Granite o se tasi o mea sili ona lauiloa e faʻaaogaina i masini semiconductor. O se ituaiga o maa malo, maa aasa e sau i lanu eseese o le efuefu, piniki, ma le paepae. O le Granite e lauiloa mo lona umi, maualalo le faʻalauteleina o le vevela, ma le lelei o le faʻaogaina o le vevela, ma avea ai ma mea lelei mo le faʻaogaina i totonu ole masini semiconductor subsystems.
O se tasi o subsystems muamua o loʻo faʻaogaina le maamora i masini semiconductor o le faʻaogaina o le wafer ma le faʻaogaina o le subsystem. O lenei subsystem e iai sona sao taua i le gaosiga o le gaosiga o masini semiconductor. O le wafer o le mea amata lea mo le masini, ma o le faʻaogaina ma le faʻaogaina o le subsystem e nafa ma le fesiitaiga o wafers i le va o potu eseese ma meafaigaluega gaosi. O lo'o fa'aaogaina le Granite e fa'atupu ai le sa'o ma'a'a mafolafola e fa'aogaina ai luga ole fa'aogaina ma maua ai se fa'avae mautu mo le fa'agai'iina o fafie.
O le isi faiga fa'apitoa e fa'aogaina le maamora o le vacuum subsystem. I masini semiconductor, e faʻaaogaina potu gaogao e aloese ai mai le faʻaleagaina i le taimi o gaosiga. Mo lenei faiga e galue lelei, e tatau ona faʻamaufaʻailogaina atoa le potu, o le mea lea e sau ai le maamora. O le granite o se mea lelei mo potu vaʻavaʻa ona e maualalo tele le faʻaogaina o mea ma e mafai ona tausia se siosiomaga faʻamautu. E le gata i lea, o le maualuga o le machining sa'o lelei e mafai ai ona fausia se fa'amaufa'ailoga atoatoa, e maua ai se siosiomaga gaogao fa'alagolago mo le fa'againa o wafer.
Ole fa'aogaina ole faiga ole isi faiga taua e fa'aogaina ai mea fa'apitoa ole ma'amora. O lenei subsystem e nafa ma le fa'aogaina o vaega eseese o masini semiconductor ma le sa'o ma le sa'o. O loʻo faʻaaogaina le Granite i le mamanu ma le fausiaina o tulaga faʻatulagaina e faʻamautinoa ai le maualuga ma le mautu. O le maa'a maualuga o le ma'amora fesoasoani i le ausiaina maualuga alignment sao, taitai atu i le gaosiga o masini semiconductor sili ona saʻo ma faatuatuaina.
Ma le mea mulimuli, o le metrology subsystem o se isi faiga o masini semiconductor e faʻaaogaina maʻamora. E taua tele le sao ole Metrology ile fa'agaioiina ole masini, ma o le sa'o atoatoa o lenei vaega e taua tele ile fa'amautinoaina ole lelei ole masini. O le Granite e maua ai se tulaga mautu ma malo e fesoasoani i le faʻaitiitia o le vibration ma faʻaitiitia le aʻafiaga o fesuiaiga o le vevela. O lenei, i le isi itu, e fesoasoani i le ausiaina o fua saʻo maualuga i le metrology subsystem, e taʻitaʻia ai le gaosiga o masini semiconductor maualuga.
I le faaiuga, o le maamora o se mea taua i le gaosiga o masini semiconductor. O mea uiga ese e pei o le maualuga maualuga, faʻalauteleina le vevela, ma le lelei o le faʻaogaina o le vevela e avea ma mea sili ona lelei mo le tele o subsystems i masini semiconductor, e aofia ai le faʻaogaina ma le faʻaogaina o le wafer, vacuum subsystem, alignment subsystem, ma metrology subsystem. E le gata i lea, o le faʻaaogaina o le maamora i masini semiconductor ua fesoasoani i le gaosiga o masini sili ona saʻo, faʻatuatuaina ma lelei na suia ai le tele o alamanuia.
Taimi meli: Mati-19-2024