I totonu o matā'upu o gaosiga maualuluga ma su'esu'ega fa'asaienisi fa'aonaponei, o le fa'avae fa'agaoioi ea e fa'atumauina ai le mamafa tumau o le mea taua lea e ausia ai le fa'agaioiga sa'o atoatoa. O le fa'avae sa'o o le granite o le vaega autū lea e lagolago ai le fa'avae, ma o lona fa'atinoga e feso'ota'i vavalalata ma le siosiomaga faigaluega. O le malamalama ma le fa'ataunu'uina o nei mana'oga fa'ale-siosiomaga e le gata ina fa'amautinoa ai le fa'agaioiga sa'o maualuga o le fa'avae, ae o se vaega taua fo'i o le pisinisi e fa'aleleia atili ai lona tauva i matā'upu e feso'ota'i, lea o lo'o fa'amatalaina auiliili i lalo.
1. Vevela: pulea sa'o e fa'amautinoa ai le mautu o le fua
E ui lava ina lauiloa le granite i lona mautu, ae o lona coefficient o le faʻalauteleina o le vevela e le o se zero, ma o suiga laiti o le vevela e ono aʻafia ai le saʻo o lona fua. I se tulaga lautele, o le coefficient o le faʻalauteleina o le vevela o le granite e 5-7 ×10⁻⁶/℃. I le faʻaaogaina o le faʻavae o le saʻo o le ea o loʻo opeopea, o lenei suiga laʻititi e faʻateleina e le faʻavae, lea e ono oʻo atu ai i le eseesega o le saʻo o le gaioiga. Mo se faʻataʻitaʻiga, i le faiga o le gaosiga o le semiconductor chip, o le faiga o le lithography mo le saʻo o le tulaga o le tulaga danami, o le suiga o le vevela o le siosiomaga e 1 ° C, o le umi o le itu o le 1 mita o le faʻavae granite e mafai ona maua ai le 5-7 microns o le faʻalauteleina laina poʻo le faʻapuʻupuʻu, lea e lava lea e faʻaitiitia ai le fua o le lithography o le chip. O le mea lea, o le faʻavae o le saʻo o le ea o loʻo opeopea ua faʻapipiʻiina i le faʻavae saʻo o le granite, o le vevela lelei o le siosiomaga faigaluega e tatau ona pulea lelei i le 20 ° C ±1 ° C, e mafai e pisinisi ona faʻapipiʻi le ea malulu maualuga-saʻo, mataʻituina pea ma fetuʻunaʻi saʻo le vevela o le siosiomaga, tausia le tele o le mautu o le faʻavae granite, ina ia mautinoa o le faʻagaioiga maualuga-saʻo o le faʻavae.
2.susu: pulea talafeagai, puipuia le faatinoga faavae
E iai fo'i le a'afiaga tele o le susū i fa'avae granite sa'o. I se siosiomaga e maualuga le susū, e faigofie ona mitiia e le granite le ausa vai, ma e ono iai le condensation i luga o le fogāeleele, lea e le gata ina fa'alavelave ai i le fa'agaioiga masani o le faiga o le ea flotation, ae o'o atu ai fo'i i le fa'aleagaina umi o le fogāeleele granite, ma fa'aitiitia ai lona sa'o ma le umi o le tautua. O le fa'aaogaina o le fale gaosi olo tioata opitika e fai ma fa'ata'ita'iga, afai e maualuga atu le susū i le 60%RH mo se taimi umi, o le ausa vai e pipii i luga o le fogāeleele o le fa'avae granite o le a fa'aleagaina ai le tutusa o le ata o le ea float, ma i'u ai i le fa'aitiitia o le sa'o o le oloina o tioata ma fa'aletonu o le fogāeleele. O le mea lea, e mana'omia ona pulea le susū o le siosiomaga faigaluega i le va o le 40%-60%RH. E mafai e pisinisi ona fa'aogaina mea e fa'amamago ai le susū, masini e iloa ai le susū ma isi meafaigaluega e mata'ituina ma pulea ai le susū i le taimi moni, fausia se siosiomaga talafeagai mo le susū mo le fa'avae granite sa'o, ma fa'amautinoa le fa'agaioiga mautu o le fa'avae o le ea float static pressure.
3. mama: pulea lelei, aveese le fa'alavelave o vaega laiti
O vaega o le pefu o le "fili" lea o le tulaga fa'asolo ea e fe'avea'i ai le ea e fa'a'ele'elea ai le ea, ma e matua fa'aleagaina ai le fa'avae sa'o o le granite. O le taimi lava e ulufale ai vaega laiti i le va o le kesi ata i le va o le kesi fe'avea'i ma le fa'avae granite, e mafai ona latou fa'aleagaina le tutusa o le kesi ata, fa'ateleina le fete'ena'iga, ma e o'o lava i le valuina o le fogā'ele'ele, ma a'afia ai le sa'o o le gaioiga o le tulaga. I le fale faigaluega masini e sili ona sa'o o vaega o le ea, afai e pa'u'ū vaega o le pefu i le ea i luga o le fa'avae granite, e ono fa'aletonu le auala e gaoioi ai le meafaigaluega masini, ma a'afia ai le sa'o o vaega o le masini. O le mea lea, e tatau ona tausia le nofoaga faigaluega ia matuā mamā ma ia o'o atu i le tulaga mama o le 10,000 pe sili atu fo'i. E mafai e pisinisi ona fa'amamā ese vaega o le pefu i le ea e ala i le fa'apipi'iina o faamama ea maualuga le lelei (HEPA), ma mana'omia ai le aufaigaluega e ofuina ni lavalava e leai se pefu, ufiufi seevae, ma isi mea, e fa'aitiitia ai le pefu e aumaia e tagata, ma fa'atumauina le siosiomaga fa'agaoioiga maualuga o le fa'avae granite ma le fa'avae ea e fe'avea'i ai le ea e fa'a'ele'elea ai le ea.
4. Vitio: Vaeluaina lelei e fausia ai se avanoa lamolemole
O le gatete mai fafo o le a matuā faʻalavelaveina ai le saʻo o le tulaga faʻapipiʻi ea e opeopea ai le mamafa tumau, e ui lava o le faʻavae granite saʻo e iai sona gafatia faʻaitiitia le gatete, ae o le gatete malosi tele e ono solia ai lona tapulaʻa puipuia. O le gatete e mafua mai i feoaʻiga i totonu o le fale gaosi oloa ma le faʻagaioiga o masini tetele e tuʻuina atu i le faʻavae granite e ala i le eleele, lea o le a faʻalavelaveina ai le saʻo o le gaioiga o le tulaga. I le CMM maualuga, o le gatete e ono mafua ai ona le mautu le fesootaʻiga i le va o le mea e fuaina ma le mea faigaluega e fuaina, ma iʻu ai i le se ese o faʻamatalaga o le fuaina. Ina ia foia lenei faʻafitauli, e tatau ona faʻaaogaina ni auala lelei e vavaeʻese ai le gatete, e pei o le faʻatulagaina o pads e vavaeʻese ai le gatete i le nofoaga e faʻapipiʻi ai masini, fausiaina o le faʻavae e vavaeʻese ai le gatete, poʻo le faʻaaogaina o le faiga e vavaeʻese ai le gatete e faʻaitiitia ai le gatete mai fafo, ma fatuina se siosiomaga faigaluega filemu ma mautu mo le faʻavae saʻo granite ma le faʻavae e opeopea ai le mamafa tumau.
Ia ausia manaʻoga tau siʻosiʻomaga o loʻo taʻua i luga, ina ia faʻaaogaina atoatoa ai lelei o le faʻavae saʻo o le granite i le faʻavae saʻo o le ea e opeopea ai le mamafa, ina ia mautinoa o loʻo tuʻuina atu e le faʻavae auaunaga pulea gaioiga maualuga ma le mautu mo le tele o pisinisi. Afai e mafai e pisinisi ona uaʻi atu i nei faʻamatalaga auiliili i le siosiomaga gaosiga, o le a latou puʻeina le avanoa i le gaosiga saʻo, suʻesuʻega faasaienisi ma isi matāʻupu, faʻaleleia atili lo latou tauvaga, ma ausia le atinaʻe gafataulimaina.
Taimi na lafoina ai: Ape-10-2025