O mea faʻapitoa e faʻaaogaina lautele i totonu o le semiconductor alamanuia ona o latou uiga sili ona lelei, e pei o le maualuga maualuga, faʻalauteleina le vevela, ma le maualuga o le tetee i le pala.O nei meatotino e avea ai maamea ma mea lelei mo le fausiaina o vaega maualuga-saʻo i totonu o se faiga faʻafefe.
I le fa'agasologa o le gaosiga o le semiconductor, o le fa'aogaina o le wafer transfer system e taua tele i le felauaiga o wafers i vaega eseese o le gaosiga o gaosiga.O le sa'o ma le sa'o o mana'oga taua mo nei faiga ona e tusa lava pe la'ititi la'ititi e ono afaina ai le faagasologa atoa.O le mea lea, o vaega i totonu o le faiga o le fesiitaiga e tatau ona faia mai mea e sili ona lelei, ma o le maamora e fetaui ma na tulaga.
O nisi vaega o le fa'afefeteina fa'aliliuina faiga e faia mai mea ma'amora e aofia ai:
1. Laulau Vacuum Chuck
O le laulau vacuum chuck e faʻaaogaina mo le uuina o le wafer i le taimi o le faagasologa, ma e tatau ona i ai se luga mautu e faʻamautinoa ai e le o faʻaleagaina le wafer.O le Granite o se mea lelei mo le faia o lenei laulau aua o loʻo i ai se mea mafolafola, e leai se porous e maua ai le maualuga ma le saʻo.E le gata i lea, o le maamora e maualalo le maualuga o le faʻalauteleina o le vevela, e mafai ai ona teteʻe i suiga o le vevela e ono mafua ai suiga tetele i le wafer.
2. Tulaga Ea
O le faʻaogaina o le ea e faʻaaogaina e felauaiga ai le wafer i laʻasaga eseese o le gaosiga o gaosiga.O le tulaga ua fa'ainisinia e tu'uina atu ai se gaio'iga e leai ni fe'avea'i, e mana'omia ai le sa'o maualuga ma le mautu.O loʻo faʻaaogaina le Granite i lenei talosaga ona o se maʻa maʻaʻa ma maʻaʻa, ma e tetee atu i le faʻaleagaina ma le ofuina i le taimi.
3. Taiala Gaioiga Linear
O taʻiala faʻasolosolo laina e faʻaaogaina e taʻitaʻia ai le tulaga o le ea, ma e tatau ona faʻatulaga saʻo e faʻaitiitia ai mea sese.O lo'o fa'aogaina le Granite e fau ai lenei ta'iala ona e lelei tele le mautu ma le malosi fa'ainisinia.O meafaitino foi e faʻafefeteina, lea e faʻamautinoa ai le umi o le taʻiala.
4. Meafaigaluega Metrology
E fa'aogaina meafaigaluega a le Metrology e fua ai le tele ma meatotino o le wafer i le taimi o le gaosiga.O le Granite o se mea lelei mo le fausiaina o lenei meafaigaluega aua e maualuga le maaa, maualalo le faʻalauteleina, ma le faʻaleagaina itiiti i lalo o le avega.E le gata i lea, o le mautu o le vevela o le maamora e mautinoa ai e tumau pea le mautu ma sa'o meafaigaluega metrology i le taimi.
I le faaiuga, o le semiconductor alamanuia e faalagolago i le saʻo ma le saʻo, ma mea maʻamora ua faamaonia e matua faatuatuaina ma mautu i le faagasologa o le gaosiga.Faatasi ai ma le tele o vaega taua i le faiga fesiitaiga wafer e manaʻomia ai le mautu maualuga, saʻo, ma le faʻalauteleina o le vevela, ua liliu atu inisinia i mea maʻaʻa e faʻafetaui ai nei manaʻoga taua.
Taimi meli: Mati-19-2024