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I le matata o le gaosiga o semiconductor, o le sa'o o le ola lea o le lelei ma le fa'atinoga o oloa. O masini fuaina o semiconductor, o se so'otaga autu e fa'amautinoa ai le sa'o o le gaosiga, e fa'atulaga ai mana'oga fa'apitoa i le mautu o ona vaega autu. O se tasi o ia mea, o le granite platform, fa'atasi ai ma lona mautu lelei o le vevela, e taua tele i masini fuaina o semiconductor. O lenei tusiga o le a faia ai se su'esu'ega loloto o le fa'atinoga o le mautu o le vevela o granite platforms i masini fuaina o semiconductor e ala i fa'amaumauga moni o su'ega.
O manaʻoga faigata mo le mautu o le vevela o masini fuaina i le gaosiga o semiconductor
O le faiga o le gaosiga o semiconductor e matuā lavelave ma sa'o, ma ua oo atu le lautele o laina o le matagaluega i luga o le chip i le tulaga nanometer. I se faiga gaosiga e matuā sa'o lelei, e oo lava i sina suiga itiiti o le vevela e mafai ona mafua ai le fa'alauteleina o le vevela ma le fa'apu'upu'uina o vaega o masini, ma mafua ai ona sese le fuaina. Mo se fa'ata'ita'iga, i le faiga o le photolithography, afai e ese le sa'o o le fuaina o masini fuaina i le 1 nanometer, e ono mafua ai ni fa'afitauli matuia e pei o ni ta'amilosaga pupuu po'o ni ta'amilosaga tatala i totonu o ta'amilosaga i luga o le chip, ma mafua ai ona soloia le chip. E tusa ai ma fuainumera o fa'amaumauga a le alamanuia, mo suiga ta'itasi o le vevela i le 1℃, e ono suia ai le tele o nanometer i le fausaga masani o masini fuaina o mea u'amea. Peita'i, e mana'omia e le gaosiga o semiconductor ona pulea le sa'o o le fuaina i totonu ole ±0.1 nanometer, lea e avea ai le mautu o le vevela ma mea taua i le fuafuaina pe mafai e masini fuaina ona fa'afetaui mana'oga o le gaosiga o semiconductor.
Fa'amanuiaga fa'ateorē o le mautu o le vevela o fa'avae granite
O le Granite, o se ituaiga maa masani, e iai se fa'ama'a'a fa'apitoa o minerale i totonu, e mafiafia ma tutusa le fausaga, ma e iai le tulaga lelei fa'alenatura o le mautu o le vevela. I le tulaga o le coefficient o le fa'alauteleina o le vevela, o le coefficient o le fa'alauteleina o le vevela o le granite e matua maualalo lava, e masani lava ona amata mai le 4.5 i le 6.5 × 10⁻⁶/K. I se fa'atusatusaga, o le coefficient o le fa'alauteleina o le vevela o mea u'amea masani e pei o le alumini alloys e maualuga e 23.8 × 10⁻⁶/K, lea e tele taimi e sili atu nai lo le granite. O lona uiga i lalo o tulaga tutusa o le suiga o le vevela, o le suiga o le fua o le granite platform e matua la'ititi lava nai lo le u'amea platform, lea e mafai ona maua ai se fa'asinomaga fua e sili atu ona mautu mo masini fuaina semiconductor.
E le gata i lea, o le fausaga tioata o le granite e maua ai le tutusa lelei o le felauaʻiga o le vevela. A faʻatupuina e le masini le vevela pe suia le vevela o le siosiomaga, e mafai e le granite platform ona vave ma tutusa ona felauaʻi ese le vevela, e ʻalofia ai le soona vevela i le lotoifale poʻo le soona malulu, ma faʻatumauina ai le tutusa o le vevela o le platform ma faʻamautinoa atili ai le mautu o le saʻo o le fuaina.
O le faagasologa ma le metotia o le fuaina o le mautu o le vevela
Ina ia mafai ona iloiloina ma le sa'o le mautu o le vevela o le fausaga granite i masini fuaina semiconductor, ua matou mamanuina se faiga fuaina ma le faaeteete. Filifili se meafaigaluega fuaina semiconductor wafer maualuga le sa'o, lea ua fa'apipi'iina i se fausaga granite ua fa'agasolo ma le sa'o tele. I le siosiomaga fa'ata'ita'i, na fa'ata'ita'iina ai le eseesega masani o le vevela i le fale gaosi oloa semiconductor, o lona uiga, o le fa'avevela malie mai le 20 ℃ i le 35 ℃ ona toe fa'amālūlūina lea i le 20 ℃. O le faagasologa atoa na umi mo le 8 itula.
I luga o le fausaga granite o le mea e fuaina ai, o loʻo tuʻu ai ni silicon wafers masani e maualuga le saʻo, ma o loʻo faʻaaogaina ni sensors o le displacement e saʻo lelei i le nanoscale e mataʻituina ai suiga o le tulaga i le va o silicon wafers ma le fausaga i le taimi moni. I le taimi nei, o le tele o sensors o le vevela e maualuga le saʻo e faʻatulaga i tulaga eseese i luga o le fausaga e mataʻituina ai le tufatufaina o le vevela i luga o le fausaga. I le taimi o le faʻataʻitaʻiga, o faʻamaumauga o le displacement ma faʻamaumauga o le vevela na faʻamaumauina i minute taʻi 15 uma e faʻamautinoa ai le atoatoa ma le saʻo o faʻamaumauga.
Fa'amaumauga fuaina ma le auiliiliga o taunuuga
Le sootaga i le va o suiga o le vevela ma suiga o le telē o le fausaga
O faʻamaumauga faʻataʻitaʻi e faʻaalia ai a siʻitia le vevela mai le 20℃ i le 35℃, e matuā laʻititi lava le suiga i le tele laina o le faʻavae granite. A maeʻa ona fuafuaina, i le faagasologa atoa o le faʻavevela, o le faʻalauteleina maualuga o le faʻavae e naʻo le 0.3 nanometers, lea e matuā maualalo ifo nai lo le vaega o le faʻapalepaleina o mea sese mo le saʻo o le fuaina i faiga o le gaosiga o semiconductor. I le taimi o le faʻamālūlūina, e toetoe lava a toe foʻi atoa le tele o le faʻavae i le tulaga muamua, ma e mafai ona le amanaʻiaina le faʻalavelave o le suiga o le tele. O lenei uiga o le tausia o suiga maualalo tele o le fua e tusa lava pe i lalo o suiga tetele o le vevela e faʻamaonia atoatoa ai le mautu o le vevela o le faʻavae granite.
Su'esu'ega o le tutusa o le vevela i luga o le fogāeleele
O faʻamaumauga na aoina e le masini e iloa ai le vevela o loʻo faʻaalia ai i le taimi o le faʻagaoioiga o le masini ma le faagasologa o le suiga o le vevela, o le tufatufaina atu o le vevela i luga o le fogāeleele o le granite platform e matuā tutusa lava. E oʻo lava i le taimi e sili ona suia ai le vevela, o le eseesega o le vevela i le va o vaega taʻitasi o le fuaina i luga o le fogāeleele o le platform e pulea pea i totonu ole ±0.1℃. O le tufatufaina tutusa o le vevela e puipuia ai le faʻaleagaina o le tulaga e mafua mai i le le tutusa o le vevela, ma faʻamautinoa ai le lamolemole ma le mautu o le fogāeleele faʻasino i le fuaina, ma maua ai se siosiomaga faʻatuatuaina mo le fuaina o masini semiconductor metrology.
Fa'atusatusa i fausaga masani o meafaitino
O faʻamaumauga na fuaina o le fausaga granite na faʻatusatusaina ma masini fuaina semiconductor o le ituaiga lava e tasi e faʻaaogaina ai le fausaga alumini uʻamea, ma sa taua tele eseesega. I lalo o tulaga tutusa o suiga o le vevela, o le faʻalauteleina laina o le fausaga alumini uʻamea e maualuga atu i le 2.5 nanometers, lea e sili atu i le valu taimi nai lo le fausaga granite. I le taimi nei, o le tufatufaina atu o le vevela i luga o le fogaeleele o le fausaga alumini uʻamea e le tutusa, ma le eseesega maualuga o le vevela e oʻo atu i le 0.8℃, ma mafua ai ona manino le faʻaleagaina o le fausaga ma matua aʻafia ai le saʻo o le fuaina.
I le lalolagi tonu o masini fa'afuainumera semiconductor, o fa'avae granite, fa'atasi ai ma lo latou mautu lelei i le vevela, ua avea ma mea taua i le fa'amautinoaina o le sa'o o le fuaina. O fa'amaumauga na fuaina e fa'amaonia ai le fa'atinoga mata'ina o le fa'avae granite i le tali atu i suiga o le vevela, ma maua ai le lagolago fa'apitoa fa'atuatuaina mo le alamanuia o gaosiga semiconductor. A'o fa'agasolo pea faiga o gaosiga semiconductor agai i le maualuga o le sa'o, o le a fa'ateleina le tulaga lelei o le mautu i le vevela o fa'avae granite, ma fa'aauau pea ona fa'aleleia atili ai le fa'afouga ma le atina'eina o tekinolosi i le alamanuia.
Taimi na lafoina ai: 13 Me 2025