I le fanua o semiconductor gaosiga, sub-micron saʻo o le ki lea i le faʻamautinoaina o le faʻatinoga o chip, ma le (ZHHIMG®) maʻamea faavae, faʻatasi ai ma ana meafaitino, gaioiga saʻo ma mamanu fou, ua avea ma faʻamaoniga autu mo le ausiaina o lenei saʻo.
Mai le vaaiga o meafaitino, o le maamora uliuli filifilia e ZHHIMG® ei ai le mamafa e tusa ma le 3100kg/m³, ma se fausaga mafiafia totonu. O lenei maualuga maualuga e maua ai le mautu ma le malosi. I le taimi o le faʻaogaina o masini semiconductor, o le suiga o afi ma le gaioiga o mea faʻainisinia i totonu o meafaigaluega o le a faʻaalia ai le vibration. O le maamora faavae e mafai ona mitiia lelei i luga o le 90% o le malosi vibration, matua faaitiitia le aafiaga o le vibration i le saʻo o meafaigaluega. I le taimi nei, o lona maualuga maualalo o le faʻalauteleina o le vevela e mafai ai ona faʻatumauina lona faʻaleagaina i totonu o se laʻititi laʻititi pe a fesuisuiaʻi le vevela o le ambient, e tuʻuina atu ai se faavae lagolago mautu mo masini semiconductor ma puipuia ai le faʻaogaina o vaega o meafaigaluega ona o suiga o le vevela, lea e ono aʻafia ai le saʻo.
E tusa ai ma le gaosiga ma le gaosiga, o le ZHHIMG® fale gaosi oloa faʻaaogaina meafaigaluega faʻavaomalo faʻavaomalo ma e fa masini faʻapipiʻi lapopoa (o masini taʻitasi e sili atu i le 500,000usd), lea e mafai ona faʻataunuʻu le saʻo maualuga i luga o maʻa. E ala i le fesoʻotaʻiga lima-axis CNC machining ma isi faiga, e mafai ona oʻo atu le faʻaogaina o le masini i le nanometer, tuʻuina atu se faʻamatalaga ultra-flat mo le faʻapipiʻiina o masini semiconductor ma faʻamautinoa le tulaga saʻo o vaega taʻitasi o meafaigaluega. E le gata i lea, o le aʻoga faifai pea o le vevela ma le susu (e aofia ai le 10,000 sikuea mita) e maua ai se siosiomaga mautu mo le gaioiga. O le 500mm lautele ma le 2000mm loloto anti-vibration faʻataʻamilomilo, faʻapea foʻi ma le leo leo, faʻamavae lelei faʻalavelave faʻalavelave i fafo ma faʻamautinoa le saʻo lelei o le gaosiga o le masini.
E le gata i lea, o le ZHHIMG® o loʻo i ai foi se malosi faʻapitoa faʻapitoa. Mo manaoga faʻapitoa o masini semiconductor, faʻapipiʻi saʻo pu ma fata uaea e mafai ona faʻapipiʻiina e ausia ai le fetaui lelei i le va o meafaigaluega ma le faʻavae. I le taimi lava e tasi, faʻatasi ma le lalolagi-vasega metrology ma suʻega meafaigaluega e pei o le German Mahr minute gau (ma le saʻo o le 0.5um) ma le Swiss WYLER eletise eletise, o le masini masini e matua asiasia ma faʻavasegaina e faʻamautinoa ai e mafai e masini taʻitasi ona faʻafetaui manaoga faʻapitoa o masini semiconductor mo le saʻo o le sub-micron.
O le tu'ufa'atasiga tonu o nei fa'amanuiaga e avea ai le ZHHIMG® maʻamea faavae o se filifiliga faʻalagolago mo le ausiaina o le saʻo o le sub-micron i masini semiconductor, fesoasoani i le gaosiga o le semiconductor agai i luga o fanua saʻo maualuga.
Taimi meli: Iuni-18-2025