I le matata o le fuaina sa'o, o le fa'avae sa'o o le granite fa'atasi ai ma lona mautu lelei, maualuga le ma'a'a ma le tete'e lelei i le ofuina, ua avea ma lagolago fa'avae sili ona lelei mo le tele o galuega fuaina sa'o. Peita'i, o le fesuisuia'i o le vevela i mea tau si'osi'omaga, e pei o le "fasioti sa'o" o lo'o natia i le pogisa, e iai sona a'afiaga tele i le sa'o o le fuaina o le fa'avae sa'o o le granite. E matua taua tele le su'esu'eina loloto o le tulaga fa'atosina mo le fa'amautinoaina o le sa'o ma le fa'atuatuaina o galuega fuaina.

E ui lava ina lauiloa le granite i lona mautu, ae e lē sao mai suiga o le vevela. O ona vaega autū o le kuata, feldspar ma isi minerale, ia o le a mafua ai le faʻalauteleina ma le faʻaitiitia o le vevela i vevela eseese. A siʻitia le vevela o le siʻosiʻomaga, e faʻavevela ma faʻalauteleina le faʻavae saʻo o le granite, ma o le a suia teisi le telē o le faʻavae. A paʻu le vevela, o le a toe faʻaitiitia i lona tulaga muamua. O suiga laiti e foliga mai e mafai ona faʻateleina i ni mea taua e aʻafia ai taunuuga o le fuaina i tulaga saʻo o le fuaina.

O se faʻataʻitaʻiga, o le faʻaaogaina o le mea faʻatatau masani e faʻafetaui ai le fausaga granite, i le galuega fuaina maualuga-saʻo, e masani ona oʻo atu le saʻo o le fuaina i le tulaga micron pe sili atu foʻi. E manatu o le vevela masani o le 20℃, o le tele o fua faʻatatau o le fausaga o loʻo i ai i se tulaga lelei atoatoa, ma e mafai ona maua faʻamatalaga saʻo e ala i le fuaina o le workpiece. A fesuisuiaʻi le vevela o le siosiomaga, e matua ese lava le tulaga. A maeʻa le tele o fuainumera faʻataʻitaʻiga ma auʻiliʻiliga faʻateorē, i lalo o tulaga masani, o le suiga o le vevela o le siosiomaga o le 1℃, o le faʻalauteleina laina poʻo le faʻapuʻupuʻuina o le fausaga granite saʻo e tusa ma le 5-7 ×10⁻⁶/℃. O lona uiga mo se fausaga granite e 1 mita le umi o le itu, e ono suia le umi o le itu i le 5-7 microns pe afai e suia le vevela i le 1°C. I fuataga saʻo, o sea suiga i le tele e lava lea e mafua ai mea sese o le fuaina i tua atu o le lautele taliaina.
Mo galuega fuaina e manaʻomia e tulaga saʻo eseese, e eseese foʻi le tapulaʻa o le aʻafiaga o le suiga o le vevela. I le fuaina masani o le saʻo, e pei o le fuaina o le tele o vaega faʻainisinia, afai o le mea sese e faʻatagaina e iai i totonu ole ±20 microns, e tusa ai ma le faʻatatauga o le faʻalauteleina o le fua faʻatatau o loʻo i luga, e manaʻomia ona pulea le suiga o le vevela i totonu ole vaega ole ± 3-4 ℃, ina ia pulea le mea sese o le fuaina e mafua mai i le suiga o le tele o le fausaga i se tulaga taliaina. I nofoaga e maualuga le manaʻoga o le saʻo, e pei o le fuaina o le faiga o le lithography i le gaosiga o semiconductor chip, e faʻatagaina le mea sese i totonu ole ±1 micron, ma e manaʻomia ona pulea lelei le suiga o le vevela i totonu ole ± 0.1-0.2 ° C. A oʻo ina sili atu le suiga o le vevela i lenei tapulaʻa, o le faʻalauteleina ma le faʻapuʻupuʻuina o le fausaga granite e ono mafua ai ni eseesega i taunuuga o le fuaina, lea o le a aʻafia ai le fua o le gaosiga o chip.
Ina ia taulimaina le aafiaga o le suiga o le vevela o le siʻosiʻomaga i le saʻo o le fuaina o le granite precision platform, e tele auala e masani ona faʻaaogaina i galuega faatino. Mo se faʻataʻitaʻiga, o masini e faʻapipiʻi ai le vevela tumau ma le saʻo maualuga i le siosiomaga fuaina e pulea ai le suiga o le vevela i se vaega laʻititi lava; E faia le taui o le vevela i luga o faʻamaumauga o fuataga, ma o taunuuga o fuataga e faʻasaʻoina e le algorithm polokalama e tusa ai ma le thermal expansion coefficient o le platform ma suiga moni o le vevela. Peitaʻi, e tusa lava po o a auala e faia, o le malamalama saʻo i le aʻafiaga o suiga o le vevela o le siʻosiʻomaga i le saʻo o le fuaina o le granite precision platform o le faʻavae lea o le faʻamautinoaina o le saʻo ma le faʻatuatuaina o galuega fuaina.
Taimi na lafoina ai: Ape-03-2025
