O faiga fa'atino e matua'i sa'o lelei e taua tele i le gaosiga fa'aonaponei maualuga, aemaise lava i le semiconductor lithography, wafer inspection, optical alignment, ma nanometer-scale metrology. O le fatu o nei faiga o lo'o taoto ai se lu'itau taua fa'ainisinia: ausia o se gaioiga lamolemole, e leai se fe'ese'esea'iga, ma e mafai ona toe faia e aunoa ma se mea sese e mafua mai i le pa'i fa'amekanika.

Tekinolosi e fa'aaogaina ai le ea, pe a tu'ufa'atasia ma le mautu maualugafausaga maa granite, e maua ai se tasi o fofo sili ona alualu i luma i lenei luʻitau. O se faiga e faʻaaogaina ai le ea granite e suitulaga i le faʻafesoʻotaʻiga masani a le masini e taʻavale pe faʻaseʻe i se ata manifinifi o le ea mamafa, e mafai ai ona faia se gaioiga e toetoe lava a leai se feteʻenaʻiga ma le saʻo lelei o le geometric.

I siosiomaga gaosiga fa'aonaponei, o kamupani e pei o le ZHHIMG e fa'apipi'i fa'avae granite maualuga le mafiafia ma vaega o le ea e fa'ainisinia ma le sa'o e ausia ai ni faiga gaioiga e mafai ona pulea le tulaga i lalo ifo o le micron ma e o'o lava i le nanometer.

1. Mataupu Faavae Autu o Tekonolosi o le Ea

E fa'agaoioia e le ea u'amea le mataupu fa'avae o le vaeluaina fa'a-vai. Nai lo le fa'atagaina o ni mea malo se lua e pa'i, e fa'aofiina se vaega fa'atonutonu o le ea mamafa i le va o la'ua.

1.1 Fausiaina o le Ata Tifaga o le Ea

O se faiga masani o le ea e aofia ai:

• O se fa'avae papa'e tumau
• O se taavale solofanua po'o se tulaga e fe'avea'i
• O paipa ea sa'o lelei pe o mea e fa'apipi'i ai pu
• Faiga e pulea ai le sapalai o le ea

E fa'aofi mai le ea fa'a'o'o'o e ala i ni pu laiti po'o ni mea fa'a-seramika e pu'upu'u, ma fausia ai se ata manifinifi e masani ona mai le 2 i le 20 micrometers le mafiafia.

O lenei ata ea e lagolagoina le avega ma aveese ai le fesoʻotaʻiga tuusaʻo faʻamekanika.

1.2 Mekanika e leai se Fesoota'iga

E le pei o uʻamea polo poʻo taʻiala laina, e faʻagaoioia uʻamea ea i se faiga e:

• Ua latalata atu le fua fa'atatau o le fete'ena'iga i le zero
• E fa'aumatia fa'avae i le fa'avae o le ofuina
• E leai se gaioiga o le pa'u'ū

O le mea lea e fetaui lelei ai u'amea ea mo faiga fa'atulagaina sa'o atoatoa pe a le taliaina le hysteresis fa'amekanika.

1.3 Amioga o le Tafega Laminar

O le fa'atinoga o u'amea ea e fa'alagolago tele i le mautu o le tafe laminar. O le turbulence e fa'aosofia ai:

• Fesuia'iga o le mamafa
• Le mautu o le tulaga
• Fa'ateleina o le pisa i totonu o faiga fuaina

O le mea lea, o le mamanuina sa'o o le ea bearing e mana'omia ai le fa'aleleia atili o le computational fluid dynamics (CFD) ina ia mautinoa le tufatufaina mautu o le tafe i luga o le fogāeleele o le bearing.

2. Matafaioi a le Granite i Faiga e Fa'aaogaina ai le Ea

E lē na'o se mea e lagolago ai le fausaga le granite; ae o se vaega aoga o le faiga o gaioiga.

2.1 Mausali o le Fausaga

O le granite uliuli maualuga e maua ai:

• Modulus maualuga o le mautu o le elasticity
• Fa'amaoni o le fua i se taimi umi
• Tete'e atu i le fa'aleagaina i lalo o le avega

O nei meatotino e taua tele auā e faʻalagolago le ea bearings i le faatumauina o le maualuga tutusa o le va i le fogaeleele femalagaaʻi atoa.

2.2 Mausali o le Vevela ma le Pulea o le Fe'avea'i

O le fe'avea'i o le vevela o se tasi lea o mafua'aga autū o mea sese i faiga fa'atino e gaoioi sa'o ai.

O lo'o iai i le Granite:

• Fa'aitiitiga o le fa'alauteleina o le vevela (~4–7 × 10⁻⁶ /°C)
• Maualuga le inertia o le vevela
• Fa'asalalauina malie o le fa'asolosolo o le vevela

E faʻaitiitia ai:

• Fa'asolo le tulaga ona o le fa'avevela le tutusa
• Fe'avea'i o le Z-axis i fua fa'atatau mo se taimi umi
• Fa'aletonu o le fa'atulagaina i faiga opitika

2.3 Fa'aitiitia o le Tetete

O le fa'aitiitia masani o le Granite e fa'aitiitia ai le fesiitaiga o le gatete maualuga mai punaoa mai fafo e pei o:

• Gatete o le fola
• Meafaigaluega fa'a-masini lata ane
• Faiga taulima o le ea

E taua tele lenei mea mo le faatumauina o le mautu o le tulaga i talosaga e fua i le nanometer.

3. Fa'atulagaga o le Faiga o Fa'avae o le Granite Air Bearing

O se faiga masani o le uuina o le ea i luga o le granite e tuʻufaʻatasia ai faiga faʻainisinia, pneumatic, ma faiga faʻatonutonu.

3.1 Fausaga Fa'amekanika

Vaega autū:

• Fa'avae fa'avae ma'a
• Ala fa'asolo sa'o i le eleele
• O pa'u e uuina ai le ea (ituaiga seramika porous po'o le orifice)
• Fa'apotopotoga o le tulaga fe'avea'i

O le lamolemole o le fa'avae granite e masani ona pulea i le maualuga o le micron po'o le sub-micron e fa'atatau i le vasega o le fa'aoga.

3.2 Faiga Pulea o le Pneumatic

O le faiga e sapalai ai le ea e aofia ai:

• Masini fa'aputu ea maualuga le mamafa
• Fa'atonutonu sa'o
• Fa'atapula'aina o le tafe
• Iunite fa'amamā (ave'esea o le suāu'u, susu, mea fa'apena)

E oo lava i sina mea itiiti e faaleagaina ai e mafai ona aafia tele ai le mautu o le uʻamea.

3.3 Faiga o Fa'amatalaga ma le Pulea

E fa'apipi'i fa'atasi polokalama maualuluga:

• Fa'alava o le laser
• Fa'ailoga laina
• Sensors o le fa'agasologa o le capacitive

O nei faiga e mafai ai ona pulea gaioiga i se matasele tapuni ma se iugafono e tusa ma le nanometa.

4. Fa'atinoina o le Fuainumera ma le Sa'o

E iloiloina faiga e feaveaʻi ai le ea e faʻavae i luga o ni nai faʻailoga autū o fua.

4.1 Sa'o ma le Mafolafola

E masani ona mafua mai mea sese i le sa'o mai:

• Fa'aesea o le fa'avae o le maa granite
• Fesuiaiga o le mafiafia o le ata tifaga ea
• Le tutusa o le tufatufaina o avega

E mafai e polokalama fa'apitoa ona ausia:

• Sa'o lelei i lalo ifo o le micron i luga o femalagaaiga i le fua o le mita
• Toe fai o le tulaga o le nanometer i siosiomaga pulea

4.2 Sa'o o le Tulaga

O le sa'o o le tulaga e fa'alagolago i:

• Fa'ai'uga o le fa'atekonolosi
• Mausali o le matasele pulea
• Fa'ama'a'a o le ata tifaga ea

E le pei o faiga fa'amekanika, e aveese atoa e le air bearings le tali atu.

4.3 Malosi Fa'agaioia

O le malosi fa'asolosolo e fa'amatalaina ai le auala e tali atu ai le tino i malosiaga mai fafo.

O lo'o fa'aalia mai ai peau ea:

• Maualuga le malosi i taimi maualalo
• Fa'aitiitia le malosi i taimi maualuluga ona o le faigofie ona fa'apipi'i le ea

O lenei fesuia'iga e pulea e ala i le mamanuina o le polokalama ma le fa'aleleia atili o le uta muamua.

5. Fa'aoga Fa'apisinisi

E faʻaaogaina lautele faiga o le uuina o le ea granite i vaega gaosi oloa faʻaonaponei.

5.1 Alamanuia o Semiconductor

O talosaga e aofia ai:

• La'asaga o le siakiina o le wafer
• Faiga fa'atulagaina o le Lithography
• Tu'uina o le ufimata ata

O nei faiga e manaʻomia ai le toe faia o le tulaga o le nanometer.

5.2 Opitika Sa'o

Fa'aaogaina i:

• Faiga fa'atulagaina o tioata
• Fa'atulagaina o le ave o le laser
• Fa'atulagaga o le fuaina o le interferometric

5.3 Fuainumera Fa'amaopoopo

O fa'avae granite e feavea'i ai le ea e fa'aaogaina i:

• Faiga CMM maualuga
• Masini e fua ai le fa'amaopoopoga opitika
• Faiga siaki e tele-sensors

5.4 Gaosiga Fa'atekonolosi

E aofia ai:

• Faiga fa'a-machining laiti
• Fa'avae fa'agasologa o le laser femtosecond
• Faiga fa'atulagaina o gaosiga fa'aopoopo

6. Luʻitau o le Tuʻufaʻatasia o Meafaitino

O le mamanuina o se faiga e uuina ai le ea mai le granite e aofia ai le tele o fetuunaiga fa'ainisinia.

6.1 Mana'oga mo le Mafolafola o le Laueleele

E manaʻomia e uʻamea ea le tufatufaina tutusa o le va o le ea. Soʻo se eseesega i le lamolemole o le granite e aʻafia ai:

• Tufatufaina o avega
• Lamolemole o le gaioiga
• Sa'o le tulaga

6.2 Ma'ale'ale o le Sapalai o le Ea

E maaleale le fa'atinoga o le polokalama i:

• Mausali o le mamafa
• Tutusa o le tafe
• Tulaga o mea leaga

E oo lava i vaega laiti e mafai ona fa'alavelaveina ai le faiga o le tafe o le ea.

6.3 So'oga Fa'avevela-Fa'amekanika

E tatau ona fa'afetaui ma le fa'aeteete le fa'alauteleina o le vevela o le granite ma vaega fa'avae ina ia puipuia ai:

• Fa'asolo o le tulaga
• Fe'avea'i o le Z-axis
• Fa'asesēga fa'ata'atitia

7. Faiga o le Gaosiga ma le Fa'atulagaina

O faiga e maualuga le sa'o o le uuina o le ea o le granite e mana'omia ai ni siosiomaga gaosiga e pulea lelei.

O la'asaga masani o le faagasologa e aofia ai:

1. Fa'agasologa o le fa'ama'a'aina o le granite
2. Ta'amilosaga fa'amautu o le vevela
3. O le oloina ma le oloina sa'o
4. Feso'ota'iga o le ea
5. Fa'amaoniga o le fua fa'atatau
6. Fa'atulagaina o le fa'atulagaina o le laser

O kamupani gaosi oloa fa'aonaponei e pei o le ZHHIMG e fa'agaoioia ni siosiomaga pulea lelei ma le mautu o le vevela e masani lava i totonu ole ±1°C e fa'amautinoa ai le sa'o lelei o le fa'ata'atiaga.

8. Fa'amanuiaga i luga o Faiga Fa'amekanika

E aveese e le air bearings le tele o fa'atapula'aga autu o faiga fa'amekanika.

Faaiuga

O faiga e fa'aaogaina ai le ea o le granite o se tasi lea o fofo sili ona fa'aonaponei mo le puleaina lelei o gaioiga i gaosiga fa'aonaponei. I le tu'ufa'atasia o le mautu o le fausaga o le granite maualuga le mafiafia ma uiga e leai se fe'ese'esea'iga o le vavae'eseina o le ata tifaga ea, o nei faiga e ausia ai tulaga maualuga o le sa'o, toe fai, ma le mautu i se taimi umi.

A'o fa'aauau pea ona tuleia e pisinisi o semiconductor ma inisinia sa'o agai i luma i le nanometer ma e o'o lava i le sub-nanometer tolerances, o le a tumau pea fa'avae o le granite air bearing o se tekinolosi autu mo le isi tupulaga o fua fa'atatau ma faiga gaosi oloa.