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I le tulaga o le gaosiga o semiconductor, o le saʻo o masini suʻesuʻe wafer e fuafua saʻo ai le lelei ma le gaosiga o tupe meataalo. I le avea ai ma faavae e lagolagoina ai vaega autu e iloa ai, o le tulaga mautu o mea fa'avae meafaigaluega o lo'o i ai se sao taua i le fa'atinoina o le taimi umi o meafaigaluega. O le maa ma le u'amea e lua e masani ona fa'aogaina mo masini su'esu'e. O se suʻesuʻega faʻatusatusa 10-tausaga ua faʻaalia ai le tele o eseesega i le va oi latou i le tulaga o le mautu, tuʻuina atu faʻamatalaga taua mo le filifilia o meafaigaluega. ;
Tala'aga Fa'ata'ita'i ma Fuafuaga
O le faagasologa o le gaosiga o semiconductor wafers e matua maualuga lava mana'oga mo le iloa sa'o. E o'o lava ile micrometer-level deviation e mafai ona o'o atu ai ile fa'aitiitia o le fa'atinoga o chip po'o le tapeina fo'i. Ina ia su'esu'e le tulaga mautu o le ma'amora ma le u'amea lafo i le taimi umi o le fa'aoga, na faia e le au su'esu'e ni fa'ata'ita'iga e fa'atusa ai si'osi'omaga galue moni. O faʻataʻitaʻiga o le uʻamea ma le uʻamea o le faʻamatalaga tutusa na filifilia ma tuʻu i totonu o se potu siʻosiʻomaga lea e fesuisuiaʻi ai le vevela mai le 15 ℃ i le 35 ℃ ma le susu e fesuisuiai mai le 30% i le 70% RH. O le faʻaogaina o masini i le taimi o le faʻaogaina o meafaigaluega na faʻataʻitaʻiina e ala i se laulau vibration. O fua autu o faʻataʻitaʻiga na fuaina i kuata taʻitasi e faʻaaoga ai se interferometer laser maualuga, ma faʻamaumau faʻamaumauga mo le 10 tausaga. ;
I'uga fa'ata'ita'iga: Le lelei atoatoa o le ma'amora
Sefulu tausaga o faʻamatalaga faʻataʻitaʻiga o loʻo faʻaalia ai o le maamora substrate faʻaalia le mautu ofoofogia. O lona coefficient o le faʻalauteleina o le vevela e matua maualalo lava, e naʻo le 4.6 × 10⁻⁶ / ℃. I lalo o le tele o suiga o le vevela, e masani ona pulea le eseesega i totonu ole ± 0.001mm. I le feagai ai ma suiga o le susu, o le fausaga mafiafia o le maamora e toetoe lava a le afaina, ma e leai ni suiga e mafai ona fuaina. I totonu o se si'osi'omaga fa'ainisinia, o uiga sili ona lelei o le ma'amora e fa'amalieina le malosi o le vibration, ma e matua la'ititi lava le fesuiaiga o fua. ;
I se eseesega, mo le uʻamea uʻamea substrate, o lona averesi coefficient o le faalauteleina vevela e oʻo atu i le 11 × 10⁻⁶ / ℃ - 13 × 10⁻⁶ / ℃, ma o le maualuga o le eseesega o mea e mafua mai i suiga o le vevela i totonu o le 10 tausaga o le ± 0.05mm. I se si'osi'omaga susū, o le u'amea lafo e faigofie ona ele ma pala. O nisi fa'ata'ita'iga o lo'o fa'aalia ai suiga fa'apitonu'u, ma fa'atupula'ia atili le va'aiga. I lalo o le gaioiga o le faʻaogaina o le masini, o le uʻamea e le lelei le vibration damping performance ma o lona tele e fesuisuiai soo, e faigata ai ona faʻamalieina manaʻoga maualuga o le suʻesuʻeina o wafer. ;
O le mafuaaga taua mo le eseesega i le mautu
Granite na fausia i luga o le faitau selau miliona o tausaga e ala i faiga faʻafanua. O lona fausaga i totonu e mafiafia ma toniga, ma o tioata minerale o loʻo faʻatulagaina lelei, faʻaitiitia ai le faʻalavelave i totonu e ala i le natura. O le mea lea e matua le amana'ia ai suiga i mea mai fafo e pei o le vevela, susu ma le vibration. O le u'amea e faia i le fa'aulu ma e iai fa'aletonu e pei o pores ma pu oneone i totonu. I le taimi nei, o le faʻamaʻi totoe o loʻo faʻatupuina i le taimi o le faʻagasologa o le tuʻuina atu e ono mafua ai suiga tetele i lalo o le faʻaosofia o le siosiomaga i fafo. O mea u'amea o le u'amea lafo e faigofie ona elea ona o le susū, fa'avaveina le fa'aleagaina o le fausaga ma fa'aitiitia ai le mautu. ;
Le a'afiaga i masini su'esu'e wafer
Meafaigaluega su'esu'e wafer e fa'avae i luga o le ma'a ma'amea, fa'atasi ai ma lona fa'atinoga mautu, e mafai ona fa'amautinoaina o lo'o fa'atumauina e le faiga su'esu'e le sa'o maualuga mo se taimi umi, fa'aitiitia le fa'aituau sese ma le misia o le iloa e mafua mai i le sa'o sa'o o masini, ma fa'aleleia atili le gaosiga o oloa. I le taimi nei, o le maualalo o le tausiga o manaʻoga e faʻaitiitia ai le tau atoa o le olaga o meafaigaluega. Meafaigaluega e fa'aogaina ai le u'amea u'amea, ona o le le lelei o le mautu, e mana'omia le fa'avasegaina ma le tausiga. E le gata ina fa'atuputeleina ai tau fa'agaioiga ae e ono a'afia ai fo'i le lelei o le gaosiga o le semiconductor ona o le le lava o le sa'o atoatoa, ma mafua ai le gau o le tamaoaiga. ;
I lalo o le tulaga o le tulituliloaina o alamanuia semiconductor o le saʻo maualuga ma sili atu le lelei, o le filifilia o le maamora e avea ma mea faavae mo masini suʻesuʻe wafer e mautinoa lava o se gaioiga poto e faʻamautinoa ai le faʻatinoina o meafaigaluega ma faʻaleleia le tauvaga o pisinisi. ;
Taimi meli: Me-14-2025