I le tulaga o le gaosiga maualuga ma suʻesuʻega faʻasaienisi pito sili ona lelei, o le ultra-precision motion module o le ea faʻafefeteina ua avea ma meafaigaluega autu mo le faʻaogaina lelei ma le fuaina ma lona faʻatinoga saʻo lelei. O le faavae saʻo maamora, e pei o le lagolago autu, o loo i ai manaoga faapitoa mo le siosiomaga faigaluega, ma o tulaga talafeagai siosiomaga o le faavae e mautinoa ai lona faatinoga mautu ma le aafiaga sili.
Muamua, pulea le vevela: sa'o "stabilizer"
E ui ina lauiloa le maamora mo lona mautu, e le puipuia atoatoa i suiga o le vevela. E ui lava e maualalo lona fa'asologa o le fa'alauteleina o le vevela, e masani lava 5-7 × 10⁻⁶ / ℃, i fa'ata'ita'iga fa'atonuga sili ona sa'o, fe'avea'i maaleale o le vevela e ono mafua ai suiga tetele ma a'afia ai le sa'o o le module. I totonu o le semiconductor chip gaosiga aʻoaʻoga, o le lithography faagasologa e manaʻomia ai se tulaga saʻo tulaga danami, ma o le vevela o le ambient e fesuisuiaʻi i le 1 ° C, ma o le faʻavae maamora ma le umi o le itu o le 1 mita e mafai ona maua ai se faʻalauteleina laina poʻo le faʻaitiitia o 5-7 microns. O lenei suiga la'ititi o lo'o tu'uina atu e le ultra-precision motion module o le ea opeopea, lea e lava e faia ai le va'aiga mamanu lithography chip ma fa'aitiitia ai le fua. O le mea lea, faʻapipiʻiina i le maʻamea faʻavae saʻo o le ea opeopea ultra-saʻo gaioiga module, e tatau ona pulea lelei le vevela o le siosiomaga galue i le 20 ° C ± 1 ° C, faatasi ai ma le fesoasoani a le maualuga-saʻo meafaigaluega vevela faifai pea, e pei o le vevela faifai pea ma le susū ea malulu faiga, mataʻituina pea ma fetuutuunai o le vevela ambient, ina ia mautinoa o le fesuiaiga o le vevela i se tulaga maualuga tele, faʻamautinoaina le faʻaogaina o le maualuga o le faʻaogaina, faʻamautinoa le faʻaogaina o le maualuga o le faʻaogaina, faʻamautinoaina le faʻaogaina o le maualuga o le faʻaogaina, faʻamautinoaina le faʻaogaina o le maualuga o le faʻaogaina, faʻamautinoaina le faʻaogaina o le maualuga o le faʻaogaina.
Lona lua, puleaina o le susu: o le ki i le puipuiga o le susu-faʻamaonia "maʻa"
O le susu o le isi mea taua e aʻafia ai le faʻatinoina o le faʻavae maamora saʻo. I se siosiomaga maualuga susū, maamora e faigofie ona mitiia ausa vai, lea e mafai ona taitai atu ai i condensation i luga o le fogaeleele, lea e le gata e aafia ai le mautu o le sootaga o le maamora ma le ultra-saʻo le gaioiga module o le ea opeopea, ae e mafai foi ona mafua ai le tafia luga ma faaitiitia le susulu ma le saʻo i le taimi umi. I totonu o le faleaoga tioata tioata, pe afai e maualuga atu le susu nai lo le 60% RH mo se taimi umi, o le ausa vai o loʻo faʻapipiʻiina i luga o le maamora o le a faʻalavelave i le gaioiga o le kasa faʻafefeteina, ina ia faʻaitiitia le saʻo o le tioata, ma faʻaletonu le pito i luga. O le mea lea, e tatau ona pulea lelei le susū o le siosiomaga faigaluega i le va o le 40% -60% RH, lea e mafai ona mataʻituina ma fetuutuunai i le taimi moni e ala i le faʻapipiʻiina o dehumidifiers, masini susū ma isi meafaigaluega e aloese ai mai le faʻaleagaina o le maʻamea ona o le maualuga o le susu, ma faʻamautinoa le faʻagaioiina o le faʻaogaina o le ultra-precision motion module o le ea.
Lona tolu, faʻamautinoaga mama: o le "leoleo" o le saʻo
Le afaina o vaega efuefu i le faavae maamora saʻo o le ultra-sao atoatoa module o flotation ea e le mafai ona manatu faatauvaa. O le taimi lava e ulu atu ai ni vaega laiti i totonu o le va o le kesi fa'ameamea i le va o le kesi fa'ameamea ma le fa'avae maamora, e mafai ona latou fa'aleagaina le tutusa o le kasa, fa'ateleina le fete'ena'iga, ma e o'o lava ina valuvalusia luga o le fa'avae, e fa'aitiitia ai le sa'o o gaioiga. I totonu o le aʻoaʻoga faʻapipiʻi ultra-saʻo o vaega aerospace, pe a pa'u le efuefu vaega i le ea i luga o le maamora faavae, o le ala savali o le masini masini e mafai ona faaseseina, e aafia ai le sao atoatoa machining o vaega. O le mea lea, e tatau ona tausia lelei le nofoaga o galuega, e oʻo atu i le 10,000 poʻo le maualuga maualuga o tulaga mama, e ala i le faʻapipiʻiina o mea e faʻamamaina ai le ea, e pei o le faʻamamaina o le ea (HEPA), faʻamama ese le pefu i le ea, i le taimi lava e tasi, e manaʻomia e le aufaigaluega ona ofuina ni lavalava e leai se pefu, seevae seevae, ma isi, e faʻaitiitia ai le pefu e aumai e tagata. Fa'atumauina sa'o maualuga le si'osi'omaga fa'agaioiga o le fa'avae ma'amora ma le ea fa'alele ultra-sao'iga module.
Fa, vaeluaga o le vibration: fa'agaioiga lelei o le "papa te'i"
O le vibration i fafo o le fili o le saʻo o le ultra-saʻo motion module o le ea opeopea. E ui lava o le faavae maamora sa'o ei ai se malosi attenuation vibration, o le vibration maualuga-malosi e mafai lava ona motusia lona tapulaa pa. O le vibration o loʻo faʻatupuina e ala i le taʻavale i totonu o le fale gaosimea ma le faʻaogaina o masini masini tetele e tuʻuina atu i le maamora faavae e ala i le eleele, lea o le a faʻalavelaveina le saʻo o le gaioiga o le ultra-precision motion module o le ea faʻafefe. I le maualuga CMM, vibration e mafai ona mafua ai le faʻafesoʻotaʻi i le va o le fua suʻesuʻe ma le mea faigaluega e fuaina ina ia le mautu, e mafua ai le faʻaseseina o faʻamaumauga o fua. Ina ia foia lenei faafitauli, e tatau ona faʻaaogaina faiga faʻamavaega lelei, e pei o le faʻapipiʻiina o pads vavae ese i le nofoaga faʻapipiʻi meafaigaluega, fausiaina o le faʻavaeina o le faʻavaeina o le vibration, poʻo le faʻaogaina o le faʻamavaeina o le vibration malosi e faʻafefe ai le vibration i fafo, ma fatuina se siosiomaga galue filemu ma mautu mo le maʻa maa maa faʻanofoa ultra-saʻo module gaioiga.
E naʻo le faʻamalieina atoatoa o le siosiomaga o manaʻoga o le vevela, susu, mama ma le vibration pulea, o le maʻamea saʻo faavae o le ultra-saʻo motion module o le vaʻa ea e mafai ona tuʻuina atu le taʻaloga atoatoa i ona faʻatinoga lelei, tuʻuina atu faʻamautinoaga faʻamaonia mo le ultra-saʻo faʻagaioiga i vaega eseese, ma fesoasoani i le alamanuia e agai atu i se tulaga maualuga o gaosiga ma suʻesuʻega faasaienisi.
Taimi meli: Apr-08-2025