I totonu o le faleaoga o le gaosiga o le semiconductor, o manaʻoga o le gaosiga o le gaosiga o chip mo tulaga o le siosiomaga ma le saʻo o meafaigaluega e matuaʻi ogaoga, ma soʻo se suiga laʻititi e mafai ona oʻo atu ai i se paʻu tele i le gaosiga o le chip. O le XYZT precision gantry movement platform e faʻalagolago i vaega maamora e galulue faʻatasi ma isi vaega o le faʻavae e fausia ai se faavae mautu mo le ausiaina o le saʻo o le nanoscale.
Manaia mea e poloka ai le vibration
I totonu o le faleaoga o le gaosiga o semiconductor, o le faʻaogaina o masini faʻapitoa ma tagata faigaluega o loʻo savavali solo e ono mafua ai le vibration. O le fausaga i totonu o vaega maamora e mafiafia ma toniga, faatasi ai ma uiga masani maualuga damping, e pei o se vibration lelei "pa". A faʻasalalau le vibration i fafo i le XYZT platform, e mafai e le vaega maaʻa ona attenuate lelei sili atu i le 80% o le malosi vibration ma faʻaitiitia ai le faʻalavelave o le vibration i luga o le saʻo o le gaioiga. I le taimi lava e tasi, o loʻo faʻapipiʻiina le faʻavae i luga o le maualuga o le faʻaogaina o le ea faʻataʻitaʻiga faiga, lea e galue faʻatasi ma vaega maamora. O le taʻiala faʻafefe ea e faʻaaogaina le ata tifaga mautu na fausia e le kasa maualuga maualuga e iloa ai le faʻaogaina o le faʻamalologa o vaega feʻaveaʻi o le faʻavae ma faʻaitiitia ai le vibration laiti e mafua mai i le faʻaogaina o masini. Faʻatasi, e faʻamautinoaina e le lua o le tulaga saʻo o le tulaga o loʻo tumau pea i le nanometer level i faiga faʻapitoa e pei o le chip lithography ma le etching, ma aloese mai le faʻaseseina o mamanu faʻataʻavalevale e mafua mai i le vibration.
Maua lelei le mautu
O le fesuisuiai o le vevela ma le susū i totonu o le mafutaga faaleaoaoga e iai sona aafiaga tele i le sa'o atoatoa o masini gaosi oloa. O le faʻalauteleina o le vevela o le maamora e maualalo tele, e masani lava ile 5-7 × 10⁻⁶ / ℃, o le tele e toetoe lava a le suia pe a suia le vevela. E tusa lava pe o le eseesega o le vevela i le va o le ao ma le po i totonu o le mafutaga faaleaoaoga po o le vevela gaosiga o meafaigaluega e mafua ai ona fesuisuiai le vevela o le ambient, e mafai ona tumau le mautu o vaega maamora e puipuia ai le deformation o le tulaga ona o le faʻalauteleina o le vevela ma le faʻaitiitia. I le taimi lava e tasi, o le faʻaogaina o le faʻaogaina o le vevela faʻapipiʻiina ma le faʻapipiʻiina e mataʻituina le vevela o le ambient i le taimi moni, e otometi lava ona fetuunai le ea malulu ma mea e faʻafefe ai le vevela, ma faʻatumauina le vevela vevela i le 20 ° C ± 1 ° C. Faʻatasi ma le lelei o le mautu o le vevela, faʻamautinoa o le faʻavae i le taimi umi, o le saʻo o le gaioiga o le axis taʻitasi o loʻo faʻamautinoaina le faʻaogaina o le vaʻa taʻitasi e faʻamautinoa ai le faʻaogaina o le vaʻa faʻatasi ma le faʻatulagaina o le nanometh e faʻamautinoa ai le faʻaogaina o le vaʻa. sa'o, etching loloto e tutusa.
Faʻafetaui manaʻoga o le siosiomaga mama
E mana'omia e le fale gaosi semiconductor le fa'atumauina o le maualuga maualuga o le mama e puipuia ai pefu efuefu mai le faaleagaina o le pu. O mea faʻamaʻi lava ia e le maua ai le pefu, ma o le luga e lamolemole, e le faigofie ona faʻafefe pefu. O le tulaga atoa e faʻaaogaina se mamanu faʻapipiʻi atoa poʻo semi-tapuni e faʻaitiitia ai le ulufale mai o le pefu i fafo. O le faʻaogaina o le ea i totonu o loʻo fesoʻotaʻi ma le faʻaogaina o le ea mama o le mafutaga faaleaoaoga e faʻamautinoa ai o le mama i totonu e oʻo atu i le tulaga e manaʻomia e le gaosiga o chip. I totonu o lenei siosiomaga mama, o le a le aafia ai vaega maamora le faatinoga ona o le tafia o le pefu, ma vaega autu e pei o sensors maualuga-saʻo ma motors o le tulaga e mafai foi ona faagaoioia stably, tuuina atu faaauau pea ma faatuatuaina faamaoniga saʻo nanoscale mo gaosiga chip, ma fesoasoani i le alamanuia semiconductor e siitia atu i se tulaga maualuga faagasologa.
Taimi meli: Apr-14-2025