O le Granite o se mea taʻutaʻua i totonu o le gaosiga o mea faʻapipiʻi ona o lona tulaga faʻainisinia ma le tumau.O se ma'a fa'alenatura o lo'o eliina mai fa'ato'aga i le lalolagi atoa ma sa fa'aaogaina mo le tele o seneturi mo fa'amoemoega faufale eseese, e aofia ai le gaosiga o masini semiconductor.I totonu o lenei tusiga, o le a tatou talanoaina mea totino o le maamora ma ona faʻaoga eseese i masini gaosi meaʻai.
Meatotino o Granite
O le Granite o se ma'a aasa lea e aofia ai le mika, feldspar, ma le quartz.Ua lauiloa mo lona malosi tulaga ese, ma'a'a, ma le tumau, ma avea ai ma mea lelei mo talosaga e mana'omia ai le maualuga ma le sa'o.O le Granite e maualalo le aofaʻi o le faʻalauteleina o le vevela, o lona uiga e le faʻalauteleina pe konekarate ona o suiga o le vevela, ma faʻamautu maualuga.E le gata i lea, o le maamora e tetee atu i le pala ma vailaʻau, lea e avea ai ma mea lelei mo le faʻaogaina i siosiomaga faigata.
Talosaga o Granite i Meafaigaluega Fa'agogoina Wafer
O le Granite o se mea faʻaaogaina lautele i totonu o le gaosiga o le gaosiga o le wafer ona o lona tuʻufaʻatasiga tulaga ese o meatotino.O lo'o taua i lalo nisi o fa'aoga o le ma'amora i masini gaioiina:
1. Meafaigaluega Metrology
E masani ona faʻaaogaina le Granite i le gaosiga o meafaigaluega faʻapitoa, e pei o masini fua faʻamaopoopo (CMMs) ma faiga faʻaogaina.O nei mea faigaluega e manaʻomia ni mea mautu e mafai ona teteʻeina le teteʻe ma le vevela.O le maaa maualuga ma le maualalo o le faʻalauteleina o le vevela o le maamora e avea ai ma mea lelei mo ia faʻaoga.
2. Wafer Chucks
E fa'aoga chucks wafer e taofi ai fa'asusu i le taimi o le gaosiga.O nei chucks e manaʻomia se mea mafolafola ma mautu e puipuia ai le wafer mai le paʻu pe punou.O le Granite e maua ai se mea mafolafola e sili ona mautu ma e mafai ona faʻafefeteina, ma avea ai ma mea sili ona lelei mo faʻamaʻi pipi.
3. Meafaigaluega Faila Faila Faila (CMP).
O meafaigaluega CMP e faʻaaogaina e faʻamalo ai wafers i le taimi o le gaosiga.O nei meafaigaluega e manaʻomia ai se faʻavae mautu e mafai ona teteʻeina le vibration ma le vevela.O le ma'a'a sili ona lelei ma le fa'alauteleina ole vevela ole ma'amora e avea ma mea lelei mo meafaigaluega CMP.
4. Meafaigaluega Su'esu'eina Wafer
O meafaigaluega su'esu'e wafer e fa'aoga e su'esu'e ai fa'ama'i mo fa'aletonu ma fa'aletonu.O nei mea faigaluega e manaʻomia se faʻamautu ma mafolafola e faʻamautinoa ai le saʻo o fua.O le Granite e maua ai se mea mautu ma mafolafola e mafai ona tetee atu i le faʻafefe, ma avea ai ma mea lelei mo masini suʻesuʻe wafer.
Fa'ai'uga
I le faaiuga, o le maamora o se mea e masani ona faʻaaogaina i totonu o le gaosiga o meaʻai ona o lona tulaga faʻainisinia ma le tumau.E masani ona faʻaaogaina i le gaosiga o meafaigaluega metrology, wafer chucks, CMP meafaigaluega, ma masini suʻesuʻe.O le tuʻufaʻatasiga tulaga ese o meatotino e avea ai ma mea e sili ona lelei mo faʻaoga e manaʻomia ai le maualuga ma le saʻo.Faatasi ai ma le tele o faamanuiaga, o le maamora tumau pea o se filifiliga lauiloa mo masini gaioiina, ma o lona faaaogaina e ono faaauau pea ona tupu i le lumanai.
Taimi meli: Tes-27-2023