I le matāgaluega o le siakiina o le semiconductor wafer, o le mamā o le siosiomaga mama e fesoʻotaʻi tonu lava ma le fua o le oloa. A o faʻaauau pea ona faʻaleleia le saʻo o faiga o le gaosiga o chip, o loʻo faʻateleina le faʻamalosia o manaʻoga mo faʻavae feaveaʻi o masini suʻesuʻe. O faʻavae granite, faʻatasi ai ma o latou uiga o le leai o ni uʻamea e faʻasaʻolotoina ai ma le maualalo o le faʻaleagaina o vaega, ua sili atu nai lo mea masani o le uʻamea e le gaoia ma ua avea ma fofo sili ona lelei mo masini siaki wafer.
O le Granite o se papa igneous masani e tele lava ina faia i minerale e le o ni uʻamea e pei o le quartz, feldspar ma le mica. O lenei uiga e maua ai le lelei o le leai o ni uʻamea e faʻasaʻolotoina ai. I se faʻatusatusaga, o le uʻamea e le gaoia, o se uʻamea e pei o le uʻamea, chromium ma le nickel, e faigofie ona pala eletise i luga o lona fogaeleele ona o le soloia o le ausa o le vai ma kasa oona poʻo le alkaline i totonu o se siosiomaga mama, ma mafua ai ona faʻaputuina ions uʻamea e pei o le Fe²⁺ ma le Cr³⁺. O le taimi lava e pipii ai nei ions laiti i luga o le wafer, o le a latou suia meatotino eletise o le mea semiconductor i isi faiga e pei o le photolithography ma le etching, mafua ai le threshold voltage drift o le transistor, ma e oʻo lava i le taʻamilosaga pupuu i le matagaluega. O faʻamaumauga o suʻega a faʻalapotopotoga faʻapolofesa e faʻaalia ai ina ua maeʻa ona faʻaalia pea le granite platform i se siosiomaga mama o le vevela ma le susu o le potu (23±0.5℃, 45%±5% RH) mo le 1000 itula, o le faʻasaʻolotoina o ions uʻamea e maualalo ifo nai lo le tapulaʻa iloa (< 0.1ppb). O le fua faatatau o faaletonu o wafers e mafua mai i le faaleagaina o uʻamea ion pe a faaaogaina fausaga uʻamea e mafai ona maualuga e oo atu i le 15% i le 20%.
I le tulaga o le puleaina o le faʻaleagaina o vaega laiti, e matuā lelei foʻi le faʻatinoga o fausaga granite. E matuā maualuga lava manaʻoga o potu mama mo le faʻaputuina o vaega laiti o loʻo tautau i le ea. Mo se faʻataʻitaʻiga, i totonu o potu mama ISO Vasega 1, o le aofaʻi o vaega laiti e 0.1μm e faʻatagaina i le mita kupita e le sili atu i le 10. E tusa lava pe ua uma ona faia le togafitiga faʻapulusaina o le fausaga uʻamea e le gaoia, e mafai lava ona maua ai ni otaota uʻamea poʻo ni oxide scale o loʻo malepelepe ona o malosiaga mai fafo e pei o le gatete o masini ma le faʻagaioiga a tagata faigaluega, lea e mafai ona faʻalavelave i le auala vaʻaia o le suʻesuʻega poʻo le valuina o le fogāeleele o le wafer. O fausaga granite, faʻatasi ai ma lo latou fausaga minerale mafiafia (density ≥2.7g/cm³) ma le maualuga o le maʻaʻa (6-7 i le fua o le Mohs), e le faigofie ona ofuina pe gau i le taimi e faʻaaogaina ai mo se taimi umi. O fua fuaina e faʻaalia ai e mafai ona latou faʻaitiitia le faʻaputuina o vaega laiti o loʻo tautau i le ea o le eria o masini suʻesuʻe e sili atu i le 40% pe a faʻatusatusa i fausaga uʻamea e le gaoia, ma tausia lelei ai tulaga faʻatonuina o le vasega o potu mama.
I le fa’aopoopoga i ona uiga mama, o le fa’atinoga atoatoa o fa’avae granite e sili atu fo’i nai lo le u’amea e le gaoia. I le tulaga o le mautu o le vevela, o lona fua fa’atatau o le fa’alauteleina o le vevela e na’o le (4-8) ×10⁻⁶/℃, e itiiti ifo i le afa o le u’amea e le gaoia (pe tusa ma le 17×10⁻⁶/℃), lea e mafai ona fa’atumauina lelei ai le sa’o o le tulaga o masini e iloa ai pe a fesuisuia’i le vevela i totonu o le potu mama. O le uiga maualuga o le fa’aitiitia o le vevela (fua fa’atatau o le fa’aitiitia o le vevela > 0.05) e mafai ona fa’aitiitia vave ai le gatete o le masini ma puipuia ai le gatete o le masini e iloa ai. O lona tete’e masani i le ele e mafai ai ona tumau pea le mautu tusa lava pe a fa’aalia i vaila’au fa’amama, kasa eli ma isi vaila’au e aunoa ma le mana’omia o se puipuiga fa’aopoopo.
I le taimi nei, o fausaga granite e faʻaaogaina lautele i fale gaosi oloa wafer faʻapitoa. O faʻamaumauga e faʻaalia ai ina ua maeʻa ona faʻaaogaina le fausaga granite, o le fua faatatau o le sese o le iloa o vaega o le wafer ua faʻaitiitia i le 60%, ua faʻalauteleina le taamilosaga o le faʻatulagaina o masini i le faatolu, ma ua faʻaitiitia le tau atoa o le gaosiga i le 25%. A o agai atu le alamanuia semiconductor i le saʻo maualuga, o fausaga granite, faatasi ai ma o latou tulaga lelei autu e pei o le leai o ni uʻamea e faʻasaʻolotoina ma le maualalo o le faʻaleagaina o vaega, o le a faʻaauau pea ona tuʻuina atu le lagolago mautu ma faʻatuatuaina mo le siakiina o wafer, ma avea ai ma se malosiaga taua e faʻamalosia ai le alualu i luma o le alamanuia.
Taimi na lafoina ai: Me-20-2025