fetaui lelei mo vaega o masini semiconductor e mana'omia ai le maualuga o le mautu o le vevela ma le sa'o, e pei o vaega o le wafer ma chucks.

Fa'amanuiaga:

- Mausali maualuga ma le malosi i le vevela
- Fa'alauteleina maualalo o le vevela
- Tete'e maualuga i le ofuina ma le le gaoioi o vaila'au

Le lelei:

- E mafai ona maaleale ma faigofie ona malepe, aemaise lava i le taimi o le masini ma le taulimaina
- O le fa'a'ele'eleina ma le fa'apulusaina o keramika e mafai ona faigata ma tele ai le taimi e alu ai

3. Uamea

O mea e fa'avae i u'amea, e pei o le u'amea e le gaoia ma le titanium, ua fa'aaogaina mo nisi vaega o masini semiconductor ona o lo latou faigofie ona fa'aaogaina ma le malosi tele. E masani ona fa'aaogaina i galuega e le mana'omia ai le maualuga o le mautu o le vevela, e pei o vaega o le chamber, couplings, ma feedthroughs.

Fa'amanuiaga:

- Lelei le faigofie ona fa'a'ele'ele ma le faigofie ona fa'apipi'i
- Malosi maualuga ma le ductility
- Tau maualalo pe a faʻatusatusa i nisi o meafaitino eseese

Le lelei:

- Fa'aopoopoga maualuga o le vevela
- E le talafeagai mo galuega i le vevela maualuga ona o faʻafitauli o le faʻalauteleina o le vevela
- E faigofie ona 'ele ma fa'aleagaina

Faaiuga:

I se aotelega, e ui o le granite o se filifiliga lauiloa mo vaega o masini semiconductor, ae ua aliaʻe mai ni isi meafaitino, e tofu ma ona lelei ma ona le lelei tulaga ese. O meafaitino tioata-seramika e matua saʻo ma mautu ae e mafai ona malepelepe. O seramika e malolosi ma e matua mautu lelei i le vevela ae e mafai foi ona malepelepe, ma faigata ai ona gaosia. E taugofie uʻamea, e faigofie ona faʻaaogaina masini, ma e faigofie ona faʻapipiʻi, ae e maualuga atu lo latou coefficient o le faʻalauteleina o le vevela ma e faigofie ona pala ma faʻaleagaina. Pe a filifilia meafaitino mo meafaigaluega semiconductor, e taua tele le mafaufau i manaʻoga patino o le faʻaoga ma filifili meafaitino e paleni le tau, faʻatinoga, ma le faʻatuatuaina.