O le moega maa o se vaega taua i masini eseese o semiconductor. I le avea ai o se mea e matua mautu ma malosi, e faʻaaogaina lautele le maa o se faʻavae mo masini faʻagasolo semiconductor. E iloga i lona maualalo o le faʻalauteleina o le vevela, maualuga le mautu o le dimensions, ma lelei tele meatotino faʻainisinia. Ona o nei meatotino, e masani ona faʻaaogaina le moega maa i ituaiga eseese e tolu o masini semiconductor - meafaigaluega metrology, meafaigaluega lithography, ma meafaigaluega suʻesuʻe.
E fa'aaogaina masini fa'amaumau e fua ma iloa ai fua taua o masini semiconductor. E taua tele lona sao i le tausia o le lelei ma le tutusa o le faiga o le gaosiga o semiconductor. O masini fa'amaumau e aofia ai masini e pei o microscope opitika, microscope eletise, ma microscope malosi atomika (AFM). Talu ai ona o le fa'atinoga o nei masini fua e fa'alagolago i lo latou mautu, sa'o, ma le tete'e atu i le gatete, o le granite o le filifiliga sili lea mo a latou mea e fai ai le moega. O le tutusa ma le mautu o le moega granite e maua ai se tulaga mautu mo masini, lea e fa'aleleia atili ai lo latou sa'o ma le fa'atuatuaina.
E fa'aaogaina masini fa'a-lithography e fai ai mamanu microchip i luga o le wafer. O le faiga o le lithography e mana'omia ai le maualuga o le sa'o ma le sa'o e fatu ai ni matagaluega faigata ma fa'aleleia atili ai le fa'atinoga o le chip. O masini fa'a-lithography e aofia ai le stepper ma le scanner systems e fa'aaogaina ai le malamalama e fa'aliliu ai ata i luga o le wafer. Talu ai o le faiga o le lithography e matua'i maaleale i le gatete ma suiga o le vevela, o se moega maualuga e taua tele ina ia mautinoa le mautu ma le toe faia o le faiga o le lithography. O moega granite e maua ai le mautu mana'omia ma le fa'atinoga malosi o le fa'aitiitia o le gatete mo faiga fa'a-lithography. O le moega granite e mafai ai e le stepper po'o le scanner system ona fa'atumauina ni sootaga sa'o i le va o ...
E fa'aaogaina meafaigaluega e siaki ai e iloa ai so'o se fa'aletonu i masini semiconductor. O meafaigaluega e siaki ai e aofia ai faiga e pei o le laser scanning microscopes, electron microscopes, ma optical microscopes. Ona o le mana'omia o nei masini ia matua sa'o, mautu ma tete'e atu i le gatete, o le granite beds o le mea sili lea ona lelei. O meatotino fa'ainisinia ma le mautu o le fua o le granite e fesoasoani i le vavae'eseina o le gatete, lea e fa'aleleia atili ai le sa'o o le galuega faatino a le meafaigaluega e siaki ai.
I le faaiuga, o le moega granite e taua tele i le alamanuia semiconductor ma e lautele lona faaaogaina i ituaiga eseese o masini. O ona uiga tulaga ese e pei o le mautu o le fua, maualalo le coefficient o le faalauteleina o le vevela, ma le mautu lelei o le masini e avea ai le granite ma filifiliga sili ona lelei mo le mea e fai ai le moega o masini semiconductor. Ona o le moega granite maualuga le tulaga e maua ai le mautu, sa'o, ma le tete'e atu i le gatete e mana'omia i masini semiconductor, e iu ai ina faaleleia atili le lelei o le oloa mulimuli. O le mea lea, o le faaaogaina o le moega granite i masini semiconductor e mautinoa lava o le a faaauau pea mo le tele o tausaga a sau.
Taimi na lafoina ai: Ape-03-2024