I le fanua o le semiconductor wafer asiasiga, o le mama o le siosiomaga mama e fesootai tuusao ma le fua o oloa. A'o fa'aauau pea ona fa'aleleia atili le sa'o lelei o faiga fa'agasologa o le gaosiga, o mana'oga mo le fa'amomoliina o fa'avae o masini e iloa ai ua fa'atupula'ia atili. Granite platforms, faʻatasi ai ma o latou uiga o le leai o se uʻamea faʻamalolo ma le maualalo o le filogia, ua sili atu i mea masani uʻamea uʻamea ma avea ma vaifofo sili mo masini suʻesuʻe wafer.
O le Granite ose ma'a fa'alenatura e masani ona fausia i minerale e le o ni metallic pei ole quartz, feldspar ma le mika. O lenei uiga e maua ai le lelei o le fa'asa'olotoina o ion uamea. I se faʻatusatusaga, uʻamea uʻamea, e pei o le uʻamea, chromium ma le nickel, e faigofie ona pala i luga o le eleele ona o le tafia o le ausa vai ma kasa acidic poʻo le alkaline i totonu o le potu mama, e mafua ai le faʻafefe o ion uʻamea pei o Fe²⁺ ma Cr³⁺. O le taimi lava e faʻapipiʻi ai nei tamaʻi ion i luga o le wafer, o le a latou suia le eletise o mea semiconductor i gaioiga mulimuli ane e pei o le photolithography ma le etching, mafua ai le faʻafefe o le eletise o le transistor, ma e oʻo lava i le taʻavale pupuu i le matagaluega. O faʻamatalaga o suʻega faʻapolofesa faʻapolofesa e faʻaalia ai ina ua maeʻa ona faʻaalia pea le maamora i se faʻataʻitaʻiga o le vevela o le potu mama ma le susu (23 ± 0.5 ℃, 45% ± 5% RH) mo le 1000 itula, o le tuʻuina atu o ion uamea na maualalo ifo nai lo le faʻatapulaʻaina (<0.1ppb). O le tulaga faaletonu o wafers e mafua mai i le faʻaleagaina o le uʻamea pe a faʻaaogaina uʻamea uʻamea e mafai ona maualuga i le 15% i le 20%.
E tusa ai ma le pulea o le faaleagaina o mea iti, o fausaga maamora lelei foi le faatinoga. O potu mama e matua'i maualuga mana'oga mo le fa'atumauina o vaega o lo'o taofia i le ea. Mo se faʻataʻitaʻiga, ile ISO Vasega 1 potu mama, o le numera o 0.1μm particles faʻatagaina i le mita kupita e le sili atu i le 10. E tusa lava pe faʻafefeteina le uʻamea uʻamea, e mafai lava ona maua ai le otaota uʻamea poʻo le fua o le oxide e paʻu ese ona o le malosi mai fafo e pei o le vibration o meafaigaluega ma le faʻaogaina o tagata faigaluega, lea e mafai ona faʻalavelave i le suʻesuʻeina o le ala opitika poʻo le sasaina o luga o le uamea. O fa'apalapala ma'a, fa'atasi ai ma le mafiafia o le minerale (density ≥2.7g/cm³) ma le maualuga o le ma'a'a (6-7 i le fua o le Mohs), e le faigofie ona ofuina pe malepelepe a'o fa'aoga umi. O fua fa'atatau e fa'aalia ai e mafai ona fa'aitiitia le fa'atumauina o vaega o lo'o taofia i le ea o le mea e iloa ai masini e sili atu i le 40% pe a fa'atusatusa i fa'alava uamea, fa'atumauina lelei tulaga o le potu mama.
I le faaopoopo atu i ona uiga mama, o le faatinoga atoatoa o fausaga maamora e sili mamao atu nai lo le uamea stainless. I le tulaga o le mautu vevela, o lona coefficient o le faalauteleina vevela e na o le (4-8) ×10⁻⁶ / ℃, itiiti ifo i le afa o le uamea stainless (e uiga i le 17 × 10⁻⁶ / ℃), lea e mafai ona sili atu le faatumauina o le tulaga saʻo o meafaigaluega e iloa ai pe a fesuisuiai le vevela i totonu o le potu mama. Ole uiga fa'asusu maualuga (fuafuaga fa'asusu> 0.05) e mafai ona vave fa'ato'ilaloina le vibration o meafaigaluega ma puipuia ai le su'esu'ega mai le luluina. O lona tete'e fa'alenatura e mafai ai ona fa'amautu e tusa lava pe fa'aalia i so'o fa'afofofo, kasa etini ma isi vaila'au e aunoa ma le mana'omia o se puipuiga fa'aopoopo.
I le taimi nei, o loʻo faʻaaogaina lautele fausaga maʻamora i laʻau gaosiga o saito. O faʻamatalaga e faʻaalia ai ina ua maeʻa ona faʻaaogaina le faʻavae maamora, o le fua faatatau o le faʻasalaga o le suʻesuʻeina o vaega o le wafer surface ua faʻaitiitia i le 60%, o le faʻataʻitaʻiga o meafaigaluega ua faʻalauteleina i le faatolu, ma o le aofaʻiga o tau gaosiga ua pa'ū i le 25%. A o agai atu le alamanuia semiconductor agai i luga saʻo maualuga, maaʻa platforms, faatasi ai ma o latou tulaga lelei autu e pei o le leai o se uʻamea tuʻuina atu ma le maualalo o le eleelea, o le a faʻaauau pea ona tuʻuina atu le lagolago mautu ma faʻalagolago mo suʻesuʻega wafer, avea ma malosiaga taua e faʻauluina le alualu i luma o le alamanuia.
Taimi meli: Me-20-2025