O le faatosinaga patino o le fua faatatau o le faalauteleina o le vevela i luga o le gaosiga o semiconductor.

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I le matata o le gaosiga o semiconductor, lea e tulimataʻia ai le saʻo atoatoa, o le coefficient o le faʻalauteleina o le vevela o se tasi lea o faʻailoga autu e aʻafia ai le lelei o oloa ma le mautu o le gaosiga. I le faagasologa atoa mai le photolithography, etching i le afifiina, o eseesega i le coefficient o le faʻalauteleina o le vevela o meafaitino e mafai ona faʻalavelave i le saʻo o le gaosiga i auala eseese. Peitaʻi, o le faʻavae granite, faʻatasi ai ma lona coefficient o le faʻalauteleina o le vevela e matua maualalo lava, ua avea ma ki i le foia o lenei faʻafitauli.
Faiga o le Lithography: O le fa'aleagaina o le vevela e mafua ai le fa'aletonu o mamanu
O le Photolithography o se la'asaga autū i le gaosiga o semiconductor. E ala i se masini photolithography, o mamanu o le matagaluega i luga o le ufimata e fa'aliliuina atu i luga o le wafer ua ufiufi i le photoresist. I le taimi o lenei faiga, o le puleaina o le vevela i totonu o le masini photolithography ma le mautu o le laulau faigaluega e matua taua tele. Se'i fai ma fa'ata'ita'iga mea u'amea masani. O lo latou coefficient o le fa'alauteleina o le vevela e tusa ma le 12 × 10⁻⁶/℃. I le taimi o le fa'agaoioia o le masini photolithography, o le vevela e gaosia e le puna malamalama laser, tioata opitika ma vaega fa'ainisinia o le a mafua ai ona si'itia le vevela o le masini i le 5-10 ℃. Afai e fa'aogaina e le laulau faigaluega o le masini lithography se fa'avae u'amea, o se fa'avae e 1-mita le umi e ono mafua ai se fa'alauteleina o le 60-120 μm, lea o le a i'u ai i se suiga i le tulaga fa'atatau i le va o le ufimata ma le wafer.
I faiga gaosiga fa'aonaponei (e pei o le 3nm ma le 2nm), e na'o ni nai nanometa le va o transistor. O se fa'aletonu la'ititi fa'apenei o le vevela e lava lea e mafua ai ona le fetaui lelei le mamanu o le photolithography, e mafua ai ona feso'ota'i transistor e le masani ai, pupu'u po'o matala, ma isi fa'afitauli, e mafua ai ona le manuia galuega a le chip. O le coefficient fa'alauteleina o le vevela o le fa'avae granite e maualalo e pei o le 0.01μm/°C (e pei o le (1-2) ×10⁻⁶/℃), ma o le fa'aletonu i lalo o le suiga tutusa o le vevela e na'o le 1/10-1/5 o le u'amea. E mafai ona maua ai se tulaga mautu mo le masini photolithography, ma fa'amautinoa ai le fa'aliliuina sa'o o le mamanu photolithography ma fa'aleleia atili ai le fua o le gaosiga o chip.

O le vaneina ma le fa'aputuina: E a'afia ai le sa'o o le fua o le fausaga
O le vaneina ma le fa'aputuina o faiga autū ia mo le fausiaina o fausaga matagaluega tolu-vaega i luga o le fogāeleele o le wafer. I le taimi o le faagasologa o le vaneina, e faia ai e le kesi tali atu se tali fa'akemikolo ma le mea o lo'o i luga o le wafer. I le taimi nei, o vaega e pei o le sapalai eletise RF ma le pulea o le tafe o le kesi i totonu o le masini e fa'atupuina ai le vevela, ma mafua ai ona si'itia le vevela o le wafer ma vaega o le masini. Afai e le tutusa le coefficient o le fa'alauteleina o le vevela o le mea e feavea'i ai le wafer po'o le fa'avae o le masini ma le wafer (o le coefficient o le fa'alauteleina o le vevela o le mea silicon e tusa ma le 2.6 × 10⁻⁶/℃), o le a fa'atupuina le atuatuvale o le vevela pe a suia le vevela, lea e ono mafua ai ni māvaevae laiti pe pi'o i luga o le fogāeleele o le wafer.
O lenei ituaiga o fa'aletonu o le a a'afia ai le loloto o le eliina ma le tulaga fa'atulagaina o le puipui i autafa, ma mafua ai ona ese le tele o alavai ua eliina, i totonu o pu ma isi fausaga mai mana'oga o le mamanu. E fa'apena fo'i, i le faiga o le fa'aputuina o ata manifinifi, o le eseesega i le fa'alauteleina o le vevela e ono mafua ai le mamafa i totonu o le ata manifinifi ua eliina, ma i'u ai i fa'afitauli e pei o le māvaevae ma le saeia o le ata, lea e a'afia ai le fa'atinoga eletise ma le fa'atuatuaina o le chip i se taimi umi. O le fa'aaogaina o fa'avae granite ma se coefficient fa'alauteleina o le vevela e tutusa ma mea silicon e mafai ona fa'aitiitia lelei ai le mamafa o le vevela ma fa'amautinoa le mautu ma le sa'o o faiga o le eliina ma le fa'aputuina.
Vaega o afifiina: O le le fetaui o le vevela e mafua ai faafitauli i le faatuatuaina
I le vaega o afifiina o semiconductor, o le fetaui lelei o le fa'alauteleina o le vevela i le va o le chip ma le mea e afifi ai (e pei o le epoxy resin, ceramics, ma isi mea) e matua taua tele. O le fa'alauteleina o le vevela o le silicon, o le mea autu o chips, e maualalo, ae o le tele o mea e afifi ai e maualuga tele. A suia le vevela o le chip i le taimi e fa'aaogaina ai, o le a tupu le fa'alavelave fa'avevela i le va o le chip ma le mea e afifi ai ona o le le fetaui o le fa'alauteleina o le vevela.
O lenei fa'alavelave fa'avevela, i lalo o le aafiaga o ta'amilosaga fa'asolosolo o le vevela (e pei o le fa'avevela ma le fa'amālūlūina i le taimi o le fa'agaoioiga o le chip), e mafai ona o'o atu ai i le vaivai o le māvaevae o so'oga solder i le va o le chip ma le mea e afifi ai, pe mafua ai ona pa'u'ū ese uaea fa'apipi'i i luga o le chip, ma iu ai ina le manuia le feso'ota'iga eletise o le chip. I le filifilia o mea e afifi ai e iai le coefficient fa'alauteleina o le vevela e latalata i mea silicon ma le fa'aaogaina o fa'avae su'ega granite e sili ona lelei le mautu o le vevela mo le iloa sa'o i le taimi o le fa'agasologa o le afifiina, e mafai ona fa'aitiitia lelei le fa'afitauli o le le fetaui o le vevela, e mafai ona fa'aleleia le fa'atuatuaina o le afifiina, ma e mafai ona fa'alauteleina le umi o le tautua o le chip.
Puleaina o le siosiomaga gaosiga: O le mautu fa'atasi o meafaigaluega ma fale gaosi oloa
I le fa’aopoopoga i le a’afiaga tu’usa’o o le faiga o gaosiga, o le fua fa’atatau o le fa’alauteleina o le vevela e feso’ota’i fo’i ma le pulea atoa o le siosiomaga o fale gaosi oloa semiconductor. I fale gaosi oloa tetele o semiconductor, o mea e pei o le amataga ma le taofi o faiga ea malulu ma le fa’asalalauina o le vevela o vaega o masini e mafai ona mafua ai le suiga o le vevela o le siosiomaga. Afai e maualuga tele le fua fa’atatau o le fa’alauteleina o le vevela o le fola o le fale gaosi oloa, nofoaga o masini ma isi atina’e, o suiga umi o le vevela o le a mafua ai ona malepe le fola ma siitia le fa’avae o masini, ma a’afia ai le sa’o o masini sa’o e pei o masini photolithography ma masini etching.
I le faʻaaogaina o faʻavae granite e fai ma lagolago o meafaigaluega ma le tuʻufaʻatasia ma mea fau fale gaosi oloa e maualalo le faʻalauteleina o le vevela, e mafai ona fausia ai se siosiomaga gaosiga mautu, faʻaitiitia ai le tele o taimi e faʻatulaga ai meafaigaluega ma tau o tausiga e mafua mai i le faʻaleagaina o le vevela o le siosiomaga, ma faʻamautinoa ai le faʻagaoioiga mautu mo se taimi umi o le laina gaosiga semiconductor.
O le fua fa'atatau o le fa'alauteleina o le vevela e fa'atinoina i le ta'amilosaga atoa o le gaosiga o semiconductor, mai le filifilia o meafaitino, le puleaina o le fa'agasologa i le afifiina ma le fa'ata'ita'iina. E mana'omia ona mafaufau lelei i le a'afiaga o le fa'alauteleina o le vevela i so'otaga uma. O fa'avae o le granite, fa'atasi ai ma lo latou fua fa'atatau maualalo o le fa'alauteleina o le vevela ma isi meatotino lelei, e maua ai se fa'avae fa'aletino mautu mo le gaosiga o semiconductor ma avea ma se fa'amaoniga taua mo le fa'alauiloaina o le atina'eina o faiga gaosiga o chips agai i le sa'o maualuga.