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I le matata o le gaosiga o semiconductor, o le sa'o o masini siaki wafer e fuafua sa'o ai le lelei ma le fua o chips. I le avea ai ma faavae e lagolagoina ai vaega autu o le iloa, o le mautu o le fua o le mea autu o le masini e taua tele i le fa'atinoga umi o le masini. O le granite ma le u'amea ua fa'aaogaina e masani ona fa'aaogaina mo masini siaki wafer. O se su'esu'ega fa'atusatusa e 10 tausaga ua fa'aalia ai eseesega taua i le va o ia mea i tulaga o le mautu o fua, ma maua ai ni fa'amatalaga taua mo le filifilia o masini.
Tala'aga ma le Fuafuaga Fa'ata'ita'i
O le faagasologa o le gaosiga o wafers semiconductor e matua maualuga lava manaʻoga mo le saʻo o le iloa. E oʻo lava i le eseesega o le fua o le micrometer e mafai ona oʻo atu ai i le paʻuʻū o le faʻatinoga o le chip poʻo le soloia foʻi. Ina ia suʻesuʻeina le mautu o le fua o le granite ma le uʻamea lafo i le taimi e faʻaaogaina ai mo se taimi umi, na mamanuina e le 'au suʻesuʻe ni faʻataʻitaʻiga na faʻataʻitaʻi ai siosiomaga faigaluega moni. O faʻataʻitaʻiga o le granite ma le uʻamea lafo o le faʻamatalaga tutusa na filifilia ma tuʻu i totonu o se potu siosiomaga lea e fesuisuiaʻi ai le vevela mai le 15℃ i le 35℃ ma fesuisuiaʻi le susu mai le 30% i le 70% RH. O le gatete faʻamekanika i le taimi o le faʻagaioiga o le masini na faʻataʻitaʻiina e ala i se laulau gatete. O fua autu o faʻataʻitaʻiga na fuaina i kuata taʻitasi e faʻaaoga ai se laser interferometer maualuga le saʻo, ma o faʻamaumauga na faʻaauau pea ona faʻamaumauina mo le 10 tausaga.
Iʻuga o le faʻataʻitaʻiga: O le lelei atoatoa o le granite
O le sefulu tausaga o faʻamaumauga faʻataʻitaʻi ua faʻaalia ai o le granite substrate e matua mautu lava. O lona coefficient of thermal expansion e matua maualalo lava, e naʻo le 4.6 × 10⁻⁶/℃ le averesi. I lalo o suiga tetele o le vevela, o le eseesega o le tele e pulea i taimi uma i totonu ole ± 0.001mm. I luma o suiga o le susū, o le mafiafia o le granite e toetoe lava a le aʻafia ai, ma e leai ni suiga e mafai ona fuaina o le tele e tupu. I totonu o se siosiomaga gatete faʻamekanika, o uiga lelei o le damping o le granite e mitiia lelei ai le malosi o le gatete, ma o le suiga o le tele e matua laʻititi lava.
I se faatusatusaga, mo le uʻamea uamea, o lona fua faatatau o le faʻalauteleina o le vevela e oʻo atu i le 11 × 10⁻⁶/℃ - 13 × 10⁻⁶/℃, ma o le maualuga o le eseesega o le fua e mafua mai i suiga o le vevela i totonu o le 10 tausaga e ±0.05mm. I se siosiomaga susū, e faigofie ona ele ma pala le uʻamea uamea. O nisi faʻataʻitaʻiga e faʻaalia ai le faʻaleagaina o le lotoifale, ma e faʻateleina atili ai le eseesega o le fua. I lalo o le gaioiga a le gatete faʻamekanika, e le lelei le faʻatinoga o le uʻamea uamea i le taofiofia o le gatete ma e masani ona fesuisuiaʻi lona tele, ma faigata ai ona ausia manaʻoga maualuga o le saʻo o le siakiina o le wafer.
O le mafuaʻaga autū o le eseesega i le mautu
Na fausia le maa granite i le selau miliona tausaga e ala i faiga fa'ale-geo. O lona fausaga i totonu e mafiafia ma tutusa, ma o tioata minerale e mautu lelei le fa'atulagaina, e ave'ese ai le fa'alavelave i totonu e ala i le natura. O lenei mea e matua le lagona ai i suiga i mea mai fafo e pei o le vevela, le susu ma le gatete. O le u'amea e faia e ala i le faiga o le fa'a'ofu ma e iai ni fa'aletonu laiti e pei o pu ma pu oneone i totonu. I le taimi nei, o le fa'alavelave totoe e mafua mai i le taimi o le faiga o le fa'a'ofu e faigofie ona mafua ai suiga o le tele i lalo o le fa'amalosia o le siosiomaga i fafo. O meatotino u'amea o le u'amea e faigofie ai ona ele ona o le susu, fa'avavevaveina le fa'aleagaina o le fausaga ma fa'aitiitia ai le mautu o le tele.
O le a'afiaga i masini siaki wafer
O masini siaki wafer e faʻavae i luga o le granite substrate, faʻatasi ai ma lona faʻatinoga mautu o le fua, e mafai ona faʻamautinoa o loʻo tumau pea le saʻo o le faiga siaki mo se taimi umi, faʻaitiitia ai le sese o le faʻamasinoga ma le misia o le iloa e mafua mai i le saʻo o le masini, ma faʻaleleia atili ai le fua o oloa. I le taimi nei, o le maualalo o manaʻoga tausiga e faʻaitiitia ai le tau atoa o le olaga o le masini. O masini e faʻaaogaina ai le uʻamea uʻamea, ona o le le mautu o le fua, e manaʻomia ai le faʻatulagaina ma le tausiga soo. E le gata ina faʻateleina ai tau o galuega ae ono aʻafia ai foʻi le lelei o le gaosiga o semiconductor ona o le le lava o le saʻo, ma mafua ai le ono leiloa o le tamaoaiga.
I lalo o le aga masani a le alamanuia semiconductor e tulimataʻia le saʻo ma le lelei, o le filifilia o le granite e fai ma mea autu mo masini siaki wafer e mautinoa lava o se gaioiga atamai e faʻamautinoa ai le faʻatinoga o masini ma faʻaleleia atili ai le tauvaga a pisinisi.
Taimi na lafoina ai: 14 Me 2025