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I le tulaga o le gaosiga o le semiconductor, o le saʻo o le olaola lea o le lelei ma le faʻatinoga o oloa. Meafaigaluega semiconductor mita, e avea o se fesoʻotaʻiga autu e faʻamautinoa ai le saʻo o le gaosiga, e tuʻuina atu toetoe lava faʻamalosia manaʻoga i le mautu o ona vaega autu. Faatasi ai ma i latou, o le maamora tulaga, faatasi ai ma lona tulaga mautu vevela, taʻalo se sao taua i masini semiconductor mita. O lenei tusiga o le a faʻatautaia se auʻiliʻiliga loloto o le faʻatinoina o le faʻamautuina o le vevela o faʻavae maamora i masini semiconductor mita e ala i faʻamaumauga moni o suʻega. ;
O manaʻoga faʻapitoa mo le faʻamautuina o le vevela o le fuaina o meafaigaluega i le gaosiga o semiconductor
O le gaosiga o le gaosiga o le semiconductor e matua faigata lava ma sa'o, ma o le lautele o laina eletise i luga o le pu ua ulufale i le nanometer level. I se fa'agasologa o le gaosiga maualuga, e o'o lava i sina suiga itiiti o le vevela e mafai ona mafua ai le fa'alauteleina o le vevela ma le fa'aitiitia o vaega o meafaigaluega, ma fa'aosoina ai mea sese o fua. Mo se faʻataʻitaʻiga, i le faiga o le photolithography, afai o le saʻo o le fuaina o mea faigaluega mita e faʻafefe i le 1 nanometer, e ono mafua ai faʻafitauli ogaoga e pei o le puʻupuʻu puʻupuʻu poʻo le taʻavale taʻavale i le taʻavale i luga o le pu, e oʻo atu ai i le tapeina o le pu. E tusa ai ma fa'amaumauga o fa'amaumauga tau alamanuia, mo suiga uma ole 1 ℃ ole vevela, e ono o'o i suiga tetele o le tele o nanometers le fa'atūlagaina o meafaigāluega u'amea masani. Ae ui i lea, o le gaosiga o le semiconductor e manaʻomia ai le saʻo o fua e pulea i totonu o le ± 0.1 nanometers, lea e avea ai le faʻamautuina o le vevela o se mea taua i le fuafuaina pe mafai e le masini mita ona fetaui ma manaʻoga o le gaosiga semiconductor. ;
Tulaga lelei o le mautu vevela o fausaga maamora
O le Granite, e pei o se ituaiga o maʻa masani, o loʻo i ai se faʻamaʻi faʻamaʻi minerale i totonu, o se fausaga mafiafia ma tutusa, ma o loʻo i ai le faʻaogaina masani o le faʻamautuina o le vevela. I le tulaga o le coefficient o le faalauteleina vevela, o le coefficient o le faalauteleina vevela o le maamora e matua maualalo, e masani lava mai le 4.5 i le 6.5 × 10⁻⁶ / K. I se faʻatusatusaga, o le coefficient o le faʻalauteleina o le vevela o mea masani masani e pei o alumini alumini e maualuga i le 23.8 × 10⁻⁶ / K, lea e tele taimi o le maamora. O lona uiga i lalo ole tulaga tutusa o le vevela, o le suiga o le maamora e sili atu ona laʻititi nai lo le uʻamea uʻamea, lea e mafai ona maua ai se faʻamatalaga sili atu ona mautu mo meafaigaluega mita semiconductor. ;
E le gata i lea, o le fausaga tioata o le maamora e maua ai le tutusa lelei o le vevela. Pe a faʻaaogaina meafaigaluega e faʻatupuina ai le vevela poʻo le suiga o le vevela, e mafai e le faʻavae maʻaʻaʻa ona vave ma tutusa le vevela, aloese mai le vevela i le lotoifale poʻo le overcooling mea faʻapitoa, ma faʻatumauina lelei le tulaga atoa o le vevela o le tulaga ma faʻamautinoa atili le mautu o le fua saʻo. ;
Le fa'agasologa ma le auala e fuaina ai le mautu o le vevela
Ina ia mafai ona iloilo saʻo le mautu vevela o le tulaga maamora i meafaigaluega mita semiconductor, ua matou fuafuaina se faiga fua fua. Filifili se meafaigaluega fua semiconductor ma'ale'ale maualuga, lea e fa'apipi'iina i se fa'atūlaga ma'a'a fa'a'au'au tele. I totonu o le siosiomaga faʻataʻitaʻiga, o le fesuiaiga masani o le vevela i totonu o le fale gaosi semiconductor na faʻataʻitaʻiina, o lona uiga, faasolosolo malie mai le 20 ℃ i le 35 ℃ ona toe faʻamalieina lea i le 20 ℃. O le faagasologa atoa na tumau mo le 8 itula. ;
I luga o le fausaga maamora o le mea e fua ai, o loʻo tuʻuina ai faʻamaʻi faʻamaʻi silikoni maualuga, ma faʻaogaina masini faʻatasi ma le saʻo o le nanoscale e mataʻituina le suiga o le tulaga i le va o wafers silicon ma le tulaga i le taimi moni. I le taimi nei, o le tele o masini vevela maualuga o loʻo faʻatulagaina i tulaga eseese i luga o le faʻavae e mataʻituina ai le tufatufaina o le vevela i luga o le tulaga. I le taimi o le faʻataʻitaʻiga, o faʻamaumauga o suiga ma faʻamaumauga o le vevela na faʻamauina i minute uma 15 e faʻamautinoa ai le atoatoa ma le saʻo o faʻamatalaga. ;
Fua fa'amaumauga ma au'ili'iliga o i'uga
O le sootaga i le va o suiga o le vevela ma suiga tetele o le fausaga
O faʻamatalaga faʻataʻitaʻiga o loʻo faʻaalia ai pe a oʻo i luga le vevela mai le 20 ℃ i le 35 ℃, o le suiga i le laina laina o le faʻavae maamora e matua laʻititi lava. A maeʻa le faʻatusatusaga, i le faagasologa atoa o le faʻavevelaina, o le maualuga o le faʻalauteleina o le faʻalauteleina o le faʻavae e naʻo le 0.3 nanometers, lea e sili atu le maualalo nai lo le faʻafeiloaʻiga o mea sese mo le saʻo o fua i le gaosiga o gaosiga semiconductor. I le taimi o le malulu, e mafai ona toe foʻi atoa le tele o le faʻavae i le tulaga muamua, ma e mafai ona le amanaʻia le tulaga tuai o le suiga tele. O lenei uiga o le faatumauina o suiga sili ona maualalo e tusa lava pe i lalo o le tele o fesuiaiga o le vevela e faʻamaonia atoatoa ai le tulaga mautu o le vevela o le maʻa. ;
Su'esu'ega o le tutusa o le vevela i luga o le fausaga
O faʻamaumauga na aoina e le masini vevela o loʻo faʻaalia ai i le taimi o le faʻaogaina o meafaigaluega ma le faagasologa o le suiga o le vevela, o le tufatufaina o le vevela i luga o le maamora e matua tutusa lava. E oo lava i le taimi o le suiga o le vevela e sili ona malosi, o le eseesega o le vevela i le va o fua taʻitasi i luga o le fausaga e pulea i taimi uma i totonu ole ± 0.1℃. O le tufatufaina atu o le vevela lelei e aloese ai mai le faʻaleagaina o fausaga e mafua mai i le faʻafefe o le vevela, faʻamautinoaina le mafolafola ma le mautu o le fua faʻatatau, ma tuʻuina atu se siosiomaga faʻatuatuaina fua mo masini semiconductor metrology. ;
Fa'atusatusa i tulaga fa'amea masani
O faʻamatalaga fuaina o le faʻamau maʻa na faʻatusatusa i latou o masini semiconductor mita o le ituaiga lava e tasi e faʻaaoga ai le faʻailoga alumini alumini, ma o eseesega e taua tele. I lalo o tulaga tutusa suiga o le vevela, o le faalautelega laina o le tulaga alumini alumini e maualuga e pei o le 2.5 nanometers, lea e sili atu ma le valu taimi o le fausaga maamora. I le taimi nei, o le tufatufaina o le vevela i luga o le faʻailoga alumini alumini e le tutusa, faʻatasi ai ma le maualuga o le eseesega o le vevela e oʻo atu i le 0.8 ℃, e mafua ai le faʻaleagaina o le tulaga ma matua aʻafia ai le saʻo o fua. ;
I le lalolagi sa'o o masini semiconductor metrology, ma'a'a platforms, ma lo latou tulaga mautu vevela, ua avea ma mainstay i le faamautinoaina saʻo fua. O fa'amaumauga fuaina e fa'amaonia malosi ai le tulaga mata'ina o le fa'avae ma'amora i le tali atu i suiga o le vevela, ma tu'uina atu ai le lagolago fa'atekinisi fa'atuatuaina mo le alamanuia gaosiga semiconductor. A'o aga'i i luma faiga fa'akomepiuta faufale aga'i atu i le sa'o maualuga, o le a fa'atupula'ia le fa'atumauina o le fa'aogaina o le maamora, ma fa'aauau pea ona fa'atupu fa'atekonolosi ma atina'e i totonu o le alamanuia.
Taimi meli: Me-13-2025