I le gaosiga o le semiconductor, o le masini photolithography o se masini autu e fuafua ai le saʻo o tupe meataalo, ma le faavae maʻamea, faatasi ai ma ona uiga e tele, ua avea ma se vaega taua o le masini photolithography.
Malosi o le vevela: O le "Fete'ena" e faasaga i Suiga o le vevela
A fa'aogaina se masini photolithography, e fa'atupuina le tele o le vevela. E o'o lava ile suiga ole vevela ole na'o le 0.1℃ e mafai ona fa'aleagaina ai vaega ole meafaigaluega ma a'afia ai le sa'o o le photolithography. O le coefficient o le faʻalauteleina o le vevela o le maamora e matua maualalo, naʻo 4-8 × 10⁻⁶ / ℃, e tusa ma le 1/3 o le uamea ma le 1/5 o le alumini alumini. O lenei mea e mafai ai e le faavae maamora ona faatumauina le tulaga mautu pe a galue le masini photolithography mo se taimi umi poʻo pe a suia le vevela o le siosiomaga, faʻamautinoa le faʻatulagaina saʻo o vaega opitika ma fausaga faʻainisinia.
Super anti-vibration performance: O le "sponge" e mitiia le vibration
I totonu o se fale gaosi semiconductor, o le faʻaogaina o mea faʻataʻamilomilo ma le feʻaveaʻi o tagata e mafai ona faʻatupuina uma le vibration. O le Granite e maualuga lona mamafa ma se mea faigata, ma e sili ona lelei mea faʻafefe, faʻatasi ai ma le fua faʻafefe 2 i le 5 taimi o metala. Pe a tuʻuina atu le vibration i fafo i le faavae maʻa, o le feteʻenaʻiga i le va o tioata minerale i totonu e liua ai le malosi o le vibration i le vevela malosi mo le faʻafefe, lea e mafai ona faʻaitiitia ai le vibration i se taimi puʻupuʻu, e mafai ai e le masini photolithography ona vave faʻafoʻisia le mautu ma aloese mai le faʻafefe poʻo le misalignment o le ata photolithography ona o le vibration.
Mautu o vaila'au: O le "Ta'ita'i" o se Si'osi'omaga Mama
O totonu o se masini photolithography e faʻafesoʻotaʻi ma faʻasalalauga vailaʻau eseese, ma o mea uʻamea masani e faigofie ona pala poʻo le tuʻuina atu o vaega. Granite e aofia ai minerale e pei ole quartz ma feldspar. O lo'o i ai mea tau kemikolo mautu ma malosi fa'afefete. A uma ona fa'asusu i vaifofo oona ma alkali, e matua la'ititi lava le pala. I le taimi nei, o lona fausaga mafiafia e toetoe lava a leai ni otaota poʻo se pefu, faʻafeiloaʻi manaʻoga o tulaga maualuga o potu mama ma faʻaitiitia ai le lamatiaga o le faʻaleagaina o wafer.
Fa'atonuga fetuutuuna'i: O le "mea lelei" mo le faia o fa'ailoga sa'o
O vaega autu o le masini photolithography e manaʻomia ona faʻapipiʻi i luga o se faʻamatalaga maualuga maualuga. O le totonugalemu o le maamora e toniga ma e faigofie ona faʻatautaia i le maualuga maualuga e ala i le oloina, faʻalelei ma isi auala. O lona mafolafola e mafai ona oʻo atu i le ≤0.5μm / m, ma le maualuga o le Ra o le ≤0.05μm, e maua ai se faʻavae faʻapipiʻi saʻo mo vaega e pei o tioata mata.
Umi le ola ma le tausiga-sa'oloto: O "mea faigaluega ma'ai" mo le fa'aitiitia o tau
Pe a faatusatusa i mea uʻamea e faigofie ona vaivai ma taʻe i luga o se taimi umi faaaogaina, maamora seasea oo i le palasitika deformation po o gau i lalo o avega masani, ma e le manaʻomia togafitiga luga, ma aloese mai le tulaga lamatia o le paʻu paʻu ma contamination. I faʻatinoga faʻatinoga, pe a uma ona faʻaaogaina mo le tele o tausaga, o faʻataʻitaʻiga autu o faʻatinoga o le faavae maʻamora e mafai lava ona tumau mausali, faʻaitiitia le tau o le faʻaogaina ma le tausiga o meafaigaluega.
Mai le mautu vevela, vibration tetee i kemikolo inertness, o le tele o uiga o le faavae maamora fetaui atoatoa manaoga o le masini photolithography. A'o fa'aauau pea ona fa'atupuina le fa'agasologa o le gaosiga o va'a aga'i i le sa'o maualuga atu, o le a fa'aauau pea ona fa'atino e fa'avae ma'amora se sao e le mafai ona suia i le tulaga o le gaosiga o semiconductor.
Taimi meli: Me-20-2025