I le sootaga autū o le gaosiga o chip - wafer scanning, o le sa'o o masini e fuafua ai le lelei o le chip. I le avea ai o se vaega taua o le masini, o le fa'afitauli o le fa'alauteleina o le vevela o le fa'avae o le masini granite ua tosina mai ai le tele o le mafaufau.
O le fua fa'atatau o le fa'alauteleina o le vevela o le granite e masani lava i le va o le 4 ma le 8×10⁻⁶/℃, lea e matua maualalo ifo nai lo o metala ma ma'amora. O lona uiga a suia le vevela, e la'ititi lava le suiga o lona tele. Peita'i, e tatau ona maitauina o le fa'alauteleina maualalo o le vevela e le fa'apea ai e leai se fa'alauteleina o le vevela. I lalo o suiga tetele o le vevela, e o'o lava i sina fa'alauteleina itiiti e ono a'afia ai le sa'o o le nanoscale o le wafer scanning.
I le taimi o le faagasologa o le su'esu'eina o le wafer, e tele mafua'aga e mafua ai ona tupu le fa'alauteleina o le vevela. O le fesuisuia'i o le vevela i totonu o le fale faigaluega, le vevela e mafua mai i le fa'agaoioiga o vaega o masini, ma le vevela maualuga vave e mafua mai i le fa'agasologa o le laser o le a mafua ai ona "fa'alauteleina ma fa'apu'upu'u le fa'avae granite ona o suiga o le vevela". O le taimi lava e fa'alauteleina ai le vevela o le fa'avae, e ono ese le sa'o o le ala fa'atonutonu ma le lamolemole o le fa'avae, ma i'u ai i le le sa'o o le ala o le gaioi o le laulau wafer. O le a suia fo'i vaega opitika lagolago, ma mafua ai ona "ese" le ave o le su'esu'ega. O le galue pea mo se taimi umi o le a fa'aputuina ai fo'i mea sese, ma fa'aleagaina ai le sa'o.
Ae aua le popole. Ua iai fofo a tagata. I le tulaga o meafaitino, o alatoto granite e maualalo le coefficient o le faʻalauteleina o le vevela o le a filifilia ma faia i ai togafitiga tuai. I le tulaga o le puleaina o le vevela, o le vevela o le fale faigaluega e pulea ma le saʻo i le 23±0.5℃ pe maualalo ifo foi, ma o le a mamanuina foi se masini e faʻasaʻoloto ai le vevela mo le faʻavae. I le tulaga o le mamanu o le fausaga, o fausaga tutusa ma lagolago fetuutuunai e faʻaaogaina, ma o le mataʻituina i le taimi moni e faia e ala i masini e iloa ai le vevela. O mea sese e mafua mai i le faʻaleagaina o le vevela e faʻasaʻoina faʻafuaseʻi e ala i algorithms.
O masini maualuluga e pei o masini ASML lithography, e ala i nei metotia, e taofia ai le aafiaga o le faʻalauteleina o le vevela o le faʻavae granite i totonu o se vaega itiiti lava, ma mafai ai ona oʻo atu le saʻo o le suʻesuʻeina o le wafer i le tulaga nanometer. O le mea lea, pe afai e pulea lelei, o le faʻavae granite o loʻo avea pea ma filifiliga faʻatuatuaina mo masini suʻesuʻe wafer.
Taimi na lafoina ai: Iuni-12-2025