Gaosiga o Semiconductor: I le faagasologa o le gaosiga o chip, e manaʻomia e le faagasologa o le photolithography ona faʻaliliu saʻo le mamanu o le matagaluega i le wafer. O le faʻavae granite o le single axis air floating ultra-precision motion module e mafai ona tuʻuina atu le tulaga saʻo maualuga ma le lagolago mautu mo le laulau wafer i totonu o masini lithography. Mo se faʻataʻitaʻiga, o le ASML ma isi kamupani gaosi masini lithography lauiloa faavaomalo e faʻaaogaina le granite base air floating motion modules i a latou masini maualuga, lea e mafai ona pulea le saʻo o le tulaga o le wafer i le tulaga nanometer e faʻamautinoa ai le saʻo o le mamanu lithography, ma faʻaleleia atili ai le tuʻufaʻatasia ma le faʻatinoga o le chip.
Malae fua sa'o: O le CMM o se masini fua sa'o e masani ona fa'aaogaina i le gaosiga fa'apisinisi, lea e fa'aaogaina e fua ai le tele, foliga ma le sa'o o le tulaga o le workpiece. O le ultra-precision motion module o le single axis air float i luga o le granite base e mafai ona fa'aaogaina o se fa'avae mo le gaioiga o le CMM, lea e mafai ona iloa ai le gaioiga laina maualuga ma maua ai se ala mautu mo le su'ega fuaina. Mo se fa'ata'ita'iga, o le Hexagon's high-end CMM e fa'aaogaina lenei tu'ufa'atasiga e fua ai vaega tetele ma faigata ma le sa'o o le fuaina e o'o atu i le tulaga micron, ma maua ai se fa'amaoniga malosi mo le pulea lelei o vaega i totonu o ta'avale, aerospace ma isi alamanuia.
Malae va'alele: I le fa'agasologa ma le fa'ata'ita'iina o vaega va'alele, e mana'omia le sa'o maualuga. Mo se fa'ata'ita'iga, o le fa'amasiniina o lau o afi va'alele e mana'omia ai le pulea sa'o o le ala o le gaioiga a le meafaigaluega ina ia mautinoa le sa'o o le fa'asologa o lau. O le fa'avae granite o le module gaioiga ultra-precision e tasi le axis e mafai ona fa'aogaina i le nofoaga autu e lima-axis ma isi meafaigaluega e tu'uina atu ai le pulea sa'o maualuga o gaioiga mo le meafaigaluega ma ia mautinoa o le sa'o o le fa'amasiniina o le lau e mafai ona ausia mana'oga o le mamanu. I le taimi lava e tasi, i le fa'agasologa o le fa'apotopotoga o le afi va'alele, e mana'omia fo'i le fa'aogaina o masini fuaina sa'o maualuga e iloa ai le sa'o o le fa'apotopotoga o vaega. O le module gaioiga ea o le fa'avae granite e mafai ona tu'uina atu le lagolago mautu ma le gaioiga sa'o mo masini fuaina ina ia mautinoa le lelei o le fa'apotopotoga.
Malae su'esu'ega opitika: I le gaosiga ma le fa'agasologa o le fa'ata'ita'iina o vaega opitika, e tatau ona fa'atino le tu'uina sa'o ma le fuaina o vaega opitika. Mo se fa'ata'ita'iga, pe a gaosia vaega opitika sa'o e pei o fa'ata ma tioata, e tatau ona fa'aoga interferometers ma isi masini e iloa ai le sa'o o foliga o luga. O le fa'avae granite o le module gaioiga sa'o e tasi le axis e mafai ona fa'aoga e fai ma fa'avae gaioiga o le interferometer, lea e mafai ona iloa ai le sa'o o le tulaga i lalo o le micron ma tu'uina atu le lagolago sa'o mo fa'amatalaga mo le iloa o vaega opitika. E le gata i lea, i masini fa'agasolo laser, e tatau fo'i ona fa'aoga se fa'avae gaioiga sa'o e pulea ai le ala o le su'esu'eina o le ave laser, o le fa'avae granite o le module gaioiga opitika e mafai ona ausia lenei mana'oga, ina ia ausia ai le fa'agasolo laser sa'o maualuga.
Taimi na lafoina ai: Ape-07-2025