I le gaosiga o semiconductor, metrology fa'aonaponei, ma le gaosiga sa'o atoatoa, o le mana'oga mo le mautu, sa'o, ma le gaioi e aunoa ma le gatete ua o'o atu i se tulaga e le mafai e fausaga masani o masini ona ausia. O lenei suiga o lo'o tuleia ai 'au inisinia i le lalolagi atoa e toe iloilo meafaitino ma fa'avae gaioiga e lagolagoina a latou meafaigaluega e sili ona maaleale. O se taunuuga, o faiga fa'avae granite—e pei o le fa'apotopotoga granite sa'o, fa'avae tetele o su'esu'ega granite, Vertical Linear Stages Granite Stages, ma mamanu fa'aonaponei o Granite Air Bearing Stage—ua avea ma mea e taua tele i pisinisi e maualuga le sa'o. O le malamalama i le mafua'aga e taua ai nei fausaga, ma le auala latou te lagolagoina ai fa'aoga e pei o le su'esu'ega wafer, e taua tele mo kamupani gaosi oloa o lo'o tauva i le tulaga maualuga o le sa'o.
O le tulaga lelei autū o le granite e amata i ona uiga faaletino. E le pei o fausaga uʻamea e faʻaosofia ai le mamafa i totonu, mafatia i le faʻalauteleina o le vevela, pe faʻasalalauina le gatete, o le granite uliuli e tumau pea le mautu faalenatura. O lenei mautu e mafai ai e inisinia ona fausia ni faʻavae e matua mafolafola, e matua maʻaʻa lava e mafai ona tauaveina ni avega mamafa e aunoa ma le faʻaleagaina o le saʻo. A faʻaaogaina o se faʻavae tele o suʻesuʻega granite, e tuʻuina atu e le meafaitino le ituaiga o le saʻo o le fua e manaʻomia mo meafaigaluega semiconductor, faiga fuaina opitika, ma iunite suʻesuʻega otometi o loʻo faʻagaoioia pea i siosiomaga faigata.
I le lalolagi o faiga fa'agaoioi, ua sili atu le alualu i luma o le granite nai lo lona tulaga o se fa'avae masini e le gaoioi. O aso nei, o lo'o avea ma ivi fa'avae mo le Vertical Linear Stages Granite Stages, lea e tatau ai ona toe faia le gaioiga sa'o i le Z-axis i tulaga sub-micron po'o le nanometer. O nei la'asaga e masani ona fa'aogaina ai le tekinolosi o le ea, e mafai ai ona faia le gaioiga e aunoa ma se fe'ese'esea'iga e taua mo le sa'o i se taimi umi. O se la'asaga Granite ua mamanuina lelei e fa'aumatia ai le fa'atupuina o le vevela ma le ofuina o masini, o mea ia e lua e masani ona fa'atapula'aina ai le umi ma le fa'atuatuaina o fa'avae gaioiga sa'o.
O uʻamea ea o se tasi lea o mea fou e sili ona taua e faʻatinoina ai lenei alualu i luma. O le Granite Air Bearing Guide e ofoina atu ai se foliga taʻitaʻi sili ona lelei e mafai ona lagolagoina le gaioiga e matua lamolemole ma e aunoa ma se paʻi. A tuʻufaʻatasia i totonu o le Granite Air Bearing Stage, e mafai e le faiga ona faʻatumauina le gaioiga mautu ma sina mea sese o le siakiina, e tusa lava pe i lalo o saoasaoa maualuga poʻo ni taamilosaga faigaluega umi. O lenei gafatia e taua tele i le gaosiga o semiconductor, lea e manaʻomia ai le gaioiga mautu tele i itu uma o le faʻatulagaina o le wafer, saʻo o le overlay, ma le micro-pattern scanning. O le tuʻufaʻatasiga o le mautu o le granite ma le gaioiga o le uʻamea ea ua manatu nei o se faʻailoga i le mamanuina o masini maualuga.
O nei alualu i luma ua i ai se aafiaga tele i le alamanuia o semiconductor, aemaise lava i le siakiina o wafer. E tatau i faiga siakiina ona vavaeese le gatete, faatumauina le lamolemole atoatoa, ma tuuina atu le pulea o gaioiga e aunoa ma ni mea sese a o taulimaina wafers maaleale i le nanometer-level tolerances. O se fausaga e faavae i luga o le granite e maua ai le faavae e mafai ai lenei mea. O le mafiafia maualuga o le meafaitino e mitiia ai micro-vibrations mai afi, meafaigaluega o loo siomia ai, ma e oo lava i mea tau siosiomaga, ma ia mautinoa ai o loo maua e faiga opitika maaleale se tulaga mama ma mautu e faagaoioi ai. A o faaitiitia nodes gaosiga ma faigata manaoga o asiasiga, o faiga gaioiga e lagolagoina e le granite ua faamaonia le taua i le faatumauina o le fua ma le puipuia o le tulaga lelei o wafer.
Mo le au fau masini, o le taua o fausaga granite e sili atu nai lo le lelei o meafaitino. O le aga masani i le fa'apipi'iina atoatoa o granite sa'o o lona uiga e mafai ona gaosia ni fa'avaa masini faigata, ni mea fa'apipi'i ua fa'apipi'iina, ni vaega sa'o i le eleele, ma ni ta'iala e uuina ai le ea e avea o se fausaga tu'ufa'atasi. O lenei mea e fa'aitiitia ai le taimi e fa'apipi'i ai, aveese ai fa'afitauli o le fa'atulagaina, ma fa'amautinoa ai o le masini mulimuli e fa'atumauina le mautu fa'ata'ita'i i se taimi umi. Faatasi ai ma le fa'aleleia atili pea o tekinolosi fa'amasini, e mafai ona gaosia vaega granite ma ni fa'apalepale matua'i fa'apitoa, ma avea ai le meafaitino ma mea e talafeagai mo le isi tupulaga o semiconductor ma masini opitika.
O le isi mea e mafua ai ona taliaina i Europa, Amerika, ma Asia o le tumau umi lea o le granite. E le pei o vaega uamea e manaʻomia ai le valiina, faʻasusuina, poʻo le faʻatulagaina soo, e tausia e le granite lona tulaga lelei ma sina tausiga itiiti. A faʻaaogaina i totonu o se vaega o le Granite poʻo se nofoaga tele e siaki ai, o le teteʻe atu o le meafaitino i le faʻaleagaina e faʻamautinoa ai o le a faʻatino lelei le faiga i le tele o tausaga o le faʻaaogaina. Mo kamupani e popole i le tau o le olaga atoa, o lenei tulaga mautu mo se taimi umi e maua ai se toe foʻi mai o tupe teufaafaigaluega e mafai ona fuaina.
A o agai atu pisinisi i tulaga maualuluga o le sa'o, ua fa'ateleina le lauiloa o le granite o le fa'avae mo le gaosiga e matua mautu lava. Pe o le lagolagoina o se tulaga e maualuga le saoasaoa o le ea po'o le fausia o le fa'avae o se masini siaki e maualuga le sa'o, e fa'amautinoa e le granite e le fa'aleagaina le fa'atinoga e suiga o le siosiomaga po'o le fa'alavelave fa'amekanika. Faatasi ai ma le tuputupu a'e o le mana'oga mo semiconductor, fa'alauteleina o le otometi, ma tekinolosi fa'apitoa fa'apitoa, o le taua o fa'avae e fa'avae i luga o le granite o le a fa'aauau pea ona fa'atupula'ia.
O loʻo tumau pea le tautino a le ZHHIMG i le faʻaleleia atili o gafatia o fofo granite saʻo. E ala i faiga faʻaleleia atili o masini, le pulea lelei o le lelei o le ISO, ma le faʻaauau pea ona atinaʻeina o fausaga faʻapitoa e pei o le faʻapotopotoga granite saʻo, Granite Air Bearing Stage, ma Vertical Linear Stages Granite Stages, e lagolagoina e le kamupani tagata faʻatau e faʻalagolago i le saʻo atoatoa i faʻaoga taua. A o faʻatupulaʻia le suʻesuʻega o le wafer, nanometer metrology, ma le faʻaogaina o masini maualuga, o le granite o le a tumau pea i le totonugalemu o inisinia saʻo faʻaonaponei—e faʻatuatuaina mo lona mautu, tutusa, ma le faʻatinoga.
Taimi na lafoina ai: 28 Nov-2025