Tala Atu o le Ma'a: Aisea e Fa'atonu ai e le Puleaina o le Siosiomaga le Sa'o o le Fuainumera

O le Fa'asesēina o le Sa'o i totonu o se Potu e Le'i Puleaina

E mafai e se pule o le gaosiga fa'apisinisi ona fa'atau le moega granite uliuli sili ona lelei, maua ni to'i afi linear sili ona sa'o, ma maua ni masini fuaina sili ona lelei mai Mahr po'o Mitutoyo. Peita'i, afai e fa'apipi'i na vaega i totonu o se fale gaosi oloa masani e leai se pulea o le siosiomaga, o le a leiloa le taua o le tupe teufaafaigaluega atoa.

I le inisinia sa'o atoatoa, o le siosiomaga lava ia o se vaega autū o le masini. A aunoa ma le puleaina lelei o le vevela o le si'osi'omaga, le susu o le ea, le saoasaoa o le ea, ma le fausaga o gatete laiti, o le a le mafai ona pu'eina fa'amatalaga sa'o i le fua fa'atatau o le sub-micron.

Ina ia tete'e atu i nei mea fa'alavelave i le siosiomaga, na fausia ai e le ZHONGHUI Group se nofoaga fa'apitoa e 10,000 m² e tumau ai le vevela ma le susū, ma na fausia atoa i luga o mataupu fa'avae fa'apitoa o le vavae'esega.

O le Fisiki o le Vaevaega Fa'atulagaina: O Alā Mafui'e e 2-Mita le Loloto

E masani ona lē iloa e tagata ni gatete laiti. O le tietie i luga o se faleteuoloa, o feoaiga i luga o alatele lata ane, po o se masini lolomi e faʻagaoioia i le selau mita le mamao, e auina atu ai pea lava pea galu tetele i le lalolagi. Afai e oʻo atu nei galu i se faʻapotopotoga saʻo atoatoa poʻo se seti o le Renishaw laser interferometer, e faʻaletonu ai faitauga ma faʻaleagaina ai le faʻatulagaina o vaega.

Ina ia vavae ese lo tatou va o fua fa'atatau mai le pisa o le paneta, o lo'o fa'aalia i le nofoaga le inisinia loloto o le vavae'esega:

I le tipiina o se lua e 2000mm le loloto e faataamilo i a tatou sone fuaina, o galu o le gatete e feoaʻi i le pito i luga o le eleele e poloka faaletino ma mitiia aʻo leʻi oʻo atu i meafaigaluega e fai ai suʻega.

Fa'amautu Fa'avevela 10,000 Mita Fa'atafafa

O fesuiaiga o le vevela e mafua ai le fesuia'iga o le fua o le fausaga.maa granite sili ona lelei(~3100 kg/m³) e iai le mamafa tele o le vevela, o le fesuisuiaʻi faifai pea o le vevela o le a mafua ai ona faʻalautele pe mimilo lelei mea e oʻo lava i mea e sili ona mautu.

O la matou potu mama fa'apitoa e tausia se tulaga vevela e tumau ma le mausali. E fa'amamāina ma toe tufatufa atu le ea e ala i faiga tafe laminar e puipuia ai le fausiaina o ni vaega vevela po'o ni vaega malulu. O lenei pulea lelei o le tau e mafai ai e a matou meafaigaluega e fuaina ai—e pei o le Swiss WYLER electronic levels ma masini e su'e ai le roughness e maualuga le fa'ateleina—ona fa'agaoioia i o latou tulaga fa'atulagaina tonu.

O masini fa'atulaga uma e fa'aaogaina i totonu o lenei nofoaga o lo'o i ai tusi fa'amaonia aloaia e tu'uina atu e le Jinan Institute of Metrology ma le Shandong Institute of Metrology, fa'atasi ai ma le mafai ona toe su'eina sa'o i le National Institute of Metrology (NIM).

Fa'ata'ita'iina o Semiconductor Fabs: Siosiomaga Fa'apotopotoga e Leai se Pefu

E le gata i le vevela ma le gatete, o le fenumiai o mea e maua mai le ea e matua lamatia ai lava mea e pei o le ea ma fua o le ea. O se tama'i pefu e tasi e 10 microns le mamafa e mafai ona fa'alavelaveina ai se ta'iala e pei o le ea e maualuga le sa'o pe mafua ai ona sese le faitauina e le ulu o le masini faitau laser lona tulaga.

Mo lenei mafuaʻaga, o se vaega faapitoa o la matou fale e faʻagaoioia o se potu mama e faʻataʻitaʻi ai se siosiomaga semiconductor fab. O iinei, e faʻamamāina ai vaega o le granite, siakiina, ma faʻapipiʻi faʻatasi ma mea faʻaeletoronika saʻo, uʻamea puipui, poʻo taʻiala seramika i lalo o tulafono faʻatonutonu e aunoa ma le pefu. I le puleaina o le maʻa, le vevela, le gatete, ma le lelei o le ea, matou te faʻamautinoa o a matou oloa e tuʻuina atu le faʻatinoga mautu ma mafai ona vaʻaia i soo se mea i le lalolagi.