Mai le faʻalavelave faʻaeletoronika i le fetaui lelei o le masini e faʻaaogaina ai le masini e aveese ai le ea: O le le mafai ona suia o faʻavae granite i masini lithography.

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I le matata o le gaosiga o semiconductor, i le avea ai ma meafaigaluega autu e fuafua ai le sa'o o le faagasologa o le gaosiga o chip, o le mautu o le siosiomaga i totonu o le masini photolithography e matua taua tele. Mai le fa'aosofia o le puna o le malamalama ultraviolet e o'o atu i le fa'agaoioiga o le nanoscale precision motion platform, e leai se eseesega itiiti i so'otaga uma. O fa'avae granite, fa'atasi ai ma se fa'asologa o meatotino tulaga ese, e fa'aalia ai le lelei e le mafaatusalia i le fa'amautinoaina o le fa'agaoioiga mautu o masini photolithography ma le fa'aleleia atili o le sa'o o le photolithography.
Fa'atinoga mata'ina o le puipuiga eletise
O totonu o se masini photolithography ua tumu i se siosiomaga eletise lavelave. O le fa'alavelave eletise (EMI) e mafua mai i vaega e pei o puna malamalama ultraviolet ogaoga, afi fa'aeletise, ma sapalai eletise maualuga, afai e le pulea lelei, o le a matua a'afia ai le fa'atinoga o vaega eletise sa'o ma faiga opitika i totonu o le masini. Mo se fa'ata'ita'iga, o le fa'alavelave e ono mafua ai ni nai eseesega laiti i mamanu photolithography. I faiga gaosiga fa'apitoa, e lava lea e ta'ita'i atu ai i feso'ota'iga sese o transistor i luga o le chip, ma fa'aitiitia ai le fua o le chip.
O le Granite o se mea e le o se u'amea ma e le fa'atautaia e ia lava le eletise. E leai se mea e mafua mai i le fa'aosoina o le eletise e mafua mai i le gaioiga o eletise saoloto i totonu e pei o mea u'amea. O lenei uiga e avea ai ma se tino puipuia eletise masani, lea e mafai ona poloka lelei ai le ala o le fesiitaiga o le fa'alavelave eletise i totonu. Pe a sosolo atu le fanua fa'amagnetise fesuia'i e mafua mai i le puna fa'alavelave eletise mai fafo i le fa'avae o le granite, talu ai o le granite e le o se maneta ma e le mafai ona fa'amagnetiseina, e faigata ona ulu atu i le fanua fa'amagnetise fesuia'i, ma puipuia ai vaega autu o le masini photolithography o lo'o fa'apipi'i i le fa'avae, e pei o masini fa'apitoa ma masini fetu'una'i tioata opitika, mai le a'afiaga o le fa'alavelave eletise ma fa'amautinoa ai le sa'o o le fesiita'iga o mamanu i le taimi o le fa'agasologa o le photolithography.

Feso'ota'iga lelei tele i le masini e fa'amama ai le ea
Ona o le malamalama ultraviolet mata'utia (EUV) e faigofie ona mitiia e mea uma, e aofia ai le ea, e tatau i masini EUV lithography ona fa'agaoioia i se siosiomaga vacuum. I le taimi nei, e matua taua tele le fetaui o vaega o masini ma le siosiomaga vacuum. I totonu o se vacuum, e mafai e meafaitino ona liu suavai, fa'amamago ma fa'asa'oloto le kesi. O le kesi ua fa'asa'olotoina e le gata ina mitiia le malamalama EUV, ma fa'aitiitia ai le malosi ma le lelei o le fesiita'iga o le malamalama, ae mafai fo'i ona fa'aleagaina tioata opitika. Mo se fa'ata'ita'iga, e mafai e le ausa o le vai ona fa'a'o'osa tioata, ma e mafai e hydrocarbons ona fa'aputu vaega o le kaponi i luga o tioata, ma a'afia ai le lelei o le lithography.
E mautu uiga fa'akemikolo o le Granite ma e seasea ona fa'asa'olotoina le kesi i se siosiomaga e leai se eletise. E tusa ai ma su'ega fa'apolofesa, i se siosiomaga e leai se eletise o le masini photolithography fa'ata'ita'i (e pei o le siosiomaga e leai se eletise e sili ona mama lea o lo'o i ai le faiga fa'amalamalamaina opitika ma le faiga fa'ata'ita'i opitika i le potu autu, e mana'omia ai le H₂O < 10⁻⁵ Pa, CₓHᵧ < 10⁻⁷ Pa), o le fua fa'atatau o le alu ese o le kesi o le fa'avae granite e matua maualalo lava, e matua maualalo lava nai lo isi mea e pei o u'amea. O lenei mea e mafai ai e totonu o le masini photolithography ona tausia se tulaga maualuga o le leai o se eletise ma le mama mo se taimi umi, ma fa'amautinoa ai le maualuga o le fesiitaiga o le malamalama EUV i le taimi o le fesiitaiga ma se siosiomaga e sili ona mama mo tioata opitika, fa'alauteleina le umi o le tautua o le faiga opitika, ma fa'aleleia atili ai le fa'atinoga atoa o le masini photolithography.
Tete'e malosi i le gatete ma le mautu i le vevela
I le taimi o le faagasologa o le photolithography, o le sa'o i le tulaga nanometer e mana'omia ai le masini photolithography e le tatau ona i ai sina gatete po'o se fa'aleagaina o le vevela. O gatete o le siosiomaga e mafua mai i le fa'agaoioiga o isi masini ma le gaioiga a tagata faigaluega i le fale faigaluega, fa'apea fo'i ma le vevela e gaosia e le masini photolithography lava ia i le taimi o le fa'agaoioiga, e ono fa'alavelave uma i le sa'o o le photolithography. O le Granite e maualuga le mafiafia ma se foliga ma'a'a, ma e matua'i tete'e atu i le gatete. O lona fausaga i totonu o le mineral crystal e la'ititi, lea e mafai ona fa'aitiitia lelei le malosi o le gatete ma vave taofia le sosolo o le gatete. O fa'amaumauga fa'ata'ita'i e fa'aalia ai i lalo o le puna gatete lava e tasi, e mafai e le fa'avae granite ona fa'aitiitia le malosi o le gatete e sili atu i le 90% i totonu ole 0.5 sekone. Pe a fa'atusatusa i le fa'avae u'amea, e mafai ona toe fa'afo'isia le mautu o le masini i se taimi vave, ma fa'amautinoa ai le tulaga sa'o i le va o le tioata photolithography ma le wafer, ma 'alofia ai le fa'anenefu o mamanu po'o le sese o le fa'atulagaina e mafua mai i le gatete.
I le taimi nei, o le coefficient o le faʻalauteleina o le vevela o le granite e matua maualalo lava, pe tusa ma le (4-8) ×10⁻⁶/℃, lea e matua maualalo lava nai lo mea uʻamea. I le taimi o le faʻagaoioiga o le masini photolithography, e tusa lava pe fesuisuiaʻi le vevela i totonu ona o mea e pei o le vevela mai le puna o le malamalama ma le feteʻenaʻiga mai vaega faʻainisinia, e mafai e le faʻavae granite ona faʻatumauina le mautu o le fua ma o le a le oʻo i se faʻaletonu tele ona o le faʻalauteleina ma le faʻapuʻupuʻuina o le vevela. E maua ai le lagolago mautu ma le faʻatuatuaina mo le faiga opitika ma le faʻavae o gaioiga saʻo, ma tausia ai le tutusa o le saʻo o le photolithography.