E Faapefea Ona Tatou Faamautinoaina le Sa'o? Manatu Autu Sauniuniga A'o le'i fuaina vaega maa

I le inisinia ultra-saʻo, o le vaega maamora o le tino faasinomaga sili, e maua ai le faavae o le mautu mo meafaifaaili o loʻo faʻaogaina i fua micro ma nanometer. Ae ui i lea, e oo lava i mea e sili ona mautu-o tatou ZHHIMG® maamora uliuli maualuga-e mafai ona tuʻuina atu lona malosi atoatoa pe afai o le fuaina o le faiga lava ia e pulea ma le malosi faʻasaienisi.

E fa'afefea ona fa'amautinoa e inisinia ma su'esu'ega fa'atatauga e sa'o moni fua? O le mauaina o fa'ai'uga sa'o ma toe fa'afo'i i le taimi o le su'esu'ega ma le fa'amaoniga mulimuli o fa'avae masini ma'amora, fa'amau ea, po'o fausaga CMM e mana'omia ai le fa'alogo toto'a i fa'amatalaga a'o le'i pa'i le mea e fua ai i luga. O lenei sauniuniga e masani ona taua tele e pei o le fuaina o meafaigaluega lava ia, ia mautinoa o taunuuga e atagia moni ai le geometry o le vaega, ae le o mea tau le siosiomaga.

1. Le Matafaioi Mata'utia o le Fa'a'avevela (Thermal Conditioning)

O le Granite e matua maualalo le Coefficient of Thermal Expansion (COE), aemaise lava pe a faatusatusa i metala. Peita'i, so'o se meafaitino, e aofia ai maa'a'a maualuga, e tatau ona fa'amautu fa'amama i le ea fa'asao ma le mea e fua ai a'o le'i amataina le fa'amaoniga. E ta'ua lea o le vaitaimi o le soak out.

O se vaega ma'a'a tele, ae maise o se tasi e le'i leva ona si'itia mai le fale gaosimea i se fale su'esu'e fa'ata'ita'i fa'apitoa, o le a fa'amomoe fa'alili fa'amama—ese'esega o le vevela i le va o lona fatu, luga, ma le fa'avae. Afai e vave amata fua, o le a faasolosolo malie le maamora pe fa'akonekarate pe a tutusa, ma o'o atu ai i le fa'asolosolo fa'asolosolo i faitauga.

• Le Tulafono o le Tamamatua: E tatau ona nofo vaega sa'o i totonu o le siosiomaga fua—o tatou potu mama e pulea le vevela ma le susū—mo se vaitaimi umi, e masani lava i le 24 i le 72 itula, e faalagolago i le mamafa ma le mafiafia o le vaega. O le faʻamoemoe o le ausia lea o le paleni vevela, faʻamautinoaina le vaega maamora, le masini fua (e pei o le laser interferometer poʻo le eletise eletise), ma le ea o loʻo i ai uma i le tulaga faʻavaomalo aloaia o le vevela (e masani lava 20 ℃).

2. Filifiliga o luga ma le Faʻamamaina: Faʻateʻaina o le fili o le saʻo

O palapala, pefu, ma otaota o fili sili ia e tasi o fua sa'o. E o'o lava i se vaega itiiti o le pefu po'o se tamatamai lima o totoe e mafai ona fausia ai se maualuga e tu'u ese e fa'ailoa sese ai se mea sese o le tele o micrometers, e matua fa'afefeteina ai le fuaina o le mafolafola po'o le sa'o.

A'o le'i tu'uina so'o se su'esu'ega, mea fa'aata, po'o se mea e fua ai i luga o le fogaeleele:

• Fa'amama mae'ae'a: O le vaega pito i luga, pe o se va'alele fa'asinomaga po'o se fa'apipi'i mo se laina laina laina, e tatau ona fa'amama ma le toto'a e fa'aaoga ai se solo talafeagai, e leai se lint ma se mea e fa'amama ai le mama (e masani lava o le ava fa'apisinisi po'o le fa'amama ma'amea fa'apitoa).
• Soloia Meafaigaluega: E tutusa lava le taua o le faamamaina o mea faigaluega fua. O fa'ata, fa'avae meafaigaluega, ma fa'amatalaga su'esu'e e tatau ona mama ina ia mautinoa le fa'afeso'ota'i atoatoa ma se ala fa'apitoa.

3. Malamalama i le Lagolago ma Fa'amalologa

Ole auala e lagolagoina ai se vaega maamora ile taimi ole fua e taua tele. O fausaga maamora tetele ma mamafa ua mamanuina e faatumauina ai o latou geometry pe a lagolagoina i vaega patino, numera fuafuaina (e masani ona faavae i Airy poʻo Bessel points mo le mafolafola sili ona lelei).

• Fa'asa'o Fa'amau: E tatau ona faia le fa'amaoniga i le vaega ma'amora o lo'o fa'amau i luga o lagolago ua fa'atonuina e le ata fa'ainisinia. E le sa'o vaega lagolago e mafai ona fa'aosoina ai le fa'alavelave i totonu ma le fa'aletonu o le fausaga, fa'afefeteina le pito i luga ma maua ai se faitauga le sa'o "le-fa'apalepale", e tusa lava pe lelei le gaosiga o le vaega.
• Vibration Isolation: O le si'osi'omaga fua e tatau lava ona tu'ufua. O le faavae o le ZHHIMG, o lo'o fa'aalia ai le fola sima e tasi le mita le mafiafia ma le 2000 mm le loloto o le va'aiga, fa'aitiitia ai le fa'alavelave fa'aleagaga mai fafo ma fa'ainisinia, fa'amautinoaina o lo'o faia le fua i luga o se tino mautu.

4. Filifiliga: Filifilia le Mea Sa'o Metrology

Ma le mea mulimuli, e tatau ona filifilia le meafaigaluega fua talafeagai e fa'atatau i le tulaga sa'o mana'omia ma le geometry o le vaega. E leai se meafaigaluega e tasi e atoatoa mo galuega uma.

• Mafolafola: Mo le maualuga-saʻo atoatoa mafolafola ma foliga geometric, le Laser Interferometer poʻo le maualuga-resolution Autocollimator (e masani ona faʻapipiʻi ma Electronic Levels) e maua ai le tali talafeagai ma le saʻo umi.
• Fa'apitonu'u Fa'apitonu'u: Mo le siakiina o la'ei fa'apitonu'u po'o le toe fa'afo'i (Repeat Reading Accuracy), maualuga sa'o Fa'aeletonika La'asaga po'o LVDT / Capacitance Su'esu'ega fa'atasi ai ma fa'ai'uga i lalo i le 0.1 μm e mana'omia.

E ala i le tausisia ma le toto'a i nei laasaga sauniuni - pulea le mautu o le vevela, tausia o le mama, ma le faʻamautinoaina o le lagolago faʻavae saʻo - e faʻamautinoa e le vaega inisinia a le ZHHIMG o fua faʻaiʻuga o a tatou vaega sili ona saʻo o se ata moni ma faʻatuatuaina o le sao atoatoa o le lalolagi e tuʻuina mai e a tatou meafaitino ma a tatou tufuga matai.