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I le tulaga o le gaosiga o le semiconductor, e pei o meafaigaluega autu e fuafua ai le saʻo o le gaosiga o le gaosiga, o le mautu o le siosiomaga i totonu o le masini photolithography e taua tele. Mai le faʻafiafiaina o le faʻapogai o le malamalama ultraviolet tele i le faʻaogaina o le nanoscale precision motion platform, e le mafai ona i ai sina faʻasesega i soʻotaga uma. Fa'avae Granite, fa'atasi ai ma se fa'asologa o mea fa'apitoa, fa'aalia tulaga lelei e le mafaatusalia i le fa'amautinoaina o le fa'agaioiga mautu o masini ata fa'ata'ita'i ma fa'aleleia le sa'o o ata. ;
Mata'ina le faatinoga o le talipupuni electromagnetic
O totonu o se masini photolithography ua tumu i se siosiomaga electromagnetic lavelave. Electromagnetic interference (EMI) faʻatupuina e vaega e pei o faʻapogai malamalama tele ultraviolet, taʻavale afi, ma sapalai eletise maualuga, pe a le pulea lelei, o le a matua aʻafia ai le faʻatinoina o mea faʻaeletoroni saʻo ma masini faʻapipiʻi i totonu o meafaigaluega. Mo se fa'ata'ita'iga, o le fa'alavelave e ono fa'atupu ai ni fa'aletonu la'ititi i ata fa'ata'oto. I fa'agasologa o le gaosiga o gaosiga, ua lava lea e ta'ita'ia ai feso'ota'iga transistor le sa'o i luga o le pu, ma fa'aitiitia ai le gaosiga o le chip. ;
O le Granite o se mea e le u'amea ma e le fa'auluina e ia lava le eletise. E leai se mea e fa'aosoina ai le electromagnetic e mafua mai i le fegasoloa'i o electrons saoloto i totonu e pei o mea u'amea. O lenei uiga e avea o se tino fa'anatura electromagnetic talipupuni, lea e mafai ona poloka lelei le ala felauaiga o fa'alavelave electromagnetic totonu. Pe a oʻo atu le faʻaogaina o le maneta e ala i le faʻalavelave faʻalavelave faʻafuaseʻi i fafo, ona o le maamora e le maneta ma e le mafai ona faʻamaneta, e faigata ona ulu le faʻaogaina o le maneta, ma puipuia ai vaega autu o le masini photolithography faʻapipiʻiina i luga o le faʻavae, e pei o masini saʻo ma masini fetuutuunaiga tioata, mai le faʻalavelave faʻafefe o le faʻaogaina o le faʻaogaina o le eletise. fa'agasologa o ata. ;
Lelei le fetaui lelei
Talu ai ona o le tele o le malamalama ultraviolet (EUV) e faigofie ona mitiia e mea uma, e aofia ai le ea, e tatau ona faagaoioia masini lithography EUV i totonu o se siosiomaga gaogao. I le taimi nei, o le fetaui lelei o mea faigaluega ma le vacuum environment e matua taua lava. I totonu o se masini gaogao, o mea e mafai ona solo, fa'afefe ma fa'asa'oloto le kesi. O le kesi fa'amatu'u e le gata e mitiia ai le malamalama o le EUV, fa'aitiitia ai le malosi ma le lelei o le felauaiga o le malamalama, ae mafai fo'i ona fa'aleagaina tioata mata. Mo se faʻataʻitaʻiga, e mafai e le ausa o le vai ona faʻamaʻapeina tioata, ma e mafai e hydrocarbons ona teuina ni kaponi i luga o tioata, e matua afaina ai le lelei o le lithography. ;
O le Granite o lo'o i ai mea tau kemisi mautu ma e seasea tu'uina atu le kesi i se si'osi'omaga gaogao. E tusa ai ma suʻesuʻega faʻapolofesa, i totonu o se siʻosiʻomaga gaogao masini photolithography faʻataʻitaʻiina (e pei o le ultra-mama mama siosiomaga lea o loʻo i ai le faʻamalamalamaina o le masini faʻapipiʻi ma ata faʻataʻitaʻiga i totonu o le potu autu, e manaʻomia ai le H₂O <10⁻⁵ Pa, CₓHᵧ <10⁻⁷ Pa, e sili atu le maualalo o mea e pei o isi mea e sili atu le maualalo nai lo isi mea e sili atu ona maualalo. metala. O lenei mea e mafai ai e totonu o le masini photolithography ona faatumauina se maualuga maualuga ma le mama mo se taimi umi, faʻamautinoaina le maualuga o le transmittance o le EUV malamalama i le taimi o le faʻasalalauga ma se siosiomaga faʻaogaina ultra-mama mo tioata mata, faʻalauteleina le ola tautua o le masini faʻapipiʻi, ma faʻaleleia le faʻatinoga atoa o le masini photolithography. ;
Malosi o le tete'e ma le mafanafana
I le faagasologa o le photolithography, o le saʻo i le nanometer level e manaʻomia ai le masini photolithography e le tatau ona i ai sina vibration poʻo le vevela. Tetete o le siosiomaga e mafua mai i le faʻaogaina o isi masini ma gaioiga a le aufaigaluega i totonu o le mafutaga faaleaoaoga, faʻapea foʻi ma le vevela e gaosia e le masini photolithography lava ia i le taimi o le gaioiga, e ono faʻalavelave uma i le saʻo o le photolithography. O le Granite e maualuga lona mamafa ma se mea faigata, ma e sili ona lelei le teteʻe. O lona fausaga tioata minerale i totonu e faʻapipiʻi, lea e mafai ona faʻaitiitia ai le malosi o le vibration ma faʻavave vave ona faʻasalalau le vibration. Faʻamatalaga faʻataʻitaʻiga o loʻo faʻaalia ai i lalo o le puna e tasi o le vibration, e mafai e le maamora ona faʻaitiitia le amplitude vibration e sili atu i le 90% i totonu ole 0.5 sekone. Pe a faʻatusatusa i le faʻavae uʻamea, e mafai ona toe faʻafoʻisia meafaigaluega i le mautu vave, faʻamautinoa le tulaga saʻo i le va o le tioata photolithography ma le wafer, ma aloese mai le faʻanenefu o mamanu poʻo le misalignment e mafua mai i le vibration. ;
I le taimi nei, o le coefficient o le faʻalauteleina o le vevela o le maamora e matua maualalo lava, e tusa ma le (4-8) × 10⁻⁶ / ℃, lea e sili atu le maualalo nai lo mea o mea uʻamea. I le taimi o le faʻaogaina o le masini photolithography, e tusa lava pe fesuisuiaʻi le vevela i totonu ona o mea taua e pei o le vevela mai le puna malamalama ma feteʻenaʻiga mai vaega faʻainisinia, e mafai e le maʻa maʻa ona faatumauina le mautu ma o le a le oʻo i se suiga tele ona o le faʻalauteleina o le vevela ma le faʻaitiitia. E maua ai le lagolago mautu ma le fa'atuatuaina mo le fa'aogaina o le masini ma le fa'atonuga fa'apolopolo, fa'amausaliina le sa'o sa'o o le photolithography.
Taimi meli: Me-20-2025