O le moega granite o se vaega taua i masini semiconductor eseese. I le avea ai o se mea mautu ma malosi, o loʻo faʻaaogaina lautele le maʻamora e fai ma faʻavae mo masini faʻaogaina semiconductor. O loʻo faʻaalia i lona maualalo o le faʻalauteleina o le vevela, maualuga le mautu, ma mea faʻainisinia sili ona lelei. Ona o nei meatotino, o le moega maʻamea e masani ona faʻaaogaina i ituaiga eseese e tolu o masini semiconductor - mea faʻaoga metrology, mea faʻataʻitaʻiga, ma mea e asiasi ai.
E fa'aogaina meafaigaluega fa'a-Metorlogi e fua ma iloa ai le taua tele o masini semiconductor. E iai sona sao taua i le faatumauina o le lelei ma le tumau o le gaosiga o le semiconductor. O mea faigaluega fa'a-meterology e aofia ai meafaigāluega e pei o microscopes opitika, microscopes electron, ma microscopes malosi atomic (AFMs). Talu ai o le faʻatinoga o nei meafaigāluega fua e faʻalagolago i lo latou mautu, saʻo, ma le vibration teteʻe, o le maamora o le filifiliga sili lea mo latou mea moega. O le tutusa ma le mautu o le moega granite e maua ai se tulaga mautu mo meafaigaluega, lea e faʻaleleia ai lo latou saʻo ma le faʻamaoni.
E fa'aogaina mea fa'akomupiuta e fai ai mamanu microchip i luga o le wafer. E mana'omia e le fa'asologa o le lithography se tulaga maualuga o le sa'o ma le sa'o e fai ai ta'amilosaga lavelave ma fa'aleleia atili le fa'atinoga o chip. O meafaigaluega lithography e aofia ai le stepper ma le scanner system e faʻaogaina ai le malamalama e faʻafeiloaʻi ata i luga o le wafer. Ona o le faagasologa o le lithography e matua maaleale i le vibration ma suiga vevela, o se moega maualuga e taua tele ina ia mautinoa le mautu ma le toe faia o le lithography process. O moega maa e maua ai le fa'amautu mana'omia ma le fa'atinoina o le fa'agasologa o le fa'agasologa o le lithography. O le moega maamora e mafai ai e le stepper poʻo le scanner faiga e tausia saʻo sootaga avanoa faʻamautinoa le saʻo maualuga ma le lelei o oloa mulimuli.
O meafaigaluega su'esu'e e fa'aaogaina e iloa ai so'o se fa'aletonu i masini semiconductor. O mea faigaluega su'esu'e e aofia ai faiga e pei o masini mata'i leisa, fa'aeletonika fa'aeletonika, ma masini fa'apitoa. Fa'atasi ai ma le mana'omia o nei masini ina ia matua sa'o, mautu ma tete'e-tetee, moega ma'amora o mea lelei atoatoa. O mea fa'ainisinia a le Granite ma le fa'amautu o le dimensional e fesoasoani i le va'aia o le vibration, lea e fa'aleleia atili ai le sa'o o le gaosiga o masini su'esu'e.
I le faaiuga, o le moega maamora e taua tele i le alamanuia semiconductor ma e lautele faʻaaogaina i ituaiga eseese o meafaigaluega. O ona uiga tulaga ese e pei o le mautu dimensional, maualalo le vevela faʻalauteleina coefficient, ma sili ona mautu masini faia maamora le filifiliga sili mo mea moega o meafaigaluega semiconductor. Aʻo maua e le moega maʻamea maualuga le faʻamautu talafeagai, saʻo, ma le vibration teteʻe i meafaigaluega semiconductor, e iu lava ina faʻaleleia le lelei o le oloa mulimuli. O le mea lea, o le faʻaaogaina o le moega maamora i masini semiconductor e mautinoa e faʻaauau pea mo tausaga a sau.
Taimi meli: Apr-03-2024