Granite Air Bearings: Auala e Galue ai ma le Mafua'aga e Sili Ai le Granite mo Taiala

E ausia e peau ea le mea e le mafai e peau ona fesootaʻi: o le gaoioi e aunoa ma le ofuina, e aunoa ma le see ma e aunoa ma le faʻasusu, i le tulaga saʻo e itiiti ifo i le micron. Ae o se peau ea e naʻo le lelei o le foliga o loʻo opeopea ai. O lenei tusiga e faʻamatalaina ai le fisiki o ata tifaga ea, pe aisea e avea ai le granite masani e lelei le faʻapipiʻiina, o le a le saʻo o le foliga e manaʻomia e le taʻiala, ma po o fea e sili ona taua ai vaega o peau ea o le granite - mai faʻavae afi laina i faiga suʻesuʻega opitika.

1. Le Auala e Galue ai Pea o le Ea: Tietie i luga o se Ata Tifaga Ma'ai o le Ea

E lagolagoina e se ea ea lana avega i luga o se ata manifinifi ua fa'amamafaina, e masani lava 3–15 µm le mafiafia. E lua mataupu faavae o le sapalai e sili ona pulea:

• Taui mo le orifice.E tafe le ea i pu e sa'o le lapopo'a i totonu o se taga po'o se alavai papa'u; e fetu'una'i lava le mamafa pe a suia le va. Faigofie ma malosi, ae e feololo le gafatia o le avega ma e maaleale le ata i mea sese i luga o le fogāeleele.
• Taui fa'apupuna.E tafe tutusa le ea i totonu o se mea e pu'upu'u (e masani lava o le kaponi), ma maua ai se ata tifaga e matua mautu ma e tete'e i le fa'api'o fa'atasi ai ma le maualuga o le damping.

Po o le ā lava le auala, e tutusa lava le fisiki pulea: o le malosi o le ata tifaga e faʻalagolago i le sikuea o le tutusa o le va. Afai e tutusa le mafiafia o le fogāeleele taiala ma le mafiafia o le ata tifaga, e ono iai le fesuiaʻiga o le mamafa i le tulaga - e vaʻaia o se mea sese o le saʻo, taʻavale, pe sili atu ona leaga, o le samala pneumatic (self-excited oscillation).O le ala ta'iala, ae le o le u'amea, e fa'atulaga ai le tulaga maualuga o le faiga.

2. Aiseā e Sili Ai Ona Lelei le Granite mo le Taiala

E masani ona fesili inisinia pe aisea e tele ai ina fa'aogaina vaega e fa'apipi'i ai le ea i luga o le granite nai lo le u'amea po'o le seramika. O mafua'aga o meafaitino-fisiki, ae le o tu ma aga masani:

• O le fausaga lelei ma tutusa o le fatu.E fa'ama'a'a le ma'a granite uliuli igneous mai le liusuavai e tasi; e leai se vavae'esega dendritic, inclusions po'o se matrix vaivai e pei o le u'amea cast. O le lapping e fa'aalia ai se foliga tutusa, o lea e tumau ai le vaeluaga o le ea i le malaga atoa - o le mea e sili ona taua mo le mautu o le ata tifaga.
• Fa'alauteleina maualalo o le vevela (≈5–8 µm/m·°C).E na'o ni nai micron le va o le ea; o le afa tikeri o le suiga o le vevela e mafai ona sili atu ona si'itia se u'amea nai lo se va o le ea. O le mautu o le granite e taofia ai le foliga o le ata tifaga i taimi uma o le ao ma le po.
• Leai se ele, leai se suāuu.E le manaʻomia e le granite gaogao ni vali ma e leai foʻi se suauʻu — e taua tele i potu mama, lea e le agavaa ai uʻamea ua faʻaʻauʻuina ona o le faʻaaogāina o kasa ma le faʻatupuina o ni fasi mea.
• Fa'aitiitia maualuga.O le fa'aitiitia o le gatete i totonu o le Granite e taofia ai le fesiita'iga o le gatete mai le fola ma ta'avale, ma fa'aleleia atili ai le amio fa'atino o le tulaga opeopea.
• E mafai ona fefiloi i le tulaga lamolemole e oo atu i le micron i luga o mita.E mafai ona mimilo lima ia u'amea papa'e uumi ma fa'amaonia le mamafa i ni nai micron i ni nai mita — o se mea e le mafai ona ausia na'o le masini.

3. O le ā le Sa'o o le Foliga e Mana'omia e se Taiala e Fa'aaogaina ai le Ea?

O faʻamatalaga faʻapitoa e faʻalagolago i le ituaiga o uʻamea ma le lelei o le gaioiga o le sini, ae o manaʻoga masani mo se saʻo leleiu'amea ea granitefaiga nei:

E lē mafai ona vavaeese le faʻamaoniga mai nei fuainumera: o le fuaina o le saʻo i luga o se alalaupapa e 2 mita le umi ma le lē mautinoa o le sub-micron e manaʻomia ai tulaga eletise, autocollimators poʻo le laser interferometry i totonu o se potu e pulea le vevela. O le mafuaʻaga lea e tāua ai le gafatia o le tagata e tuʻuina atu le auala e fuaina ai mea e pei o latou nofoa lapping — matou te faʻamatalaina la matou auala i la matousiakiina ma le fa'atulagaina o le granitefaiga.

4. Fa'aoga Masani

• Fa'avae afi laina.O afi laina e leai ni u'amea e tu'uina atu le malosi lamolemole e aunoa ma le cogging; pe a fa'apipi'i fa'atasi ma ta'iala ea granite, e o'o atu ai la'asaga i le sa'o i lalo ifo o le micron i le saoasaoa o le 1–2 m/s — o le fausaga masani lea mo le siakiina o le wafer ma le laser scanning.
• La'asaga sa'o XY.O la'asaga e fa'aputu pe fa'ata'atia ai le ea i luga o se fa'avae granite e ausia ai le toe fai soo i le tulaga o le nanometer mo le metrology e lata ane i le lithography, kata probe ma le asiasiga o le fa'aaliga.
• Faiga su'esu'ega opitika.E manaʻomia e faiga faʻafesoʻotaʻi, interferometric ma chromatic sensor le gaioi e aunoa ma le gatete ma le ofi; e le faʻaopoopoina e le ata tifaga e le faʻafesoʻotaʻi ni vaega ma leai se hysteresis.
• O masini fa'atusatusa mamafa ma fale su'esu'e fua.O taavale e feavea'i ai le ea i luga o u'amea papa'e e tautua i mea e mana'omia ai le mama ma le atoatoa o le fa'ata'atiaga.

I nei tulaga uma, e lua matafaioi a le granite i le taimi e tasi: o le faavae o le fausaga ma le taiala sa'o. O le tuufaatasia o mea uma e lua i le tasi meafaitino - tasi le faagasologa o le lapping, tasi le amioga vevela, tasi le faamaoniga - e aveese ai ni feso'ota'iga e ono mafua ai ni mea sese. E tele atu auiliiliga o le fa'aoga e maua i la matoumeafaigaluega semiconductorfofo.

5. Fa'amatalaga o le Fuafuaga A'o Le'i Fa'amaoti Mai

1. Fa'amatala le femalagaa'iga, avega ma le ogatotonu o le kalave— o le malosi o le ata tifaga ma le avega muamua o le u'amea e fuaina i o latou tulaga.
2. Fa'amaoti mai le tulaga lelei o le ea— e masani lava o le ea mama, mago ma le faamama e oo atu i le 0.01 µm; e na o le mama o le ata tifaga e pei o le sapalai.
3. Filifili le fa'amaumauga o le fuaina— o ai e ana le fa'asinomaga o le sa'o: le masini e fai ai le u'amea, le masini e fai ai le fa'avae, pe le masini ua uma ona fa'apotopoto?
4. Fuafua le siosiomaga— 20 ± 0.5 °C ma o se faavae e vavaeese mai le gatete e faasaoina ai le fausaga ua faamaonia.
5. Talosaga mo le lipoti o le asiasiga faatasi ai ma le vaega— fuaina o le sa'o/mafolafola fa'atasi ai ma le fa'ailoaina ma le mafai ona su'eina o le meafaigaluega, ae le na'o se mata'itusi o le vasega.

Faaiuga

O peau ea ma le granite o se paga e fetaui lelei: o le peau e maua ai le gaioiga e aunoa ma se fe'ese'esea'iga, ae o le granite e maua ai le foliga mautu fa'ata'amilomilo, filemu i le vevela, e aunoa ma ni vaega e fa'agaoioi ai le ata tifaga. A fa'ainisinia ma fa'amaonia fa'atasi uma e lua, o le i'uga o le tulaga lelei o le gaioiga e le mafai e faiga fa'afeso'ota'i ona o'o i ai.

O le atina'eina o se tulaga e feavea'i ai le ea po'o se fa'avae e gaoioi ai? Auina mai ia i matou le mamao e malaga ai, uta, le sa'o e mana'omia ma le ata o le feso'ota'iga — o le a mamanuina ma fa'amaonia e le ZHHIMG® vaega o le ta'iala granite mo lau masini, fa'atasi ai ma se lipoti o asiasiga e mafai ona su'eina.