E fa'apefea ona a'afia e le fa'avae granite le sa'o o su'ega e le fa'aleagaina o wafers?

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I le lalolagi tonu o le gaosiga o semiconductor, o le suʻega e le faʻaleagaina o wafers o se sootaga autu e faʻamautinoa ai le lelei o chips. O le faʻavae granite e foliga mai e le taua tele o le "toa e le o taʻua" lea e fuafua ai le saʻo o le iloa. E faʻapefea ona aʻafia ai taunuuga o suʻega? O lenei tusiga o le a faia ai se suʻesuʻega loloto mai fua e pei o meatotino o meafaitino ma le mamanu o le fausaga.
1. Faavae Mautu: O tulaga lelei faalenatura o le maa granite e faataatia ai se faavae mautu mo le sa'o lelei
1. Fa'atinoga sili ona lelei o le mafui'e
I le taimi o le faʻagaoioia o le masini suʻega e le faʻaleagaina ai le wafer, o le faʻataʻamilomilo o le afi ma le gaioiga o vaega faʻainisinia o le a faʻatupuina ai le gatete. Afai e le taofia lelei nei gatete, o le a matua faʻalavelaveina ai le saʻo o le suʻega. O totonu o le granite e fesoʻotaʻi vavalalata ma kristala minerale e pei o le quartz ma le feldspar. O lona fausaga tulaga ese e maua ai le gafatia masani e mitiia ai le gatete, e mafai ona mitiia le silia ma le 90% o le malosi o le gatete o masini. O faʻamaumauga moni o le fuaina o se kamupani gaosi semiconductor e faʻaalia ai ina ua maeʻa ona faʻaaogaina le faʻavae granite, ua faʻaitiitia le malosi o le gatete o masini iloa mai le 12μm i le 2μm, ma aloese ai mai le faʻaletonu o le faʻailoga iloa e mafua mai i le gatete.
2. Maualalo tele le fua fa'atatau o le fa'alauteleina o le vevela
I le taimi o le faagasologa o le iloa, o mea e pei o le faʻavevela o masini ma suiga i le vevela o le siosiomaga o le a aʻafia ai le mautu o le faʻavae o le masini. E matua faʻalauteleina mea masani pe a faʻavevela, ae o le fua faʻatatau o le faʻalauteleina o le vevela o le granite e naʻo le 1/5 o le uʻamea. E tusa lava pe fesuisuiaʻi le vevela o le siosiomaga i le 10℃, e mafai ona le amanaʻiaina lona faʻaleagaina. O lenei mea e mafai ai e le faʻavae granite ona tuʻuina atu se faʻavae mautu mo masini siaki, ma faʻamautinoa ai o loʻo saʻo pea le tulaga faʻatatau i le va o le probe siaki ma le wafer i taimi uma ma aloese mai mea sese o le siaki e mafua mai i le faʻaleagaina o le vevela.
Lua, mamanu sa'o: O le fa'aleleia atili o le fausaga e fa'aleleia atili ai le fa'atuatuaina o le iloa
Fa'agaioiga sa'o maualuga ma le fa'amaoniga o le lamolemole
O le fa'avae granite maualuga le tulaga lelei e fa'agasoloina e le tekinolosi CNC fa'aonaponei e lima-axis linkage, fa'atasi ai ma le lamolemole o le ±0.5μm/m, e maua ai se fa'asinomaga fa'apipi'i e matua lamolemole mo masini siaki. I le siakiina o le wafer, o le tulaga sa'o ma le tutusa o le probe siaki e taua tele i taunu'uga o le siaki. O se fa'avae granite maualuga le sa'o e mafai ona fa'amautinoa le tulaga sa'o o le probe, ma fa'apea ai ona sili atu le sa'o ma le fa'atuatuaina o fa'amatalaga siaki.
2. Fetuunaiga fa'atulagaina fa'apitoa
E mafai ona fa'apitoa fa'avae o masini granite mo masini eseese e le fa'aleagaina ai le wafer ma mana'oga o le fa'agasologa. Mo se fa'ata'ita'iga, ina ia fa'ataunu'uina mana'oga o masini siaki va'aia mo le atagia mai o le malamalama, e mafai ona togafitia fa'apitoa le pito i luga o le fa'avae o le masini; Ina ia fa'ataunu'uina mana'oga o le fa'apipi'iina o masini su'ega ultrasonic, e mafai ona faia muamua le fa'avae i pu fa'apipi'i sa'o ma fata uaea, e mafai ai ona vave ma sa'o le fa'apipi'iina o masini ma fa'aitiitia ai le iloa o mea sese e mafua mai i le fa'apipi'iina.
Iii. Mautu i se taimi umi: Fa'aitiitia le leiloa o le sa'o e mafua mai i le tausiga o masini
E maualuga le maaa o le maa granite ma e tete'e malosi i le ofuina, fa'atasi ai ma le maaa o le Mohs e 6 i le 7, lea e fa'atolu ona sili atu nai lo le tete'e o le ofuina o u'amea masani. I le taimi o su'esu'ega umi, e le faigofie ona ofuina le pito i luga o le fa'avae o le masini ma e mafai ona tausia pea se tulaga sa'o lelei. I se fa'atusatusaga, o fa'avae e faia i isi meafaitino e ono mafua ai suiga i le fa'asinomaga o le fa'apipi'iina o masini ona o le ofuina ma le masae, ma a'afia ai le sa'o o le iloa ma mana'omia ai le fa'atulagaina ma le tausiga soo. O le umi o le ola tautua ma le mautu maualuga o le fa'avae granite e fa'aitiitia ai le tele o le tausiga o masini ma fa'aitiitia ai le lamatiaga o le leiloa o le sa'o e ono tupu i le taimi o le tausiga.
Mai le tete'e atu i le te'i, tete'e atu i le vevela i le mamanu sa'o, o vaega uma o le fa'avae granite o lo'o puipuia ai le sa'o o su'ega e le fa'aleagaina o wafers. I le vaitaimi o gaosiga semiconductor i aso nei lea e tulimata'ia ai le sa'o atoatoa, o le filifilia o se fa'avae granite maualuga le lelei e pei o le fa'aopoopoina o se vaega mautu o le inisiua i le sa'o ma le fa'atuatuaina o taunuuga o su'ega.