O le Taiala Sili i Vasega o le Granite Surface Plate: AA, A, B & O le a le Uiga mo Lau Talosaga

I le lalolagi o le fuaina sa'o, e na'o le fa'atuatuaina o au i'uga e pei o lau fogāeleele fa'asino i ai. Mo inisinia o fua ma pule o le pulea lelei, o le filifilia o se laulau fogāeleele granite e le na'o le fa'atauina o se fasi ma'a—ae e fa'atatau i le fa'atuina o le "True Zero" mo fuataga uma e faia i totonu o le fale.

O le filifilia o le vasega sese e mafai ona oʻo atu ai i ni taunuuga taugata se lua: o le totogi tele mo le saʻo e te le manaʻomia, poʻo le faʻaleagaina o le tulaga lelei o vaega e maualuga le onosaʻi. O lenei taʻiala e faʻamatalaina ai mea taua faʻapitoa o le faʻavasegaina o le laupapa o luga e fesoasoani ia te oe e fai ai se faʻaiuga faʻatau ma le poto.

Malamalama i Tulaga Fa'atonuina Fa'alelalolagi: JJG, DIN, ma le ISO

A'o le'i tilotilo i ni vasega fa'apitoa, e taua tele le malamalama i "tusi tulafono" o lo'o fa'amatalaina ai. E ui o vaega eseese e mulimulita'i i tulafono fa'atonutonu eseese, ae latou te fa'asoa uma se sini e tasi: o le fa'amatalaina o le maualuga e mafai ona fa'atagaina le alu ese mai se va'alele mafolafola atoatoa (Flatness Tolerance).

• JJG 117-2005 (Saina):O le tulafono faatonutonu maualuga o loʻo iai nei mo le faʻamaoniga o papatusi luga i Saina, e lauiloa lautele ona o ana metotia faʻataʻitaʻi faigata.

• DIN 876 (Siamani):Atonu o le faʻatusatusaga faavaomalo sili ona taatele, o loʻo faʻamatalaina ai togi o le 00, 0, ma le 1.

• ISO 8512-2:O le tulaga fa'avaomalo mo papatusi luga o le granite, lea e ogatasi ma mana'oga fa'apitoa o le maketi Europa.

I la matou fale gaosi oloa, matou te gaosia ni vaega e ausia ma sili atu i nei tulaga faʻavaomalo, ma ia mautinoa pe o e i ai i Perelini, Shanghai, poʻo Chicago, e tumau pea au fua.

Vasega AA (Vasega Sa'o): O le Tulaga Auro

Fa'apalepale i le Mafolafola: Pe tusa ma le ±0.005mm (E fa'alagolago i le tele)

O le Vasega AA o le fogāeleele e sili ona maualuga le tulaga mo fale su'esu'e. Ua mamanuina mo siosiomaga e matuā pulea lelei ai le vevela ma le susū.

• Sili mo:Fale su'esu'e autū mo le fa'atulagaina o mea, asiasiga o vaega o le ea, ma nofoa va'ai mata e maualuga le sa'o.

• Talosaga:Fa'aaogaina o se fa'asinomaga autū e fa'atulaga ai isi meafaigaluega e fuaina ai pe mo le siakiina o vaega e iai le fa'atagaina o le maualuga o le micron.

• Aiseā e tāua ai:I lenei tulaga, e oo lava i sina fa’alauteleina o le vevela e mafai ona suia ai le tulaga. O le mafua’aga lea matou te fa’aaogaina ai le maa granite uliuli e maualuga le mafiafia ma maualalo le fa’alauteleina o le vevela e fa’atumauina ai le mautu.

Vasega A (Vasega o Su'esu'ega): O le CMM Workhorse

Fa'apalepale i le Mafolafola: Pe tusa ma le ±0.01mm

O le Vasega A o le “tulaga fa’atulagaina o pisinisi” mo le gaosiga maualuga. E ofoina atu ai le paleni i le va o le sa’o atoatoa ma le tumau lelei.

• Sili mo:Masini Fuafua Fa'atasi (CMM) i le fogafale gaosiga, matagaluega e pulea ai le lelei, ma su'ega o vaega o le afi o ta'avale.

• Talosaga:Siakiina lautele o vaega ma fa'apotopotoga laiti ua fa'apipi'iina ma le sa'o.

• Aiseā e tāua ai:E lava lona malosi e taulima ai faʻaoga i aso uma aʻo tuʻuina atu le saʻo lelei mo le 90% o manaʻoga faʻainisinia tau alamanuia.

Vasega B (Vasega o le Falegaosimea): Sa'o Lelei

Fa'apalepale i le Mafolafola: Pe tusa ma le ±0.02mm

Ua mamanuina le Vasega B mo le siosiomaga faigata o le fale gaosi masini poʻo nofoaga faʻaleaʻoaʻoga.

• Sili mo:Fa'apotopotoga lautele o masini, mafutaga faaleaoaoga mo le ueloina, ma kolisi fa'apitoa.

• Talosaga:E fa'aaogaina mo galuega fa'atulagaina, fa'ailogaina, ma siaki faigofie o le lamolemole pe a le o le sa'o e itiiti ifo i le micron le popolega autu.

• Aiseā e tāua ai:E maua ai se mea e mautu, e tete'e i le ofuina, e sili atu ona lelei nai lo le u'amea po'o le ma'a e le lelei tele, e aunoa ma le taugata e pei o se ipu e fa'aaoga i le fale su'esu'e.

Auala Matou te Su'eina ma Fa'amaonia ai Ipu Ta'itasi

E lē o se mea faafuaseʻi le saʻo; ae e fuaina. Ina ia mautinoa o ipu uma e tuʻua la matou fale gaosi oloa e ausia le tulaga manaʻomia, matou te faʻaaogaina se faiga faʻamaonia e tele laʻasaga:

1. Tulaga Fa'aeletoronika & Autocollimators:Matou te fa'afanua le foliga o le fogā'ele'ele e fa'aaoga ai tulaga fa'aeletoroni maualuga po'o laser autocollimators e fa'amautinoa ai e leai ni "tumutumu po'o ni vanu" e ese mai i le tulaga fa'atagaina.

2. Fa'atusatusaga o le Laser:Mo a matou ave Vasega AA ma ave sa'o atoatoa fa'apitoa, matou te fa'aogaina le laser interferometers e fa'amaonia ai le lamolemole i le tulaga nano.

3. Tusipasi:O ipu taʻitasi e lafo faʻatasi ma seTusi Faamaonia o le Fa'atulagaina e Mafai ona Su'eina. O lenei pepa o loʻo tuʻuina atu ai faʻamatalaga faʻapitoa mo lau numera faʻasologa tulaga ese, ma faʻamautinoa ai lou sauni mo le suʻesuʻega ISO.

O le fea Vasega e te Mana'omia Moni?

O le filifilia o le vasega sa'o e masani ona fa'alagolago i lou fa'apalepale i le vaega e sili ona faigata. O se tulafono lelei o le Tulafono 10:1: O lau fogāeleele fa'asino i ai e tatau ona sefulu taimi e sili atu le sa'o nai lo le vaega o lo'o e fuaina.

• Fuaina i le 0.1mm?Ua lava le Vasega B.

• Fuaina i le 0.01mm?E manaʻomia le Vasega A.

• Fuaina i le 0.001mm?Pau lava le filifiliga e maua mai le Vasega AA.

Pa'aga ma se Ta'ita'i Fa'avaomalo i le Metrology

Pe e te manaʻomia se laulau masani Vasega A 600x600mm mo lau fale suʻesuʻe QC poʻo se faʻavae tele Vasega AA e 6-mita le umi mo se masini semiconductor lithography, matou te tuʻuina atu le mautu e manaʻomia e lau galuega. Matou te ofoina atu le tele o vasega, o mea uma e faia mai le granite maualuga ma faʻamaonia e tagata tomai faapitoa i le metrology.

E te le o mautinoa po'o le fea vasega e te mana'omia? Auina mai ia i matou fa'amatalaga o lau talosaga po'o au fa'atagaga o vaega e te mana'omia, ma o le a tu'uina atu e le matou 'au inisinia se fautuaga fa'apitoa e leai se totogi e fa'amautinoa ai e te maua le paleni atoatoa o le sa'o ma le taua.