I le matata o gaosiga maualuluga ma suʻesuʻega faasaienisi faʻaonaponei, o le vaega gaioiga saʻo atoatoa o le ea opeopea ua avea ma meafaigaluega autu mo le faʻagaioiga lelei ma le fuaina faʻatasi ai ma lana faʻatinoga saʻo lelei. O le faʻavae saʻo o le granite, o le autu lagolago, e iai manaʻoga faʻapitoa mo le siosiomaga faigaluega, ma o tulaga talafeagai o le siosiomaga o le faʻavae lea e faʻamautinoa ai lana faʻatinoga mautu ma le aʻafiaga sili ona lelei.
Muamua, pulea o le vevela: "fa'amautu" sa'o
E ui lava ina lauiloa le granite i lona mautu, ae e lē o atoatoa ona puipuia mai suiga o le vevela. E ui lava e maualalo lona coefficient o le faʻalauteleina o le vevela, e masani lava 5-7 ×10⁻⁶/℃, i tulaga e pulea ai le gaioiga e matua saʻo lava, o suiga laiti o le vevela e mafai lava ona mafua ai suiga o le fua ma aʻafia ai le saʻo o le module. I le fale gaosi oloa semiconductor chip, o le faiga o le lithography e manaʻomia ai le saʻo o le tulaga o le danami, ma o le vevela o le siosiomaga e fesuisuiaʻi i le 1 ° C, ma o le faʻavae granite e 1 mita le umi o le itu e mafai ona maua ai se faʻalauteleina laina poʻo se faʻapuʻupuʻu o le 5-7 microns. O lenei suiga laʻititi e tuʻuina atu e le ultra-precision motion module o le air float, lea e lava e faia ai le chip lithography pattern deviation ma faʻaitiitia tele ai le yield. O le mea lea, o le fa'apipi'iina i le fa'avae sa'o o le granite o le ea opeopea ultra-precision motion module, e tatau ona pulea le vevela lelei o le siosiomaga faigaluega i le 20 ° C ± 1 ° C, fa'atasi ai ma le fesoasoani a masini vevela tumau maualuga, e pei o le vevela tumau ma le susu o le ea malulu, mata'ituina pea ma fetu'una'i le vevela o le si'osi'omaga, ia mautinoa o le suiga o le vevela i se vaega la'ititi, tausia le mautu o le tele o le fa'avae, ia mautinoa o le fa'agaoioiga maualuga o le module.
Lua, pulega o le susū: o le ki i le puipuiga e tete'e atu i le susu "ma'a"
O le susū o se isi mea taua e aʻafia ai le faʻatinoga o le faʻavae granite saʻo. I se siosiomaga e maualuga le susū, e faigofie ona mitiia e le granite le ausa vai, lea e ono mafua ai le faʻaputuina i luga o le fogaeleele, lea e le gata ina aʻafia ai le mautu o le fesoʻotaʻiga o le granite ma le ultra-precision motion module o le air float, ae e ono mafua ai foʻi ona faʻaleagaina le fogaeleele ma faʻaitiitia ai le pupula ma le saʻo i le lumanaʻi. I le fale faigaluega olo tioata opitika, afai e maualuga atu le susū i le 60%RH mo se taimi umi, o le ausa vai e pipii i luga o le fogaeleele o le granite o le a faʻalavelave i le gaioiga o le gas float slider, o lea e faʻaitiitia ai le saʻo o le oloina o tioata, ma faʻaletonu ai le fogaeleele. O le mea lea, e tatau ona pulea lelei le susū o le siosiomaga faigaluega i le va o le 40%-60%RH, lea e mafai ona mataʻituina ma fetuʻunaʻi i le taimi moni e ala i le faʻapipiʻiina o mea e faʻamamago ai le susu, masini suʻesuʻe susū ma isi masini e ʻalofia ai le faʻaleagaina o le faʻavae granite ona o le maualuga o le susū, ma faʻamautinoa le sologa lelei o le faʻagaioiga o le ultra-precision motion module o le air float.
Tolu, fa'amautinoaga o le mama: o le "leoleo" o le sa'o
E lē mafai ona fa’atauva’aina le fa’aleagaina o le efuefu i le fa’avae granite sa’o o le ultra-precision motion module o le air flotation. O le taimi lava e ulufale ai ni vaega laiti i le va o le kesi film va i le va o le kesi float slider ma le fa’avae granite, e ono fa’aleagaina ai le tutusa o le kesi film, fa’ateleina ai le fete’ena’iga, ma e o’o lava i le valuina o le fogā’ele’ele, ma i’u ai ina fa’aitiitia le sa’o o le gaioiga. I le fale faigaluega masini sa’o tele o vaega o le va’alele, afai e pa’u’ū vaega efuefu i le ea i luga o le fa’avae granite, e ono fa’aletonu le ala o le gaioiga a le meafaigaluega masini, ma a’afia ai le sa’o o le masini o vaega. O le mea lea, e tatau ona tausia le nofoaga faigaluega ia matuā mamā, ia o’o atu i le 10,000 pe sili atu fo’i tulaga o le mamā, e ala i le fa’apipi’iina o meafaigaluega fa’amamāina o le ea, e pei o le high-effective air filters (HEPA), fa’amamā ese vaega efuefu i le ea, i le taimi lava e tasi, e mana’omia e le aufaigaluega ona ofuina ni lavalava e leai se efuefu, ufiufi seevae, ma isi mea, e fa’aitiitia ai le efuefu e aumaia e tagata. Tausia le siosiomaga fa’agaoioia maualuga o le granite base ma le air float ultra-precision motion module.
Fa, vavaeesega o le gatete: faagaoioiga lamolemole o le "shock pad"
O le gatete mai fafo o le fili lea o le sa'o o le module gaioiga sili ona sa'o o le ea float. E ui o le fa'avae granite sa'o e iai sona gafatia fa'aitiitia le gatete, ae o le gatete malosi e ono solia lava lona tapula'a puipuia. O le gatete e mafua mai i feoa'iga i totonu o le fale gaosi oloa ma le fa'agaioiga o masini tetele e tu'uina atu i le fa'avae granite e ala i le eleele, lea o le a fa'alavelave ai i le sa'o o le gaioiga o le module gaioiga sili ona sa'o o le ea float. I le CMM maualuga, e mafai e le gatete ona mafua ai ona le mautu le fesoota'iga i le va o le mea e fuaina ma le mea faigaluega e fuaina, ma i'u ai i le se ese o fa'amaumauga o le fuaina. Ina ia foia lenei fa'afitauli, e tatau ona fa'aaogaina ni auala lelei e vavae'ese ai le gatete, e pei o le fa'atulagaina o pads vavae'ese gatete i le nofoaga e fa'apipi'i ai masini, fausiaina o le fa'avae vavae'ese gatete, po'o le fa'aogaina o le faiga vavae'ese gatete malosi e fa'aitiitia ai le gatete mai fafo, ma fausia ai se siosiomaga faigaluega filemu ma mautu mo le fa'avae sa'o granite ma le module gaioiga sili ona sa'o o le ea float.
E na'o le fa'ataunu'uina atoatoa o mana'oga o le siosiomaga e pei o le vevela, susū, mama ma le pulea o le gatete, e mafai ai e le fa'avae sa'o o le granite o le ultra-precision motion module o le air float ona fa'atino atoatoa ona lelei i le fa'atinoga, maua ai se fa'amaoniga fa'atuatuaina mo galuega fa'atino sa'o tele i vaega eseese, ma fesoasoani i le alamanuia e agai atu i se tulaga maualuga o le gaosiga ma su'esu'ega fa'asaienisi.
Taimi na lafoina ai: Ape-08-2025