I fanua e pei o semiconductor gaosiga ma sa'o fua meafaigāluega, o le sa'o o ma'amora sa'o tulaga fa'atatau tonu le lelei fa'atinoga o meafaigaluega. Ina ia mautinoa o le saʻo o le faʻavae e fetaui ma tulaga faʻataʻitaʻiga, e tatau ona faia taumafaiga mai itu e lua: o le mauaina o faʻailoga autu ma le tausisia o tulaga masani. ;
Su'esu'ega fa'ailoga autu: Pulea le sa'o sa'o
Su'esu'ega mafolafola: Fuafuaina o le "mafolafola" o le va'alele fa'asino
O le mafolafola o le fa'ailoga autu lea o fa'avae ma'amora ma'a, ma e masani ona fuaina e le laser interferometers po'o tulaga fa'aeletoroni. E mafai e le laser interferometer ona fua sa'o le minute undulations i luga o luga o le fausaga e ala i le fa'auluina o se laisa leisa ma fa'aaogaina le mataupu faavae o le fa'alavelave malamalama, ma le sa'o e o'o atu i le la'asaga i lalo-micron. E fua le tulaga faaeletonika e ala i le fealua'i fa'atele ma tusi se fa'afanua fa'ata'ita'i tolu-dimensional o luga o le fa'avae e iloa ai po'o iai ni fa'ailo fa'apitonu'u po'o ni fa'aletonu. Mo se faʻataʻitaʻiga, o faʻamaufaʻailoga maʻamu e faʻaaogaina i masini semiconductor photolithography e manaʻomia le i ai o se mafolafola o le ± 0.5μm / m, o lona uiga o le eseesega maualuga i totonu ole 1 mita le umi e le tatau ona sili atu i le afa micrometer. E na'o le maualuga-sa'o mea faigaluega su'esu'e e mafai ai ona fa'amautinoaina lenei tulaga fa'amautu. ;
2. Fa'amatalaga sa'o: Fa'amautinoa le "sa'o" ole gaio'i laina
Mo fa'avae o lo'o tauaveina sa'o vaega fe'avea'i, o le sa'o e taua tele. O auala masani mo le suʻeina o le auala uaea poʻo le laser collimator. O le auala uaea e aofia ai le taofia o uaea u'amea maualuga ma le fa'atusatusaina o le va i le va o luga o le fa'avae ma uaea uamea e iloa ai le sa'o. O le laser collimator fa'aogaina le fa'asologa o le fa'asologa o le laser e iloa ai le sese laina o le fa'apipi'iina o luga o le ta'iala ta'iala. Afai e le fetaui le sa'o ma le tulaga masani, o le a mafua ai ona sui le masini i le taimi o fegasoloaʻiga, e aʻafia ai le gaioiga poʻo le fua saʻo. ;
3. Su'esu'eina le talatala o luga: Fa'amautinoa le "lelei" o feso'ota'iga
O le talatala o luga o le fausaga e afaina ai le fetaui o le faʻapipiʻiina o vaega. E masani lava, o le stylus roughness mita po'o se microscope opitika e fa'aaogaina mo le su'esu'eina. E fa'amaumau e le meafaifa'aili ituaiga stylus suiga maualuga o le fa'ata'ita'iga microscopic e ala i le fa'afeso'ota'i o luga o le fa'avae ma se su'esu'ega lelei. Optical microscopes e mafai ona mata'ituina sa'o le mea'ai luga. I talosaga maualuga-saʻo, o le roughness luga o maamora platforms e tatau ona pulea i Ra≤0.05μm, lea e tutusa ma se faʻata-pei aafiaga, faʻamautinoa e fetaui lelei vaega saʻo i le taimi o le faʻapipiʻiina ma aloese mai le vibration poʻo le faʻateʻaina e mafua mai avanoa. ;
O fa'ata'ita'iga sa'o e mulimulita'i: tulaga fa'ava-o-malo ma pulega fa'alotoifale o le atina'e
I le taimi nei, faavaomalo, ISO 25178 ma GB / T 24632 tulaga masani e masani ona faʻaaogaina e fai ma faʻavae mo le fuafuaina o le saʻo o fausaga maamora, ma o loʻo i ai faʻavasegaga manino mo faʻailoga e pei o le mafolafola ma le saʻo. E le gata i lea, o atinaʻe gaosiga maualuga e masani ona faʻatulagaina tulaga sili atu ona faʻamalosia i totonu. Mo se faʻataʻitaʻiga, o le tulaga mafolafola mo le maamora tulaga o le photolithography masini e 30% maualuga atu nai lo tulaga faava o malo. Pe a faia suʻega, e tatau ona faʻatusatusa faʻamaumauga faʻatusatusa ma tulaga faʻatatau. Na'o fa'avae e fa'amalieina atoatoa tulaga fa'ata'atia e mafai ona fa'amautinoa le mautu o le fa'atinoga i meafaigaluega sa'o. ;
O le su'esu'eina o le sa'o o ma'aa'a fa'avae sa'o ose galuega fa'atino. E naʻo le faʻataʻitaʻiina o faʻamaoniga autu e pei o le mafolafola, saʻo, ma le faʻafefeteina o luga, ma le tausisia o tulaga faʻavaomalo ma atinaʻe, e mafai ona faʻamaonia le maualuga ma le faʻamaoni o le faʻavae, faʻavaeina se faavae mautu mo fanua gaosiga maualuga e pei o semiconductor ma meafaigaluega saʻo.
Taimi meli: Me-21-2025