I le fanua o le gaosiga maualuga ma suʻesuʻega faʻasaienisi faʻasaienisi, saʻo faʻamautu faʻamalosi ea opeopea feʻaveaʻi fausaga o meafaigaluega autu e ausia ultra-saʻo galuega. O le faavae saʻo maamora o le vaega lagolago autu o le tulaga, ma o lona faatinoga e vavalalata vavalalata ma le siosiomaga galue. O le malamalama ma le ausia o nei manaoga tau le siosiomaga e le gata ina mafai ona faʻamautinoa le maualuga o le faʻaogaina o le tulaga, ae o se vaega taua foi o le atinaʻe e faʻaleleia ai lona faʻatauvaʻa i matata faʻatatau, lea o loʻo faʻamatalaina auiliili i lalo.
1. Temperature: fa'atonu sa'o e fa'amautinoa le mautu o itu
E ui o le maamora ua lauiloa mo lona mautu, o lona coefficient o le faalauteleina vevela e le zero, ma o suiga laiti vevela e mafai ona aafia ai lona saʻo saʻo. I se tulaga masani, o le faʻalauteleina o le vevela o le maamora e 5-7 × 10⁻⁶ / ℃. I le faʻataʻitaʻiga o le faʻataʻitaʻiga o le faʻataʻitaʻiga o le faʻaogaina o le ea o loʻo faʻafefeteina, o lenei suiga laʻititi e faʻateleina e le faʻavae, lea e ono oʻo atu ai i le faʻaseseina o le saʻo o le gaioiga. Mo se faʻataʻitaʻiga, i le semiconductor chip gaosiga faagasologa, o le lithography faagasologa mo le tulaga saʻo manaʻomia o le tulaga danami, le ambient vevela fesuiaiga o 1 ° C, o le umi itu o le 1 mita maamora faavae e mafai ona maua 5-7 microns o le faalauteleina laina po o contraction, lea e lava e faia ai le tipi lithography mamanu deviation, faaitiitia le fua. O le mea lea, o le faʻamautu faʻamaualuga ea faʻafefeteina faʻapipiʻiina ma le maamora saʻo faavae, e tatau ona pulea lelei le vevela o le siosiomaga galue i le 20 ° C ± 1 ° C, e mafai e pisinisi ona faʻapipiʻi le maualuga o le faʻaogaina o le ea, faʻaauau pea ona mataʻituina ma saʻo fetuunai le vevela o le ambient, tausia le tele o le mautu o le maamora, ia mautinoa o loʻo faʻaogaina le tulaga maualuga.
2.humidity: pulea talafeagai, puipuia le faatinoga faavae
E iai fo'i se aafiaga taua o le susu i fa'avae ma'amora sa'o. I se siosiomaga maualuga susū, maamora faigofie e mitiia ausa vai, ma e mafai ona i ai condensation i luga, lea o le a le gata e faalavelave i le faagaoioiga masani o le faiga flotation ea, ae taitai atu ai foi i le tafia umi o le maamora luga, faaitiitia lona saʻo ma le ola auaunaga. O le avea o se faʻataʻitaʻiga o le faʻataʻitaʻiga o tioata tioata e fai ma faʻataʻitaʻiga, pe afai e maualuga atu le susu nai lo le 60% RH mo se taimi umi, o le ausa vai faʻapipiʻi i luga o le pito i luga o le maamora o le a faʻaumatia le tutusa o le ata tifaga ea, e mafua ai le faʻaitiitia o le saʻo o le tioata ma le faʻaletonu. O le mea lea, e manaʻomia le faʻatonutonuina o le faʻafefe o le siosiomaga faigaluega i le va o le 40% -60% RH. E mafai e pisinisi ona faaaoga dehumidifiers, susū sensors ma isi meafaigaluega e mataitu ma pulea le susu i le taimi moni, fatuina se siosiomaga susū talafeagai mo le faavae maamora sao, ma faamautinoa le faagaoioiga mautu o le saʻo static pressure ea opeopea fausaga faavae.
3. mama: pulea lelei, faʻaumatia faʻalavelave faʻapitoa
Pefu fasimea o le "fili" o le sa'o tulaga mamafa ea opeopea feʻaveaʻi fausaga opea, ma faia ai se afaina tele i maamora faavae saʻo. O le taimi lava e ulu atu ai ni vaega laiti i totonu o le va o le kesi fa'ameamea ma le fa'avae maamora, e mafai ona latou fa'aumatia le tutusa o le ata tifaga, fa'ateleina le fete'ena'iga, ma e o'o lava ina valuvalusia luga o le fa'avae, e matua a'afia ai le sa'o o le fa'agaioiga o le fa'avae. I totonu o le aʻoaʻoga faʻapipiʻi ultra-saʻo o vaega aerospace, pe a pa'u le efuefu vaega i le ea i luga o le maamora faavae, o le ala savali o le masini masini e mafai ona faaseseina, e aafia ai le sao atoatoa machining o vaega. O le mea lea, o le nofoaga faigaluega e tatau ona tausia lelei ma ausia se tulaga mama o le 10,000 pe sili atu foi. E mafai e pisinisi ona faamama ese vaega o le pefu i le ea e ala i le faapipiiina o faamama ea maualuga (HEPA), ma manaomia le aufaigaluega e ofuina ni lavalava e leai se pefu, seevae seevae, ma isi, e faaitiitia ai le pefu e aumaia e tagata, ma faatumauina le siosiomaga faagaoioia maualuga o le maamora faavae ma le saʻo static pressure air floating movement platform.
4. Vibration: Fa'amavaega lelei e fausia ai se avanoa lamolemole
Vibration i fafo o le a matua faalavelave i le sa'o o le sa'o static pressure air floating platform, e ui lava o le sa'o ma'amea faavae o lo'o i ai se malosi attenuation vibration, ae o le vibration malosi maualuga e mafai lava ona motusia lona tapulaa pa. O le vibration o loʻo faʻatupuina e ala i le faʻataʻamilomilo o le fale gaosimea ma le faʻaogaina o masini masini tetele o loʻo tuʻuina atu i le maʻa maʻamea e ala i le eleele, lea o le a faʻalavelaveina ai le saʻo o le gaioiga o le faʻavae. I le maualuga CMM, vibration e mafai ona mafua ai le faʻafesoʻotaʻi i le va o le fua suʻesuʻe ma le mea faigaluega e fuaina ina ia le mautu, e mafua ai le faʻaseseina o faʻamaumauga o fua. Ina ia foia lenei faafitauli, e tatau ona faʻaaogaina faiga faʻamavaega lelei, e pei o le faʻapipiʻiina o pads vavae ese i le nofoaga faʻapipiʻi meafaigaluega, fausiaina o le faʻavaeina o le faʻavaeina o le vibration, poʻo le faʻaogaina o le faʻamavaeina o le vibration malosi e faʻafefe ai le vibration i fafo, ma fatuina se siosiomaga galue filemu ma mautu mo le maamora saʻo faavae ma le saʻo faʻamalosi ea faʻafefete faʻavae.
Faʻafeiloaʻi manaʻoga o le siosiomaga o loʻo i luga, ina ia mafai ona tuʻuina atu le taʻaloga atoa i le lelei o le faʻavae saʻo maʻamora i totonu o le faʻamaufaʻailoga faʻapitoa faʻafefeteina o loʻo faʻafefeteina, ia mautinoa o le tuʻufaʻatasiga e maua ai le saʻo maualuga ma le maualuga o le faʻamautuina o auaunaga mo pisinisi eseese. Afai e mafai e pisinisi ona gauai atu i nei auiliiliga i le gaosiga o le siosiomaga, o le a latou faoa le avanoa i le gaosiga saʻo, suʻesuʻega faasaienisi ma isi matata, faʻaleleia lo latou faʻatauvaʻa, ma ausia le atinaʻe gafataulimaina.
Taimi meli: Apr-10-2025