Gaosiga o semiconductor
Lithography: O le Lithography o se faiga autū i le gaosiga o semiconductor e manaʻomia ai le fesiitaiga saʻo o mamanu faigata o matagaluega i luga o wafers. O le XYT precision active vibration isolation motion platform i luga o le granite base e mafai ona tuʻuina atu le lagolago mautu ma le tulaga saʻo mo masini lithography, ma faʻamautinoa o le saʻo o le tulaga o le wafer table i le faʻagasologa o le faʻaalia e oʻo atu i le tulaga nanometer, ma faʻaitiitia lelei ai le faʻaletonu o mamanu e mafua mai i le vibration ma le faʻaleagaina o le vevela, ma faʻaleleia atili ai le saʻo o le gaosiga ma le fua o le chip.
Su'esu'ega o le Wafer: A mae'a le gaosiga o le wafer, e mana'omia ona su'esu'eina ma le sa'o lelei e maua ai ni fa'aletonu laiti ma ni mea sese. E mafai e le XYT precision active vibration isolation motion platform ona feavea'i ni meafaigaluega e iloa ai, e pei o le electron beam microscope, atomic force microscope, ma isi mea, e fa'atumauina ai le mautu o le gaioiga ma le tulaga sa'o i le taimi o le fa'agasologa o le su'esu'eina, ina ia mafai ai e le meafaigaluega e iloa ai ona su'esu'eina ma le sa'o le fogā'ele'ele o le wafer, fa'aleleia atili ai le iugafono ma le sa'o o le su'esu'eina.
Gaosiga o meafaigaluega opitika
O le oloina ma le fa'apulusina o tioata tioata: I le faagasologa o le gaosiga o tioata tioata, e tatau ona oloina ma fa'apulusina tioata tioata ma le sa'o lelei ina ia maua ai ni meatotino lelei o tioata tioata. E mafai e le XYT precision active vibration isolation movement platform ona pulea lelei le ala o gaioiga o meafaigaluega oloina ma fa'apulusina, ae o le fa'avae granite e mafai ona fa'aesea le gatete mai fafo, fa'aitiitia le a'afiaga o le gatete i le sa'o o le masini, ina ia mautinoa o le foliga o le tioata e fetaui ma mana'oga o le mamanu.
Fa'apotopotoga o le faiga opitika: I le fa'agasologa o le fa'apotopotoga o le faiga opitika, e mana'omia ona fa'apipi'i sa'o vaega opitika eseese i se tulaga fa'apitoa ina ia mautinoa le sa'o o le fa'asalalauina o le malamalama ma le lelei o le ata. O le XYT precision active vibration isolation motion platform ma le fa'avae granite e mafai ona maua ai se tulaga mautu mo le fa'apipi'iina ma le fetu'una'iga o vaega opitika, ma ausia ai le fa'atulagaina ma le fa'apotopotoga maualuga o vaega opitika e ala i le pulea sa'o o gaioiga.
vaalele
Su'ega o le faiga fa'atautaia inertial: O le faiga fa'atautaia inertial o se meafaigaluega taua mo le fa'atautaia i le va'alele, ma o lona sa'o e a'afia ai le sa'o o le fa'atautaia ma le saogalemu o va'alele. I le fa'agasologa o le su'eina o le faiga fa'atautaia inertial, e tatau ona fa'aaoga le turntable maualuga le sa'o e fa'ata'ita'i ai tulaga eseese o gaioiga o le va'alele. E mafai ona fa'aogaina le XYT precision active vibration isolation motion platform o se lagolago mo le laulau vili. E ala i le pulea sa'o o gaioiga ma le lelei o le fa'atinoina o le vibration isolation, e maua ai se siosiomaga mautu ma sa'o mo le su'ega o le faiga fa'atautaia inertial, ma fa'aleleia atili ai le sa'o ma le fa'atuatuaina o le su'ega.
Masini lau o le afi aero: O le sa'o o le masini o le lau o le afi aero e iai sona aafiaga taua i le fa'atinoga ma le lelei o le afi. E mafai ona fa'aogaina le fa'avae o le gaioiga o le XYT precision active vibration isolation i le fa'agasologa o le masini o le lau, e pei o le nofoaga autu o masini e lima-axis linkage, e ala i le puleaina sa'o o le ala o le gaioiga o le meafaigaluega ma le tausia o se siosiomaga mautu o le fa'agasologa, ina ia ausia ai le masini maualuga o le lau, ina ia mautinoa o le sa'o o le foliga o le lau ma le lelei o le fogāeleele e fetaui ma mana'oga o le mamanu.
Su'ega fa'asaienisi
Suʻesuʻega Nanoscience: I suʻesuʻega nanoscience, e tatau ona faʻagaoioia ma mataʻituina mea faʻa-nano, e pei o le sauniaina o mea nano ma le faʻapotopotoina o masini nano. O le faʻavae granite o le XYT precision active vibration isolation motion platform e mafai ona tuʻuina atu le saʻo o le tulaga i lalo ifo o le micron poʻo le nano-level, tuʻuina atu se faʻavae faʻataʻitaʻi mautu ma saʻo mo suʻesuʻega nanoscience, ma fesoasoani i saienitisi e suʻesuʻe atili mea lilo o le lalolagi nano.
Ata fa'afoma'i: I le matā'upu fa'afoma'i, e pei o le fluorescence microscopy, confocal microscopy ma isi masini fa'ata'ita'i, ina ia maua ai ni ata fa'aolaola maualuga le iugafono, e mana'omia le tulaga sa'o ma le ata mautu o le fa'ata'ita'iga. E mafai e le XYT precision active vibration isolation motion platform ona feavea'i fa'ata'ita'iga fa'aolaola, fa'aitiitia le gatete ma le fe'avea'i o fa'ata'ita'iga e ala i le pulea sa'o o gaioiga ma le fa'atinoga lelei o le gatete, fa'aleleia atili le lelei ma le sa'o o ata, ma fesoasoani i tagata su'esu'e fa'afoma'i e fa'atino su'esu'ega loloto i luga o sela, aano ma isi fausaga fa'amikroskopi.
Taimi na lafoina ai: Ape-11-2025