Manaʻoga faʻapitoa mo faʻavae granite mo masini semiconductor.

1. Sa'o le fua
Mafolafola: e tatau ona oʻo atu le mafolafola o le fogāeleele o le faʻavae i se tulaga maualuga tele, ma e le tatau ona sili atu le sese o le mafolafola i le ±0.5μm i soʻo se vaega 100mm × 100mm; Mo le vaalele faʻavae atoa, e pulea le sese o le mafolafola i totonu ole ±1μm. O lenei mea e faʻamautinoa ai o vaega autu o masini semiconductor, e pei o le ulu faʻaalia o masini lithography ma le laulau suʻesuʻe o masini suʻesuʻe chip, e mafai ona faʻapipiʻi ma faʻagaoioia i luga o se vaalele saʻo maualuga, faʻamautinoa le saʻo o le auala opitika ma le fesoʻotaʻiga matagaluega o le masini, ma aloese mai le faʻaletonu o le siʻitia o vaega e mafua mai i le vaalele le tutusa o le faʻavae, lea e aʻafia ai le gaosiga o le semiconductor chip ma le saʻo o le suʻeina.
Sa'o: E taua tele le sa'o o pito ta'itasi o le fa'avae. I le itu o le umi, e le tatau ona sili atu le sese o le sa'o i le ±1μm i le 1m; O le sese o le sa'o fa'alava e pulea i totonu ole ±1.5μm. I se fa'ata'ita'iga, pe a fa'agaoioi le laulau i luga o le ala ta'iala o le fa'avae, o le sa'o o le pito o le fa'avae e a'afia ai le sa'o o le ala o le laulau. Afai e le ogatusa le sa'o ma le tulaga masani, o le a fa'api'opi'oina ma fa'aletonu le mamanu o le lithography, ma i'u ai ina fa'aitiitia le fua o le gaosiga o chip.
Fa'atusatusaga: O le sese o le fa'atusatusaga o luga ma lalo o le fa'avae e tatau ona pulea i totonu ole ±1μm. O le fa'atusatusaga lelei e mafai ona fa'amautinoa ai le mautu o le ogatotonu atoa o le kalave pe a uma ona fa'apipi'i le masini, ma ia tutusa le malosi o vaega ta'itasi. I masini gaosi semiconductor wafer, afai e le tutusa luga ma lalo o le fa'avae, o le a pi'o le wafer i le taimi o le fa'agasologa, ma a'afia ai le tutusa o le fa'agasologa e pei o le etching ma le ufi, ma a'afia ai le tutusa o le fa'atinoga o le chip.
Lua, uiga o meafaitino
Malō: O le malō o le mea fa'avae granite e tatau ona o'o atu i le malō o le Shore HS70 pe sili atu. O le malō maualuga e mafai ona tete'e lelei i le ofuina e mafua mai i le soona gaoioi ma le fe'ese'esea'i o vaega i le taimi o le fa'agaoioiga o le masini, ma ia mautinoa ai e mafai e le fa'avae ona tausia se lapo'a maualuga ma le sa'o pe a uma ona fa'aaogaina mo se taimi umi. I totonu o masini afifiina o chip, e masani ona pu'eina ma tu'u e le lima robot le chip i luga o le fa'avae, ma o le malō maualuga o le fa'avae e mafai ona fa'amautinoa ai e le faigofie ona maosi le fogā'ele'ele ma tausia le sa'o o le gaioiga o le lima robot.
Mafiafia: O le mafiafia o meafaitino e tatau ona i le va o le 2.6-3.1 g/cm³. O le mafiafia talafeagai e maua ai le tulaga mautu lelei o le faavae, lea e mafai ona mautinoa ai le lava o le malosi e lagolago ai le masini, ma o le a le aumaia ai ni faigata i le faapipiiina ma le felauaiga o masini ona o le mamafa tele. I masini siaki semiconductor tetele, o le mafiafia mautu o le faavae e fesoasoani e faaitiitia ai le fesiitaiga o le gatete i le taimi o le faagaoioiga o masini ma faaleleia atili ai le sa'o o le iloa.
Mausali o le vevela: o le fua fa'atatau o le fa'alauteleina laina e itiiti ifo i le 5 × 10⁻⁶/℃. E matua maaleale lava masini semiconductor i suiga o le vevela, ma o le mausali o le fa'avae i le vevela e feso'ota'i tonu lava ma le sa'o o le masini. I le taimi o le fa'agasologa o le lithography, e mafai e le suiga o le vevela ona mafua ai le fa'alauteleina po'o le fa'apu'upu'uina o le fa'avae, ma i'u ai i se eseesega i le tele o le mamanu o le fa'aalia. O le fa'avae granite e maualalo le fua fa'atatau o le fa'alauteleina laina e mafai ona pulea le suiga o le tele i se vaega la'ititi lava pe a suia le vevela o le masini (e masani lava 20-30 ° C) e fa'amautinoa ai le sa'o o le lithography.
Tolu, lelei o le fogāeleele
Ma'a'a: O le ma'a'a o le fogāeleele Ra i luga o le fa'avae e le sili atu i le 0.05μm. O le fogāeleele e matuā lamolemole e mafai ona fa'aitiitia ai le mitiia o le pefu ma mea leaga ma fa'aitiitia ai le a'afiaga i le mama o le siosiomaga gaosi o semiconductor chip. I le fale faigaluega e leai se pefu o le gaosiga o chip, o tama'i vaega laiti e mafai ona o'o atu ai i ni fa'aletonu e pei o le pu'upu'u o le chip, ma o le fogāeleele lamolemole o le fa'avae e fesoasoani e fa'atumauina ai se siosiomaga mama o le fale faigaluega ma fa'aleleia atili ai le fua o le chip.
Fa'aletonu fa'amikroskopi: E le fa'atagaina le i ai o ni māvaevae vaaia i luga o le fa'avae, pu oneone, pu ma isi fa'aletonu. I le tulaga fa'amikroskopi, o le aofa'i o fa'aletonu e sili atu i le 1μm i le sikuea senitimita e le tatau ona sili atu i le 3 e ala i le fa'amikroskopi eletise. O nei fa'aletonu o le a a'afia ai le malosi o le fausaga ma le lamolemole o le fogaeleele o le fa'avae, ona a'afia ai lea o le mautu ma le sa'o o le masini.
Fa, mautu ma tete'e atu i le te'i
Mautu fa'agaioiga: I totonu o le siosiomaga fa'ata'ita'i o le gatete e mafua mai i le fa'agaioiga o masini semiconductor (va'aiga o le gatete 10-1000Hz, amplitude 0.01-0.1mm), o le si'itia o le gatete o vaega autu e fa'apipi'i ai i luga o le fa'avae e tatau ona pulea i totonu ole ±0.05μm. I le fa'aaogaina o masini su'ega semiconductor o se fa'ata'ita'iga, afai o le gatete o le masini lava ia ma le gatete o le siosiomaga o lo'o siomia ai e fa'asalalauina i le fa'avae i le taimi o le fa'agaioiga, e ono fa'alavelaveina le sa'o o le fa'ailo o le su'ega. O le mautu fa'agaioiga lelei e mafai ona fa'amautinoa ai taunu'uga fa'atuatuaina o su'ega.
Tete'e atu i mafui'e: E tatau i le fa'avae ona i ai se fa'atinoga sili ona lelei i mafui'e, ma e mafai ona fa'aitiitia vave le malosi o le gatete pe a a'afia i le gatete fa'afuase'i mai fafo (e pei o le gatete fa'ata'ita'iga o galu mafui'e), ma ia mautinoa o lo'o suia le tulaga fa'atatau o vaega autu o masini i totonu ole ±0.1μm. I fale gaosi semiconductor i nofoaga e masani ona mafui'e, e mafai e fa'avae tete'e atu i mafui'e ona puipuia lelei masini semiconductor taugata, ma fa'aitiitia ai le lamatiaga o le fa'aleagaina o masini ma le fa'alavelaveina o le gaosiga ona o le gatete.
5. Mausali o vailaʻau
Tete'e atu i le 'ele: E tatau i le fa'avae granite ona tete'e atu i le 'ele o vaila'au masani i le faiga o le gaosiga o semiconductor, e pei o le hydrofluoric acid, aqua regia, ma isi. A uma ona fa'asusu i le vaila'au hydrofluoric acid e 40% le mamafa mo le 24 itula, e le tatau ona sili atu le fua faatatau o le pa'ū o le lelei o le fogāeleele i le 0.01%; Fa'asusu i le aqua regia (fua fa'atatau o le hydrochloric acid i le nitric acid 3:1) mo le 12 itula, ma e leai ni fa'ailoga manino o le 'ele i luga. O le faiga o le gaosiga o semiconductor e aofia ai le tele o faiga o le eliina ma le fa'amamāina o vaila'au, ma o le tete'e lelei o le fa'avae i le 'ele e mafai ona fa'amautinoa ai e le fa'aleagaina le fa'aaogaina umi i le siosiomaga vaila'au, ma e fa'atumauina le sa'o ma le tulaga lelei o le fausaga.
Tete'e i le Fa'aleagaina o le Siosiomaga: E matuā itiiti lava le mitiia o mea leaga masani i le siosiomaga gaosi oloa semiconductor, e pei o kesi fa'aola, ion u'amea, ma isi mea fa'apena. A tu'u i se siosiomaga e iai le 10 PPM o kesi fa'aola (e pei o le benzene, toluene) ma le 1ppm o ion u'amea (e pei o le ion apamemea, ion u'amea) mo le 72 itula, e matuā leai se suiga o le fa'atinoga e mafua mai i le mitiia o mea leaga i luga o le fogaeleele fa'avae. E taofia ai mea leaga mai le femalaga'i mai le fogaeleele fa'avae i le nofoaga gaosi o chip ma a'afia ai le lelei o le chip.