E fa'afefea ona a'afia le sa'o o su'ega e le fa'aleagaina o wafers le fa'avae ma'amora? ;

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I le lalolagi saʻo o le gaosiga o semiconductor, o suʻega e le faʻaleagaina o wafers o se fesoʻotaʻiga autu e faʻamautinoa ai le lelei o tupe meataalo. O le faavae maamora foliga faatauvaa o le mea moni lava o le "toa e le o ta'ua" e iloa ai le sa'o sa'o. E fa'apefea ona a'afia i'uga o su'ega? O lenei tusiga o le a faʻatautaia se suʻesuʻega loloto mai fua e pei o meafaitino ma le faʻatulagaina o fausaga. ;
1. Fa'avae mautu: O le lelei fa'anatura o le ma'amora e tu'u ai se fa'avae mautu mo le sa'o
1. Lelei tele le faatinoga o le mafui'e
I le taimi o le faʻaogaina o masini suʻesuʻe e le faʻaleagaina, o le taamilosaga o le afi ma le gaioiga o mea faʻainisinia o le a faʻaalia uma ai le vibration. Afai e le lelei le taofiofia o nei tete, latou te matua faʻalavelave i le saʻo o le suʻega. O totonu o le maamora e vavalalata vavalalata ma tioata minerale pei ole quartz ma feldspar. O lona fausaga tulaga ese e maua ai le malosi faʻafefe faʻanatura, e mafai ona faʻaaogaina le 90% o le malosi o le masini. O faʻamaumauga moni o le fuaina o se tagata gaosi semiconductor o loʻo faʻaalia ai a maeʻa ona faʻaaogaina le maʻamea, o le vibration amplitude o meafaigaluega e iloa ai ua faʻaititia mai le 12μm i le 2μm, ma le aloese mai le faʻaogaina o le faailoilo e mafua mai i le vibration. ;
2. Coefficient matua maualalo o le faalauteleina vevela
I le taimi o le suʻesuʻeina, o mea e pei o le faʻamafanafanaina o meafaigaluega ma suiga i le vevela o le siosiomaga o le a aʻafia uma ai le mautu o le masini. O mea masani e faʻalauteleina tele pe a faʻamafanafanaina, ae o le coefficient o le faʻalauteleina o le vevela o le maamora e naʻo le 1/5 o le uamea. E tusa lava pe fesuisuiai le vevela o le ambient i le 10 ℃, e mafai ona le amanaiaina lona deformation. O lenei mea e mafai ai e le faavae maamora ona tuʻuina atu se faʻamaufaʻailoga faʻamautu mo meafaigaluega suʻesuʻe, faʻamautinoa o le tulaga vavalalata i le va o le suʻesuʻega suʻesuʻe ma le wafer e tumau pea le saʻo i taimi uma ma aloese mai mea sese o asiasiga e mafua mai i le vevela. ;
Lona lua, fa'ata'ita'iga sa'o: Fa'atonu fa'atulagaina e fa'aleleia atili ai le fa'amaoni o le su'esu'eina
Faʻatonuga maualuga ma faʻamaonia mafolafola
O le maamora maualuga maualuga o loʻo faʻaogaina e le faʻaogaina o fesoʻotaʻiga e lima-axis CNC tekonolosi, faʻatasi ai ma le mafolafola o le ± 0.5μm / m, e tuʻuina atu ai se faʻamatalaga faʻapipiʻi ultra-flat mo meafaigaluega asiasi. I su'esu'ega wafer, o le fa'alava ma le maualuga o le su'ega su'esu'e e taua tele i taunu'uga o asiasiga. O se faavae maamora maualuga-saʻo e mafai ona mautinoa le tulaga saʻo o le suʻesuʻega, faia le faamatalaga asiasiga sili atu le saʻo ma faatuatuaina. ;
2. Fetuuna'iga fa'atulagaina fa'apitoa
E mafai ona fa'apipi'iina fa'avae masini fa'ameamea mo masini su'esu'e e le fa'aleagaina ma mea e mana'omia. Mo se faʻataʻitaʻiga, ina ia faʻamalieina manaʻoga o masini suʻesuʻe faʻapitoa mo le faʻamalamalamaina o le malamalama, o le pito i luga ole masini e mafai ona togafitia faʻapitoa; Ina ia faʻamalieina manaʻoga faʻapipiʻi o masini suʻega ultrasonic, e mafai ona faʻapipiʻiina le faʻavae ma pu faʻapipiʻi saʻo ma fata uaea, e mafai ai ona faʻapipiʻi vave ma saʻo le faʻapipiʻiina o meafaigaluega ma faʻaitiitia le vaʻaia o mea e mafua mai i mea sese faʻapipiʻi. ;
iii. Fa'amautu umi: Fa'aitiitia le gau sa'o e mafua mai i le tausiga o meafaigaluega
O le Granite e maualuga le maaa ma le malosi o le ofuina, faʻatasi ai ma le malosi o le Mohs o le 6 i le 7, lea e faatoluina le faʻaogaina o le uʻamea masani. I le taimi o suʻesuʻega umi, o le pito i luga o le masini e le masani ona ofuina ma e mafai ona tausia i taimi uma se tulaga saʻo lelei. I le faʻatusatusaga, o faʻavae e faia i isi mea e mafai ona mafua ai suiga i le faʻapipiʻiina o faʻamatalaga o meafaigaluega ona o le ofuina ma le masaesae, ma faʻapea ona aʻafia ai le saʻo saʻo ma manaʻomia ai le faʻavasegaina ma le tausiga. O le umi o le soifua tautua ma le mautu maualuga o le maamora faavae faʻaitiitia lelei le tele o le tausiga o meafaigaluega ma faʻaitiitia ai le lamatiaga o le gau saʻo e ono tupu i le faagasologa o le tausiga. ;
Mai tete'e tete'e, vevela tetee i le mamanu sa'o, vaega uma o le maamora faavae puipuia le saʻo o le le faʻaleagaina suʻega o wafers. I le vaitaimi o le gaosiga o le semiconductor i aso nei o loʻo tulituliloaina le saʻo atoatoa, o le filifilia o se maamora maualuga maualuga e pei o le faʻaopoopoina o se vaega mautu o inisiua i le saʻo ma le faʻamaoni o taunuuga o suʻega. ;