I le fale gaosi oloa semiconductor, o manaʻoga o le faiga o le gaosiga o chips mo tulaga o le siosiomaga ma le saʻo o masini e matuā ogaoga lava, ma o soʻo se eseesega laʻititi e ono iʻu ai i se paʻu tele i le fua o le chip. O le faʻavae o le XYZT precision gantry movement e faʻalagolago i vaega o le granite e galulue faʻatasi ai ma isi vaega o le faʻavae e fausia ai se faʻavae mautu mo le ausiaina o le saʻo o le nanoscale.
Mea lelei e taofia ai le gatete
I totonu o le fale gaosi oloa semiconductor, o le faʻagaoioiga o masini faʻaopoopo ma tagata faigaluega o loʻo savavali solo e ono mafua ai le gatete. O le fausaga i totonu o vaega o le granite e mafiafia ma tutusa, faʻatasi ai ma uiga masani o le maualuga o le faʻaitiitia, e pei o se "pa puipui" lelei o le gatete. A faʻasalalauina le gatete mai fafo i le XYZT platform, e mafai e le vaega o le granite ona faʻaitiitia lelei le silia ma le 80% o le malosi o le gatete ma faʻaitiitia ai le faʻalavelave o le gatete i le saʻo o le gaioiga o le platform. I le taimi lava e tasi, o loʻo faʻapipiʻiina le platform i se faiga taʻiala ea maualuga le saʻo, lea e galulue faʻatasi ma vaega o le granite. O le taʻiala ea e faʻaaogaina le ata kesi mautu na fausia e le kesi maualuga le mamafa e faʻaalia ai le gaioiga e aunoa ma se paʻi o vaega feʻaveaʻi o le platform ma faʻaitiitia ai le gatete laiti e mafua mai i le feteʻenaʻiga faʻamekanika. Faʻatasi, e faʻamautinoa ai e le lua o loʻo tausia pea le saʻo o le tulaga o le platform i le tulaga nanometer i faiga autu e pei o le chip lithography ma le etching, ma aloese mai le faʻaletonu o mamanu o le chip circuit e mafua mai i le gatete.
Mausali lelei i le vevela
O le fesuisuiaʻi o le vevela ma le susū i totonu o le fale faigaluega e iai sona aafiaga tele i le saʻo o masini gaosi chip. O le coefficient o le faʻalauteleina o le vevela o le granite e matua maualalo lava, e masani lava i le 5-7 ×10⁻⁶/℃, e toetoe lava a le suia le tele pe a suia le vevela. E tusa lava pe a mafua ona fesuisuiaʻi le vevela o le siosiomaga ona o le eseesega o le vevela i le va o le ao ma le po i le fale faigaluega poʻo le gaosiga o le vevela o masini, e mafai ona tumau le mautu o vaega o le granite e puipuia ai le faʻaleagaina o le tulaga ona o le faʻalauteleina ma le faʻaitiitia o le vevela. I le taimi lava e tasi, o le faiga atamai o le puleaina o le vevela o loʻo faʻapipiʻiina i le tulaga e mataʻituina ai le vevela o le siosiomaga i le taimi moni, faʻasaʻo otometi le ea malulu ma masini e faʻaumatia ai le vevela, ma tausia le vevela o le fale faigaluega i le 20 ° C ±1 ° C. Faʻatasi ai ma le lelei o le mautu o le vevela o le granite, ia mautinoa o le tulaga i le faʻagaioiga umi, o le saʻo o le gaioiga o axis taʻitasi e ausia pea tulaga faʻatonuina o le nanometer gaosiga chip, ia mautinoa o le tele o le mamanu o le lithography chip e saʻo, o le loloto o le etching e tutusa.
Fa'afetaia'ia mana'oga o se siosiomaga mamā
E manaʻomia e le fale gaosi oloa semiconductor ona tausia se tulaga maualuga o le mamā ina ia puipuia ai le faaleagaina o le efuefu i totonu o le chip. O le mea lava ia e le gaosia ai le efuefu, ma e lamolemole le fogāeleele, e le faigofie ona mitiia le efuefu. O le fausaga atoa e faʻaaogaina se mamanu e tapuni atoa pe tapuni teisi ina ia faʻaitiitia ai le ulufale mai o le efuefu mai fafo. O le faiga o le tafe o le ea i totonu e fesoʻotaʻi ma le faiga o le ea malulu mama o le fale faigaluega ina ia mautinoa o le mama o le ea i totonu e oʻo atu i le tulaga e manaʻomia e le gaosiga o chip. I lenei siosiomaga mamā, o vaega o le granite o le a le afaina ai le faʻatinoga ona o le soloia o le efuefu, ma o vaega autu e pei o sensors ma afi e maualuga le saʻo o le fausaga e mafai foi ona faʻagaoioia ma le mautu, ma maua ai le faʻamaoniga saʻo o le nanoscale mo le gaosiga o chip, ma fesoasoani i le alamanuia semiconductor e agai atu i se tulaga maualuga o le faʻagasologa.
Taimi na lafoina ai: Ape-14-2025