E mafai faapefea e se maamora tulaga opitika ausia se mautu angular o 0.01μrad?

I fanua o faʻataʻitaʻiga faʻapitoa faʻapitoa ma le gaosiga maualuga, o le mautu o le angular i le 0.01μrad tulaga o se faʻailoga autu. Granite fa'apipi'i fa'apipi'i, fa'atasi ai ma a latou meafaitino ma fa'atekonolosi feso'ota'iga, ua avea ma ta'avale autu mo le ausiaina o le sa'o maualuga.

O le lelei o meafaitino e taoto ai se faavae mautu. O le Granite, o se maa aasa na fausia e le eleele i luga o le faitau selau miliona o tausaga, e lauiloa ona o lona maualuga maualalo o le faʻalauteleina o le vevela, lea e na o le afa o le sila ma le tasi vaefa o le alumini. Pe a suia le vevela i le 1 ℃, o le vaega maamora 1 mita le umi e faalautele e na o le 6 micrometers, ae o le vaega alumini e faalautele i le 23 micrometers. Ole mea lea e 'alofia ai le fa'a'ese'esega fa'ama'i e mafua mai i le fa'aleagaina o le vevela. I le taimi nei, o lona faʻaleleia lelei o le faʻaogaina e mafai ona vave faʻaitiitia le vibration i fafo, faʻatumauina le tulaga i se tulaga faʻapitoa ma faʻaitiitia ai le faʻalavelave i vaega faʻapitoa.

O le sa'o o le fa'atulagaina o le fa'atulagaga e fa'aleleia ai le ma'a'a'a. O le maamora opitika tulaga, ina ua uma se optimized mamanu fausaga fausaga, ua matua faaleleia rigidity ma mafai lelei tetee deformation uta. O lona sa'o lelei o le fa'aogaina o luga e o'o atu i le tulaga maualuga i le alamanuia. O le ave o le 00-level saʻo e fetaui ma le GB4987-85 faʻataʻitaʻiga e fai ma faʻataʻitaʻiga, o le faʻapalepale faʻapalepale e naʻo le 2 × (1 + d / 1000) μm (d o le umi o le diagonal), e tuʻuina atu ai se faʻamatalaga faʻapipiʻi sili ona mafolafola mo masini mata.

E maua le fa'avasegaga fa'atekinolosi e ala i le galulue fa'atekonolosi. Pe a faʻapipiʻiina i faʻamaʻi faʻamaʻi faʻapitoa e pei o puna ea poʻo levitation maneta, e mafai e le fausaga maamora ona vavaeeseina le maualalo ma le maualuga. Faʻaopoopoina e le maualuga-saʻo fua meafaigaluega e pei o le laser interferometers, le Suʻega Suʻega e mataʻituina i le taimi moni. O le taimi lava e sili atu ai le faʻasesega i luga o le faʻailoga o le 0.01μrad, o le faʻatonuga o le faʻaogaina o le faʻaogaina o le faʻaogaina vave o le faʻaogaina o masini mo le faʻasaʻo ina ia mautinoa o loʻo i ai pea le tulaga i se tulaga maualuga ma mautu.

Mai le ute o le meafaitino i le faʻamalosia faʻatekonolosi, o le maamora opitika tulaga, faʻatasi ai ma le mautu vevela, teteʻe vibration ma le saʻo gaioiga lelei o lona autu, tuʻufaʻatasia ma tekinolosi faʻatautaia atamai, ua manuia malepe i le 0.01μrad saʻo saʻo ma ua faʻaaogaina lautele i pito pito i tua e pei o le photolithography, suʻesuʻega o le vateatea ma suʻesuʻega fou o le suʻesuʻega o le laser. maualuga.