Vaega o le gaioiga sa'o atoatoa o le ea opeopea e tasi le itu: O le fa'a'ofuina o le fa'avae ma'a mo le sa'o lelei.

I le tulaga o le gaosiga sa'o ma su'esu'ega fa'asaienisi, o le mana'oga mo le puleaina o gaioiga sa'o tele o lo'o fa'atupula'ia i lea aso ma lea aso. I le avea ai ma meafaigaluega autu e ausia ai le gaioiga laina sa'o maualuga, o le fa'atinoga o le ultra-precision single-axis air floating module e a'afia sa'o ai le lelei o le oloa mulimuli ma le sa'o o taunu'uga o su'esu'ega fa'asaienisi. I le tele o mea e a'afia ai, o le fa'aogaina o le granite base e maua ai se tulaga lelei e le mafaatusalia ma avea ma elemene autu e fa'amautinoa ai le sa'o lelei.
O le Granite, ina ua mavae le miliona o tausaga o suiga fa'ale-geolosi, o lona fausaga i totonu e matua mafiafia ma tutusa. E tele lava ina faia i le kuata, feldspar ma isi minerale, o lenei tuufaatasiga tulaga ese o mea e maua ai e le granite ni meatotino faaletino sili ona lelei. A fa'aaogaina o se fa'avae o se module gaioiga sa'o atoatoa e tasi le axis, e muamua fa'aalia e le granite le mautu maualuga. Pe a fa'atusatusa i fa'avae masani o mea u'amea, e fa'aalia e fa'avae granite le tete'e malosi atu i le fa'aleagaina o le si'osi'omaga i luma o fa'alavelave fa'ale-si'osi'omaga, e pei o le fesuisuia'i o le vevela ma le gatete fa'amekanika. I le faagasologa o le gaosiga o le chip eletise, e mana'omia le sa'o o le tulaga o le lithography chip ina ia o'o atu i le tulaga nanometer. I le fale gaosi oloa, o le gatete e mafua mai i le fa'agaoioiga o masini tetele ma suiga laiti i le vevela o le siosiomaga e ono a'afia ai le sa'o o le gaioiga o masini lithography. O le module gaioiga sa'o atoatoa e tasi le axis o le ea ma le fa'avae granite e mafai ona fa'aitiitia lelei le gatete i fafo ma fa'aitiitia le malosi o le gatete e tu'uina atu i le module gaioiga e sili atu i le 80%. I le taimi lava e tasi, o lona maualalo tele o le coefficient o le faʻalauteleina o le vevela e faʻaitiitia ai le suiga o le lapoʻa o le faʻavae pe a suia le vevela, ma faʻamautinoa ai e mafai lava e le air floating motion module ona faʻatumauina le saʻo o le gaioiga i se siosiomaga faigata, ma maua ai se faʻavae saʻo o le tulaga mo le chip lithography, ma faʻaleleia atili ai le fua o le gaosiga o chip.

E le gata i lea, e lelei le tete'e atu o le granite i le ofuina. I le faagasologa o le fealua'i soo o le ultra-precision single-axis air float module, e ui lava o lo'o i ai se lagolago kesi i le va o le air float slider ma le fa'avae, o le fa'aaogaina mo se taimi umi o le a mafua ai se tulaga o le fe'ese'esea'iga. O le fa'avae granite, fa'atasi ai ma ona uiga ma'a'a maualuga, e mafai ona tete'e lelei i le ofuina e mafua mai i lenei fe'ese'esea'iga ma fa'alauteleina le umi o le tautua o le motion module. I totonu o le fale su'esu'e fa'asaienisi a iunivesite, o masini fa'ata'ita'i e fa'aaogaina mo le iloa o micro particles e mana'omia le ultra-precision motion module o le uniaxial air flotation ina ia tamo'e mautu mo se taimi umi e maua ai le tele o fa'amatalaga fa'ata'ita'i sa'o. O le maualuga o le tete'e atu o le fa'avae granite e fa'amautinoa ai e mafai lava ona fa'atumauina le sa'o o le motion module i le tulaga maualuga muamua o le sa'o pe a uma ona fa'aaogaina mo se taimi umi, ma maua ai se fa'amaoniga fa'atuatuaina mo le fa'aauauina ma le sa'o o galuega fa'asaienisi, ma fesoasoani i tagata su'esu'e e su'esu'e loloto le mealilo o le lalolagi microscopic.
O le module gaioiga sa'o atoatoa e fa'apipi'i ai le ea e tasi le itu ma le fa'avae granite e pei o se "navigator" sa'o mo le gaosiga sa'o ma su'esu'ega fa'asaienisi. O le fa'avae granite fa'atasi ai ma lona mautu lelei, tete'e atu i le ofuina, mo le gaioiga sa'o maualuga o le module gaioiga e maua ai se lagolago malosi, i le gaosiga o semiconductor, gaosiga o mea faigaluega opitika, su'esu'ega fa'asaienisi maualuga ma le tele o isi mana'oga sa'o o le matata, e ta'alo ai se matafaioi taua e le mafai ona suia, e fa'alauiloaina ai le alamanuia i le fa'atonuga sili atu le sa'o ma le lelei.