I fanua fa'atauva'a e pei o le gaosiga semiconductor ma fa'apotopotoga meafaifa'aili mata, o le tulituliloaina o le sub-micron po'o le nanometer-level positioning sa'o i le tele-axis precision worktables e le gata. O le maamora maualuga (ma le mamafa o le ≥3100kg / m³) ua avea ma mea autu mo le faʻaleleia o le faʻatinoga o laulau faigaluega ona o ona uiga faʻapitoa faʻapitoa. O lo'o taua i lalo se au'ili'iliga o ona fa'amanuiaga e le mafai ona suitulaga mai i itu e fa.
1. Mautu tulaga ese: O se "pa faanatura" e taofia ai faʻalavelave faʻafefe
Pe a o'o i luga ole la'asaga tele-axis table (ma se laina saosaoa e sili atu i le 500mm/s) po'o le feso'ota'iga tele-axis, e faigofie ona tupu fa'alavelave lavelave. O vaega o minerale i totonu o le maamora maualuga maualuga e fesoʻotaʻi vavalalata, faʻatasi ai ma le masani masani e maualalo ifo i le 10-20Hz, ma e mafai ona faʻaaogaina le sili atu i le 90% o le malosi o le vibration i fafo. I le faagasologa o le afifiina o vaʻa semiconductor, e mafai ona faʻatonutonuina le mea sese o le faʻaogaina o mea faigaluega i totonu o le ± 0.5μm, aloese mai le faʻaogaina o le uaea poʻo le faʻaleagaina o vaʻa e mafua mai i le vibration. Pe a faatusatusa i mea masani lafo uʻamea, o le vibration attenuation fua faatatau o le maamora e tolu taimi vave, matua faaleleia atili le ogatasi o le faagasologa.
2. Mauaina vevela: O le "Stabilizing taula" e faasaga i fesuiaiga o le vevela
I totonu o se siosiomaga faʻatulagaina saʻo, o le suiga o le vevela o le 0.1 ℃ e mafai ona mafua ai le faʻaleagaina o mea o le 0.1μm / m. O le coefficient o le faʻalauteleina o le vevela o le maamora maualuga maualuga e naʻo (4-8) × 10⁻⁶ / ℃, e tusa ma le 1/6 o le alumini alumini. I tulaga maualuga-saʻo lelei e pei o tioata mata tioata, e tusa lava pe fesuisuiai le vevela vevela i le ± 2 ℃, o le maamora faavae e mafai lava ona faatumauina le micron-tulaga tulaga saʻo o vaega autu o le workbench, faʻamautinoa o le mea sese curvature tioata e itiiti ifo nai lo le 0.01D, e sili mamao atu i le tulaga alamanuia.
3. Ultra-maualuga rigidity: O le "Maa Faavae Malosi" mo le tauaveina o uta mamafa
E masani ona faʻapipiʻiina mea faigaluega e tele-axis i vaega mamafa e pei o ulu leisa ma faʻasologa suʻesuʻe (faʻatasi ai ma le uta tasi-axis e sili atu i le 200kg). O le malosi compressive o le maamora maualuga-density o ≥200MPa, ma e mafai ona tatalia se uta toniga o luga 1000kg/m² e aunoa ma deformation tumau. Ina ua maeʻa ona faʻaaogaina e se atinaʻe aerospace lenei mea, pe a faʻaaogaina e le lima-axis worktable le mamafa o le 500kg, o le Z-axis verticality sese na o le 0.3μm, faʻamautinoa lelei le saʻo lelei o le faʻaogaina o luga ole lavelave.
4. Tumau umi: Faʻaitiitia le tau atoa o le taamilosaga o le olaga
O le malosi o le Mohs o le maamora e oʻo atu i le 6 i le 7, ma o lona teteʻe faʻaofuofu e sili atu i le faalima taimi nai lo le uʻamea masani. I se 3C oloa gaosiga laina lea e faagaoioia mo le averesi o 16 itula i le aso, e mafai ona ausia le faavae maamora faagaoioiga tausiga-saoloto mo le 8 i le 10 tausaga, ae o le faavae uʻamea lafo o loʻo faʻaalia ofuina i luga o le taʻiala taʻiala fesoʻotaʻiga luga (loloto> 5μm) pe a uma le 3 tausaga. E le gata i lea, o lona inertness kemikolo e mafai ai ona faatumauina le roughness luga o le Ra≤0.2μm i siosiomaga acidic ma alkaline, faʻaauauina le tuʻuina atu o se faʻamaufaʻailoga faʻapipiʻi mo vaega saʻo e pei o pule faʻapipiʻi ma laina laina.
Fa'ai'uga: High-density Granite - O le "Simupini Natia" o le Fa'atonu Fa'atonu
Mai le nanoscale tulaga i galuega mamafa-tiute, maaʻa maualuga-density toe faʻaleleia tulaga faʻapitoa o le tele-axis saʻo worktables ma lona faatinoga atoatoa le mafaatusalia. Mo pisinisi o loʻo tulituliloaina le saʻo atoatoa ma le faʻamaoni, o le filifilia o faʻavae maʻamea maualuga (e pei o oloa ZHHIMG® faʻamaonia e le ISO tolu faiga) e le gata o se faʻamaoniga mo le gaosiga o loʻo iai nei ae o se tupe faʻaalu mo le faʻaleleia o le lumanaʻi.
Taimi meli: Iuni-09-2025