I vaega o le gaosiga sa'o ma su'esu'ega faasaienisi, o le lamolemole o fa'avae sa'o o granite o se fa'ailoga autu e fa'amautinoa ai le sa'o o meafaigaluega. O lo'o mulimuli mai se fa'atomuaga auiliili i le tele o metotia masani e iloa ai ma a latou fa'agasologa fa'atino mo oe.
I. Metotia e iloa ai le interferometer laser
O le laser interferometer o le meafaigaluega e sili ona lelei mo le iloa o le mafolafola maualuga ma le sa'o. Se'i fai ma fa'ata'ita'iga le ZYGO GPI XP laser interferometer, e mafai ona o'o atu lona iugafono i le 0.1nm. A faia le iloa, fa'atulaga muamua le puna o le malamalama o le interferometer ma le fa'avae ma vaevae le fogāeleele o le fa'avae i ni vaega fa'apipi'i 50mm × 50mm. Mulimuli ane, na aoina mai fa'amatalaga o le interference fringe i lea vaega ma lea vaega, ma fa'apipi'i ma au'ili'ili fa'amatalaga e fa'aaoga ai le Zernike polynomial e maua ai le mea sese o le mafolafola. E fa'aoga lenei metotia i fa'avae maualuga ma e mafai ona iloa ai mea sese o le mafolafola e ≤0.5μm/m². E masani ona fa'aaogaina i le iloa o masini photolithography ma fa'avae masini fuaina e tolu-fa'amaopoopo maualuga.
II. Metotia o le Fa'asologa o Tulaga Fa'aeletoronika
E faigofie ona fa'agaoioia le fa'asologa o le eletise ma e matua'i lelei fo'i. O le tulaga eletise TESA A2 (fa'atasi ai ma le iugafono o le 0.01μm/m) na filifilia ma fa'atulaga i se fa'asologa 9×9 i le itu o le X/Y axis o le fa'avae. E ala i le aoina fa'atasi o fa'amaumauga o le fa'asino o tulaga ta'itasi ona fa'aaoga lea o le metotia least square mo le fuafuaina, e mafai ona maua ma le sa'o le tau o le mafolafola. E mafai e lenei metotia ona fa'ailoa lelei le tulaga o le concavity ma le convexity i le lotoifale o le fa'avae. Mo se fa'ata'ita'iga, e mafai fo'i ona iloa se suiga o le 0.2μm i totonu o le 50mm, lea e talafeagai mo le vave iloa i le gaosiga tele.
Iii. Metotia o le Optical Flat crystal
O le metotia o le optical flat crystal e talafeagai mo le iloa o ni vaega laiti o fausaga. Fa'apipi'i lelei le optical flat crystal i luga o le mea e fa'ata'ita'iina i luga o le fausaga ma mata'ituina vaega fa'alavelave na faia i le va o latou i lalo o le fa'amalamalamaina o se malamalama e tasi le lanu (e pei o se moli sodium). Afai o laina o ni laina sa'o tutusa, e fa'ailoa mai ai le lelei o le lamolemole. Afai e aliali mai ni laina pi'o, fuafua le sese o le lamolemole e fa'atatau i le tikeri o le pi'o o laina. O laina pi'o ta'itasi e fa'atusalia ai se eseesega maualuga o le 0.316μm, ma e mafai ona maua fa'amatalaga lamolemole e ala i le fa'aliliuina faigofie.
Fa. Masini fuaina e tolu-fa'amaopoopo Metotia o le siakiina
E mafai e le masini fuaina e tolu-fa'amaopoopo ona ausia le fuaina maualuga ma le sa'o i le avanoa e tolu-vaega. Tu'u le fa'avae granite i luga o le laulau faigaluega o le masini fuaina ma fa'aaoga le su'ega e aoina tutusa ai fa'amatalaga mai le tele o vaega fuaina i luga o le fogāeleele o le fa'avae. E fa'agasolo ma iloilo e le masini fuaina nei fa'amatalaga e faia ai se lipoti o le lamolemole o le fa'avae. E le gata ina mafai e lenei metotia ona iloa le lamolemole, ae maua ai fo'i isi fa'ailoga fa'ata'atitia o le fa'avae i le taimi e tasi, ma e talafeagai mo le iloa atoatoa o fa'avae granite tetele.
O le fa'atinoina lelei o nei metotia e iloa ai e mafai ona fesoasoani ia te oe e iloilo ma le sa'o le lamolemole o le fa'avae sa'o o le granite ma maua ai se fa'amaoniga fa'atuatuaina mo le fa'agaioiga mautu o masini sa'o.
Taimi na lafoina ai: Me-29-2025