I le gaosiga o semiconductor, o le masini photolithography o se masini autu e fuafua ai le saʻo o chips, ma o le faavae granite, faatasi ai ma ona uiga eseese, ua avea ma vaega taua tele o le masini photolithography.
Mausali o le vevela: O le "Tali" e tetee atu ai i Suiga o le Vevela
A fa'agaoioia se masini e vali ai ata, e tele le vevela e maua mai ai. E o'o lava i le suiga o le vevela e na'o le 0.1℃ e mafai ona mafua ai le fa'aleagaina o vaega o le masini ma a'afia ai le sa'o o le valiina o ata. E matua maualalo lava le fua fa'atatau o le fa'alauteleina o le vevela o le granite, e na'o le 4-8 ×10⁻⁶/℃, e tusa ma le 1/3 o le u'amea ma le 1/5 o le u'amea alumini. O lenei mea e mafai ai e le fa'avae granite ona fa'atumauina le mautu o le fua pe a umi se taimi e fa'agaoioia ai le masini e vali ai ata pe a suia fo'i le vevela o le si'osi'omaga, ma fa'amautinoa ai le tulaga sa'o o vaega opitika ma fausaga fa'amekanika.
Fa'atinoga sili ona tete'e i le gatete: O le "somo" e mitiia ai le gatete
I totonu o se fale gaosi oloa semiconductor, o le faʻagaoioiga o masini o loʻo siomia ai ma le feʻaveaʻi o tagata e mafai ona faʻatupuina ai le gatete. O le granite e maualuga lona mafiafia ma e maʻaʻa lona foliga, ma e sili ona lelei lona faʻaitiitia o le gatete, faʻatasi ai ma le fua faʻatatau o le gatete e 2 i le 5 taimi nai lo uʻamea. A faʻasalalauina gatete mai fafo i le faʻavae granite, o le feteʻenaʻiga i le va o tioata minerale i totonu e liua ai le malosi o le gatete i le malosi o le vevela mo le faʻataʻapeʻapeina, lea e mafai ona faʻaitiitia ai le gatete i se taimi puʻupuʻu, ma mafai ai e le masini photolithography ona vave toe faʻafoʻisia le mautu ma aloese mai le le manino poʻo le le saʻo o le mamanu o le photolithography ona o le gatete.
Mausali o vailaʻau: O le "Leoleo" o se Siosiomaga Mamā
E fe'apa'i totonu o se masini photolithography ma ni vaila'au eseese, ma e faigofie ona 'ele pe fa'asa'olotoina ni vaega o mea u'amea masani. O le Granite e faia i minerale e pei o le quartz ma le feldspar. E mautu ona uiga fa'akemikolo ma e tete'e malosi i le 'ele. A uma ona fa'asusu i vaila'au 'aisa ma alkali, e matua la'ititi lava le 'ele o le luga. I le taimi nei, e toetoe lava a leai ni otaota po'o ni pefu e maua mai i lona fausaga mafiafia, e ausia ai mana'oga o tulaga sili ona maualuga o le potu mama ma fa'aitiitia ai le lamatiaga o le fa'aleagaina o le wafer.
Fetuuna'iga i le fa'agasologa: O le "mea lelei atoatoa" mo le fatuina o fa'ailoga sa'o
E manaʻomia ona faʻapipiʻi vaega autū o le masini photolithography i luga o se fogāeleele e maualuga le saʻo. E tutusa le fausaga i totonu o le granite ma e faigofie ona faʻagasolo i le saʻo tele e ala i le oloina, faʻapulusaina ma isi metotia. E mafai ona oʻo atu lona lamolemole i le ≤0.5μm/m, ma o le maʻalili o le fogāeleele Ra e ≤0.05μm, ma maua ai se faʻavae faʻapipiʻi saʻo mo vaega e pei o tioata opitika.
Umi le ola ma e leai se tausiga: O "meafaigaluega maai" mo le faʻaitiitia o tau
Pe a fa'atusatusa i mea u'amea e faigofie ona vaivai ma māvaevae pe a fa'aaogā mo se taimi umi, e seasea ona suia pe gau le granite i avega masani, ma e le mana'omia fo'i ona togafitia le fogā'ele'ele, ma 'alofia ai le lamatiaga o le ma'e'e ma le pisia o le ufiufi. I fa'aaogāga fa'atino, pe a uma ona fa'aaogā mo le tele o tausaga, e mafai lava ona tumau le mautu o fa'ailoga autū o le fa'atinoga o le fa'avae granite, ma fa'aitiitia ai tau o le fa'agaoioiga ma le tausiga o masini.
Mai le mautu o le vevela, tete'e atu i le gatete i le le gaoioi o vaila'au, o uiga eseese o le fa'avae granite e fetaui lelei ma mana'oga o le masini photolithography. A'o fa'aauau pea ona atina'e le faiga o le gaosiga o chip agai i le maualuga o le sa'o, o le a fa'aauau pea ona faia e fa'avae granite se matafaioi taua i le matata o le gaosiga o semiconductor.
Taimi na lafoina ai: Me-20-2025

