Aiseā ua Fa'amaoti Mai ai e le Au Gaosi Meafaigaluega Semiconductor ni Fa'avae Granite Fa'alenatura – 5 Mafua'aga Taua

I le lalolagi e maualuga le lamatiaga o le gaosiga o semiconductor, lea e fuaina ai le tele o vaega i nanometers, o le faavae o le masini e taua tele e pei o le optics poʻo le vacuum system. Pe o se masini siaki wafer poʻo se deep-ultraviolet (DUV) lithography system, e masani ona faʻamaoti mai e OEM i le lalolagi atoa le granite uliuli masani mo a latou faʻavae fausaga.

Ae aiseā ua avea ai le maa masani ma tulaga auro i se alamanuia e faʻamatalaina e mea faʻapitoa faʻaonaponei? O mafuaʻaga faʻapitoa e lima e avea ai le granite masani ma filifiliga e le mafai ona feutanaʻi mo masini semiconductor.

1. Tulaga Mausali Sili o le Vevela i totonu o le Fab

O le siosiomaga "Front-End" semiconductor e manaʻomia ai le tutusa atoatoa o le fua. E tusa lava pe na o sina vaega itiiti o le suiga o le vevela e mafai ona mafua ai ona faʻalauteleina fausaga uʻamea, ma iʻu ai i mea sese i luga poʻo le "le manino" i le lithography.

E matuā maualalo lava le Coefficient of Thermal Expansion (CTE) o le granite masani. Pe a fa'atusatusa sefaavae maa graniteMo se masini siaki wafer i se isi u'amea po'o le alumini, e tumau pea le "aisa" o le granite e ui lava i ni suiga laiti i le siosiomaga. O lenei malosi fa'avevela e fa'amautinoa ai o lo'o tumau pea le ala va'ai mai le wafer muamua o le suiga i le mulimuli.

2. Fa'aitiitia lelei o le gatete mo le sa'o o le Nanometer

E matuā maaleale tele meafaigaluega vali ata ma fua fa'atatau e maualuga le manino i le "pisapisao"—o tetete e sau mai le fola o le fale gaosi oloa, o ili fa'amālūlū, po'o masini e taulimaina ai le wafer e aunoa ma se masini fa'a'olo.

E ui o u'amea e masani ona "tatagi" (gatete mo se taimi umi pe a uma ona pa'i), ae o le granite masani e maualuga lona gafatia e taofi ai le pa'u i totonu. E vave ona mitiia ma fa'aumatia le malosi o le gaioi. O lenei granite e taofi ai le pa'u mo masini lithography e mafai ai e le masini ona vave fa'amautu pe a uma se gaioiga saoasaoa maualuga, ma fa'ateleina ai le saoasaoa o le "Iunite i le Itula" (UPH) o le meafaigaluega.

3. E lē fa'amagnetisi ma e lē fa'aeletise fo'i

O faiga fa'a-semiconductor e masani ona aofia ai ave eletise maaleale (E-beam) po'o afi eletise fa'amagnetisi maualuga le sa'o. E mafai e se fa'avae u'amea ona fa'alavelave i nei fanua fa'amagnetisi pe fa'atupuina ai tafega eddy e fa'alavelaveina ai le sa'o o le sensor.

I le avea ai ma se mea e taofia ai le vevela o le eleele, e maua ai e le granite se fausaga e le fa'amagneti mo potu mama. E le fa'alavelave i le siosiomaga eletise o le meafaigaluega, ma mafai ai ona maua fa'amaumauga mama ma le le fa'aleagaina i le taimi o le fa'afanua o le tulaga o le eleele po'o le siakiina o mea sese.

4. Tetee atu i le 'Ele ma le Fetaui ma le Potu Mama

I totonu o se potu mama (Vasega 1 po'o le Vasega 10), o le fa'aaogaina o kasa i fafo ma le gaosia o ni fasi mea o fili ia o le fua o le gaosiga. E le pei o le u'amea po'o le u'amea, o le granite masani e le elea, e le fa'aleagaina, pe mana'omia ni vali ma ni ufiufi fa'akemikolo e ono malepelepe pe alu ese le kasa i le aluga o taimi.

E lē gaoioi le granite i vailaʻau. E tusa lava pe faʻaalia i vailaʻau faʻamamā faʻapitoa e faʻaaogaina i totonu o se semiconductor fab, e tumau pea lona tulaga lelei i luga. O lona fausaga maualuga (pe tusa ma le 3100kg/m³) e faʻamautinoa ai e tumau pea le "leai ni vaega" i le olaga atoa o le masini.

5. Ausia o le "Mafolafola Moni" e ala i le Tape Lima

I le pisinisi semiconductor, e lē lava le "mafolafola". E masani ona manaʻomia e vaega le saʻo e pei o le nano lea e lē mafai e masini CNC ona ausia.

E mafai e le maa granite masani ona fa'aogaina i le lima, o se faiga fa'aleleia lima lea e ausia ai e le au atamamai tomai ni tulaga e tutusa lelei ma le ±0.001mm. O lenei tulaga o le sa'o e taua tele mo vaega e feavea'i ai le ea e fa'aaogaina i masini su'esu'e wafer fa'aonaponei, lea e tatau ai ona tutusa lelei le va o le ea i le va o le vaega ma le fa'avae i le vaega atoa o femalagaaiga.

Le Aogā o le ZHHIMG: Sa'o mo le Nano-Age

I le UNPARALLELED (ZHHIMG), matou te malamalama lelei i le mautu o le vevela o le granite i totonu o semiconductor fabs nai lo se isi lava tagata. Matou te tuʻuina atu vaega granite ua mamanuina faʻapitoa i le au gaosi meafaigaluega semiconductor taʻutaʻua i le lalolagi, e faʻapitoa i:

• Fa'avae tetele e fetaui ma le masini e mitiia ai le ea.

• O pou fa'alava sa'o mo faiga gantry saoasaoa maualuga.

• Fa'aopoopoga tu'ufa'atasi mo le fa'apipi'iina o le afi laina sa'o.

O la matou maa granite uliuli mafiafia e maua ma faʻagasoloina e faʻafetaui ai tulaga manaʻomia sili ona faigata o le faʻafanua o le semiconductor i le lalolagi atoa.