Semiconductor gaosiga: I le faagasologa o le gaosiga o chip, o le photolithography faagasologa e manaʻomia le faʻafeiloaʻi saʻo o le mamanu faʻasolosolo i le wafer. O le faavae maamora o le tasi axis ea opeopea ultra-saosaoa motion module e mafai ona maua tulaga saʻo maualuga ma lagolago mautu mo le laulau wafer i meafaigaluega lithography. Mo se faʻataʻitaʻiga, o le ASML ma isi tagata gaosi oloa faʻasalalau faʻasalalau faʻavaomalo e faʻaogaina le faʻaogaina o le ea o loʻo faʻaogaina i totonu oa latou meafaigaluega maualuga, lea e mafai ona pulea le tulaga saʻo o le wafer i le nanometer level e faʻamautinoa ai le saʻo o le mamanu lithography, ma faʻaleleia atili ai le tuʻufaʻatasia ma le faʻatinoga o le pu.
Fua sa'o fanua: CMM o se meafaigaluega fua sa'o e masani ona fa'aaogaina i le gaosiga o alamanuia, lea e fa'aaogaina e fua ai le tele, foliga ma le tulaga sa'o o le mea faigaluega. O le ultra-saʻo faʻaogaina module o le tasi axis ea opeopea i luga o le maamora faavae e mafai ona faʻaaogaina e fai ma faʻavae gaioioiga o le CMM, lea e mafai ona iloa maualuga-saʻo laina lafo ma maua ai se auala mautu mo le fua suʻesuʻe. Mo se faʻataʻitaʻiga, o le CMM maualuga maualuga o Hexagon e faʻaogaina lenei tuʻufaʻatasiga e fua ai vaega tetele ma lavelave ma le fuaina saʻo e oʻo atu i le micron, e maua ai se faʻamautinoaga malosi mo vaega e pulea lelei i totonu o taavale afi, aerospace ma isi pisinisi.
Aerospace fanua: I le faagasologa ma le suʻeina o vaega o le aerospace, e manaʻomia le saʻo maualuga. Mo se fa'ata'ita'iga, o le fa'aogaina o lau afi afi va'alele e mana'omia ai le fa'atonu sa'o o le ala gaioi a le meafaigaluega ina ia mautinoa ai le sa'o o fa'amatalaga lau. O le faavae maamora o le tasi axis ea lele ultra-sao atoatoa module e mafai ona faaaogaina i le lima-axis machining nofoaga autu ma isi meafaigaluega e maua ai le maualuga-saʻo pulea gaioiga mo le meafaigaluega ma mautinoa o le machining saʻo o le lau e mafai ona ausia manaoga mamanu. I le taimi lava e tasi, i le faagasologa o le faʻapipiʻiina o le afi afi, e manaʻomia foi le faʻaogaina o meafaigaluega fua maualuga e iloa ai le saʻo o le faʻapotopotoga o vaega. O le ea opeopea motion module o le faavae maamora e mafai ona maua le lagolago mautu ma gaoioiga saʻo mo le fuaina meafaigaluega ina ia mautinoa le lelei faapotopotoga.
Matamata su'esu'ega fanua: I le gaosiga ma le su'ega fa'agasologa o vaega opitika, e mana'omia le fa'atinoina o le tulaga maualuga ma le fuaina o vaega opitika. Mo se faʻataʻitaʻiga, pe a gaosia mea faʻapitoa faʻapitoa e pei o faʻata ma tioata, e tatau ona faʻaoga interferometers ma isi meafaigaluega e iloa ai le saʻo o foliga. O le faavae maamora o le tasi axis ea opeopea ultra-saosaoa motion module e mafai ona faʻaaogaina e pei o le faʻavaega o le interferometer, lea e mafai ona iloa ai le tulaga saʻo o le sub-micron ma tuʻuina atu faʻamatalaga saʻo lagolago mo le mauaina o vaega opitika. E le gata i lea, i le masini e gaosia ai leisa, e tatau foi ona faʻaogaina se tulaga maualuga o le gaioiga e pulea ai le suʻesuʻeina o le laisa leisa, o le faʻavae maamora o le ea o loʻo faʻafefeteina le gaioiga e mafai ona ausia lenei manaʻoga, e ausia ai le faʻaogaina o le laser maualuga.
Taimi meli: Apr-07-2025