I matā'upu e pei o le gaosiga o semiconductor ma meafaigaluega e fua ai le sa'o, o le sa'o o fa'avae sa'o o granite e fuafua tonu ai le lelei o le fa'agaioiga o masini. Ina ia mautinoa o le sa'o o le fa'avae e ausia tulaga fa'atonuina, e tatau ona faia taumafaiga mai itu e lua: le iloa o fa'ailoga autu ma le tausisia o tulaga fa'atonuina.
Iloa o fa'ailoga autu: Puleaina o le sa'o i le tele o itu
Iloa le lamolemole: Fuafuaina o le "lamolemole" o le vaalele fa'asino
O le lamolemole o le fa'ailoga autū lea o fa'avae sa'o o le granite, ma e masani ona fuaina e ala i laser interferometers po'o le eletise. E mafai e le laser interferometer ona fuaina ma le sa'o ia minute o le gatete i luga o le fa'avae e ala i le fa'asalalauina o se ave laser ma fa'aaogaina le mataupu faavae o le fa'alavelaveina o le malamalama, fa'atasi ai ma le sa'o e o'o atu i le tulaga sub-micron. O le eletise e fuaina e ala i le gaoioi i le tele o taimi ma tusia ai se fa'afanua o le foliga tolu-dimensional o le fa'avae e iloa ai pe i ai ni fa'aoso po'o ni fa'aletonu i le lotoifale. Mo se fa'ata'ita'iga, o fa'avae granite e fa'aaogaina i masini semiconductor photolithography e mana'omia ona i ai le lamolemole o le ±0.5μm/m, o lona uiga o le eseesega o le maualuga i totonu o le 1-mita le umi e le tatau ona sili atu i le afa micrometer. E na'o masini e iloa ai le sa'o maualuga e mafai ai ona fa'amautinoa lenei tulaga fa'atonuina.
2. Iloa le sa'o: Ia mautinoa le "sa'o" o le gaioiga laina
Mo fausaga e feaveaʻi ai vaega fealuaʻi saʻo, e matuā tāua tele le saʻo. O auala masani mo le iloa o le metotia uaea poʻo le laser collimator. O le metotia uaea e aofia ai le tautauina o uaea uʻamea saʻo ma le faʻatusatusaina o le va i le va o le fogaeleele o le fausaga ma uaea uʻamea e iloa ai le saʻo. O le laser collimator e faʻaaogaina uiga faʻasalalau laina o le laser e iloa ai le sese laina o le fogaeleele faʻapipiʻi o le alalaupapa taʻiala. Afai e le ausia e le saʻo le tulaga masani, o le a mafua ai ona fesuiaʻi masini i le taimi o le fealuaʻi, ma aʻafia ai le saʻo o le faʻagasologa poʻo le fuaina.
3. Iloa le ma'ale'ale o le fogā'ele'ele: Ia mautinoa le "lelei" o le pa'i atu
O le ma'a'a o le fogāeleele o le fausaga e a'afia ai le fetaui lelei o le fa'apipi'iina o vaega. E masani lava, e fa'aaogaina se mita ma'a'a o le penitala po'o se microscope opitika mo le iloa. O le meafaigaluega ituaiga penitala e fa'amaumauina suiga o le maualuga o le fa'asologa o le microscope e ala i le fa'afeso'ota'i o le fogāeleele o le fausaga i se su'ega manifinifi. E mafai e microscope opitika ona mata'ituina sa'o le foliga o le fogāeleele. I fa'aoga sa'o maualuga, e mana'omia ona pulea le ma'a'a o le fogāeleele o fausaga granite i le Ra≤0.05μm, lea e tutusa ma se aafiaga e pei o se fa'ata, ma fa'amautinoa ai o vaega sa'o e fetaui lelei i le taimi o le fa'apipi'iina ma 'alofia ai le gatete po'o le fe'avea'i e mafua mai i va.
O tulaga fa'atonuina o le sa'o e mulimuli mai i: tulaga fa'avaomalo ma le pulega i totonu o le pisinisi
I le taimi nei, faavaomalo, o tulaga faatonuina ISO 25178 ma GB/T 24632 e masani ona faaaogaina o se faavae mo le fuafuaina o le sa'o o fausaga granite, ma e iai ni faavasegaga manino mo faailoga e pei o le lamolemole ma le sa'o. E le gata i lea, o pisinisi gaosi oloa maualuluga e masani ona faatulaga ni tulaga faatonuina sili atu ona faigata mo le pulea i totonu. Mo se faataitaiga, o le manaoga o le lamolemole mo le fausaga granite o le masini photolithography e 30% maualuga atu nai lo le tulaga faatonuina faavaomalo. Pe a faia ni suega, e tatau ona faatusatusa faamatalaga na fuaina ma tulaga faatonuina talafeagai. Na o fausaga e tausisia atoatoa tulaga faatonuina e mafai ona faamautinoa le mautu o le faatinoga i masini sa'o.
O le siakiina o le sa'o o fausaga sa'o o le granite o se galuega fa'atino fa'apitoa. E na'o le fa'ata'ita'iina ma le fa'aeteete o fa'ailoga autu e pei o le lamolemole, sa'o, ma le ma'ale'ale o le fogaeleele, ma le tausisia o tulaga fa'avaomalo ma fa'apisinisi, e mafai ai ona fa'amautinoa le maualuga o le sa'o ma le fa'atuatuaina o le fausaga, ma fa'ata'atia ai se fa'avae mautu mo vaega gaosiga maualuluga e pei o semiconductors ma meafaigaluega sa'o.
Taimi na lafoina ai: Me-21-2025