I le filifili tonu o le gaosiga o le semiconductor, o le faiga o le fesiitaiga o le wafer e pei o le "ola o le laina gaosiga o chip", ma o lona mautu ma le saʻo e fuafua tonu ai le fua o tupe maua. O le tupulaga fou o faiga fesiitaiga revolutionarily tuufaatasia linear motors ma faavae maamora, ma le tulaga lelei tulaga ese o mea maamora e tonu lava le code autu e tatala-faatinoga maualuga faasalalauga.
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Fa'avae ma'a: Fausiaina o se "fa'avae papa-mautu" mo felauaiga mautu
O le Granite, ua o'o i le fiaselau miliona o tausaga o le fa'amamaina o fa'afanua, e fa'aalia ai le mafiafia ma le tutusa o le fa'amateina o minerale i totonu. O lenei uiga fa'alenatura e avea ai ma mea fa'avae lelei mo faiga fa'aliliuina wafer. I le siosiomaga lavelave o semiconductor cleanrooms, maamora, faatasi ai ma lona ultra-maualalo coefficient o le faalauteleina vevela (na o le 5-7 × 10⁻⁶ / ℃), e mafai ona tetee atu i le vevela na gaosia i le taimi o le faagaoioiga meafaigaluega ma le aafiaga o suiga o le vevela o le siosiomaga, mautinoa le mautu o le faavae tele ma aloese mai le felauaiga ala fevaevaeaʻi e mafua mai le vevela deformation. O lona tulaga mataʻina vibration damping e mafai ona vave faʻafefeina le faʻainisinia vibration na faia i le taimi o le amataga, tapunia ma le faʻavavevave o laina laina, faʻapea foʻi ma faʻalavelave i fafo e aumaia e le faʻaogaina o isi meafaigaluega i totonu o le mafutaga faaleaoaoga, e maua ai se tulaga mautu ma le "zero lulu" mo le faʻasalalau. ;
I le taimi nei, o le mautu o vailaʻau o le maamora e faʻamautinoa e le pala pe ele i totonu o faleaoga semiconductor lea e faʻafefete ai le acid ma alkali reagents ma maualuga le mama e manaʻomia, ma aloese ai mai le aʻafiaga i luga o le saʻo o le felauaiga ona o le matua o mea poʻo le faʻaleagaina. O uiga lamolemole ma mafiafia i luga e mafai ona sili atu le faʻaitiitia o le faʻapipiʻiina o le pefu, faʻafeiloaʻi tulaga faʻapitoa e leai se pefu o potu mama ma faʻaitiitia ai le lamatiaga o le faʻamaʻiina o wafer mai le aʻa. ;
O le "paaga auro" aafiaga o laina afi ma maamora
Linear motors, faatasi ai ma o latou uiga o le leai o se masini feaveaʻi kilia, maualuga le saoasaoa ma le maualuga o le tali vave, e maua ai le faʻaogaina o le wafer ma le lelei o le "vave, saʻo ma mautu". O le faavae maamora maua ai se faavae lagolago mausali ma faatuatuaina mo ia. E galulue faatasi le lua e ausia se oso i le faatinoga. Pe a ave e le afi laina le ave wafer e tamoe i luga o le ala faavae maamora, o le rigidity malosi ma le mautu o le faavae e mautinoa ai le felauaiga lelei o le afi taavale malosi, aloese mai le leiloa malosi po o le felauaiga lag mafua mai le deformation faavae. ;
Faʻaosoina e le manaʻoga mo le saʻo o le nanoscale, e mafai e afi laina laina ona ausia le faʻatonutonuina o le faʻaogaina o le laʻititi-micron. O le maualuga-saʻo le gaosiga uiga o faavae maamora (faʻatasi ma flatness mea sese pulea i totonu o ± 1μm) fetaui lelei ma le pulea saʻo o laina laina, faʻatasi faʻamautinoaina o le tulaga sese i le taimi o wafer felauaiga e itiiti ifo i le ± 5μm. Pe o le maualuga-saosaoa shuttling i totonu o meafaigaluega faagasologa eseese po o paka saʻo mo wafer handover, o le tuufaatasiga o laina afi ma maamora faavae e mafai ona mautinoa "zero deviation ma zero jitter" i wafer transmission. ;
Fa'amaoniga o faiga fa'apisinisi: Fa'alua le fa'aleleia atili o le lelei ma fua o fua
Ina ua maeʻa le faʻaleleia o lona faʻafeiloaʻiga o le wafer system, na faʻaaogaina e se atinaʻe semiconductor taʻutaʻua i le lalolagi se laina laina afi + maʻamea faʻavae vaifofo, lea na faʻateleina ai le lelei o le fesiitaiga i le 40%, faʻaitiitia ai le faʻalavelave faʻafuaseʻi e pei o le feteʻenaʻi ma faʻafefe i le faagasologa o le fesiitaiga e 85%, ma faʻaleleia le aofaʻi o fua o tupe meataalo e 6%. I tua atu o faʻamatalaga o loʻo taoto ai le faʻamaoniga o le faʻamautuina o le faʻasalalauga e tuʻuina atu e le faavae maaʻa ma le maualuga-saosaoa ma le saʻo o le synergy aafiaga o le laina laina, lea e matua faʻaitiitia ai le leiloa ma le mea sese i le faʻagasologa o faʻasalalauga. ;
Mai meafaitino i le gaosiga sa'o, mai le lelei o le fa'atinoga i le fa'amaoniaga fa'atino, o le tu'ufa'atasiga o laina laina ma fa'avae ma'a'a ua toe fa'avasegaina tulaga o faiga fa'aliliuina. I le lumanaʻi pe a agai i luma tekinolosi semiconductor agai i le 3nm ma le 2nm faagasologa, o mea maamora o le a mautinoa lava le faʻaauauina o le malosi malosi i le atinaʻeina o alamanuia ma o latou tulaga lelei e le mafai ona suia.
Taimi meli: Me-14-2025