O le gaosiga o vaega faufale e matua sa'o lava e mana'omia ai le sili atu nai lo masini CNC fa'aonaponei. A aunoa ma le vavae'eseina ma le fa'aesea mai le siosiomaga ma le gatete o fale gaosi oloa, e le mafai ona ausia ni fa'atagaga fa'ata'atitia i lalo ifo o le micron. O ta'avale uma e ui ane, o le keleni i luga e lata ane, ma le compressor e pulea ai le tau e fa'aosofia ai galu fa'ata'atitia laiti e mafai ona fa'aleagaina ai le lapping ma le fa'atulagaina o fa'avae granite sa'o, u'amea ea, ma vaega seramika.
Ina ia faʻaitiitia lenei mea, e tatau i nofoaga faʻapisinisi ona faʻaogaina le vaega gaosi oloa e pei o se vaega tuʻufaʻatasia o le faiga o fua.
O le Fisiki o le Fa'amautu o le Faavae
O fola sima masani mo pisinisi e masani ona 150 mm i le 300 mm le mafiafia. E ui lava e lava mo galuega fa'atino masani ma le fa'apotopotoina mamafa, ae e matua le lava lava mo le gaosiga i le tulaga nanometer. I lalo o avega fa'agaoioi, o fola masani e galue e pei o se diaphragm, e fa'asalalauina atu ai le gatete maualalo o le fola sa'o i totonu o vaega faigaluega.
Ina ia aveese lenei mea sese, o siosiomaga gaosiga faʻapitoa e faʻatinoina ai se fuafuaga faʻavae e tele vaega:
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Fa'avae Fa'amiliteli Matuā Mafiafi: O le sasaaina o le sima fa'amalosia i le loloto e le itiiti ifo i le 1000 mm e maua ai se poloka tele e leai se malosi. O lenei fa'avae e fa'aitiitia ai galu maualalo (1 – 10 Hz) a'o le'i o'o atu i le masini.
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'Auvai Fa'aesea Fa'ata'amilosaga: O le tipiina o 'auvai fa'apitoa e fa'aesea ai le gatete i sone gaosi oloa—fa'atasi ai ma fua sa'o e pei o le 500 mm le lautele ma le 2000 mm le loloto—e vavae'eseina fa'aletino ai le sone gaosi oloa sa'o mai le isi vaega o le fale gaosi oloa. O nei 'auvai e fa'atumuina i mea fa'apitoa e mitiia ai le malosi e fa'aitiitia ai galu fa'ate'ia i autafa.
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Fa'alologo ma Fa'amasini: O cranes i luga ma gantry hoists o se puna tele lea o le pisa maualalo ma le gatete o le fausaga. O le fa'aaogaina o faiga fa'apitoa e fa'amama ai leo ma fa'agaoioi ai le filemu e puipuia ai galu mamafa mai le fa'aleagaina o tulaga eletise maaleale ma laser interferometers i le taimi o ta'amilosaga o le fuaina.
Feso'ota'iga o le Siosiomaga: Vevela ma le Susū
O le fa'alauteleina o le vevela o le mea sili lea ona tele e mafua ai le sese fa'ata'ita'i i totonumaa granite sa'oma le gaosiga o seramika. O le suiga o le vevela e na o le 0.5 ℃ e mafai ona mafua ai ona gaugau se moega granite e 5000 mm i tua atu o le tulaga faatagaina.
Ina ia ausia le sa'o atoatoa, e tatau i le siosiomaga o le faagasologa ma le faapotopotoina ona tausisi i tulaga faigata:
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Pa Puipui Atoatoa o le Siosiomaga: E tatau ona faia le gaosiga i totonu o potu mama tetele ma ua tapunia (e pei o le 10,000㎡) lea e loka ai le vevela i le 20℃ ± 0.2℃ ma e fa'atonutonuina lelei le susū o le ea.
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Pulega o le Saosaoa o le Ea: E tatau ona mamanuina faiga e tafe ai le ea laminar e aloese ai mai le agi sa'o ma le saoasaoa tele o le ea i luga o papa maa, ma puipuia ai le fesuia'iga o le vevela i le lotoifale.
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Fa'ata'ita'iga o le Potu Mama o le Semiconductor: O le fa'apotopotoga mulimuli o gantries granite e tele-axis, laina eletise laina, ma u'amea ea e matua sa'o lava e mana'omia ai ni siosiomaga fa'apitoa e leai se pefu e fa'ata'ita'i i le semiconductor fab a le tagata fa'aoga. O lenei mea e fa'amautinoa ai e leai se fa'aleagaina o mea e fa'alavelave ai i va o le ea, lea e masani ona fuaina i le va o le 5μm ma le 15μm.
Aotelega
E le mafai ona iai le gaosiga sa'o atoatoa i se siosiomaga fa'apisinisi masani. O le mautu o le fola o le fale gaosi oloa, le vavae'eseina o le fausaga o fa'avae, ma le pulea atoatoa o le thermodynamics mama o le potu e fausia ai le fa'avae autu o le gafatia fa'ameta. O le teu fa'afaigaluega i fa'avae tetele ma le vavae'eseina o le perimeter o le pau lea o le metotia ua fa'amaonia e fa'amautinoa ai o le gaosiga sub-micron e tumau pea le mautu, mafai ona toe faia, ma mafai ona su'eina.
Taimi na lafoina ai: Iuni-15-2026