Su'esu'ega auala mo le mafolafola o maamora tulaga sa'o.

I totonu o le fanua o le gaosiga saʻo ma suʻesuʻega faasaienisi, o le maʻaleʻale o faʻamaufaʻailoga saʻo maamora o se faʻailoga autu e faʻamautinoa ai le saʻo o meafaigaluega. O lo'o i lalo se fa'amatalaga au'ili'ili i le tele o metotia fa'apitoa e su'esu'eina ma latou fa'agaioiga mo oe. ;
I. Laser interferometer Su'esu'ega metotia
O le laser interferometer o le meafaigaluega e sili ona lelei mo le suʻesuʻeina mafolafola maualuga. Ave le ZYGO GPI XP laser interferometer e fai ma faʻataʻitaʻiga, o lona iuga e mafai ona oʻo i le 0.1nm. Pe a faʻatautaia le suʻesuʻega, faʻaoga muamua le puna malamalama o le interferometer ma le faʻavae ma vaevae le faʻavae i luga o le 50mm × 50mm vaega faʻasologa. Mulimuli ane, o faʻamatalaga faʻalavelave faʻalavelave na aoina i lea itu ma lea itu, ma faʻapipiʻi ma suʻesuʻeina faʻamatalaga e faʻaaoga ai le Zernike polynomial e maua ai le mea sese. O lenei metotia e faʻaoga i tulaga maualuga-saʻo ma e mafai ona iloa mea sese o le ≤0.5μm/m². E masani ona faʻaaogaina i le suʻesuʻeina o masini photolithography ma tulaga maualuga e tolu-faamaopoopo masini fua. ;
Ii. Metotia Fa'asologa Fa'asologa Fa'aeletonika
Ole su'esu'ega fa'aeletonika e faigofie ona fa'agaoioia ma sili ona lelei. O le tulaga faaeletonika TESA A2 (faatasi ai ma se iugafono o le 0.01μm / m) na filifilia ma faʻatulagaina i se laina 9 × 9 i luga o le X / Y axis direction o le tulaga. E ala i le aoina faʻatasi o faʻamatalaga tuʻinanau o laʻasaga taʻitasi ona faʻaaogaina lea o le metotia sikuea aupito itiiti mo le faʻatusatusaga, e mafai ona maua saʻo le tau mafolafola. O lenei auala e mafai ona iloa lelei le concavity i le lotoifale ma convexity tulaga o le tulaga. Mo se faʻataʻitaʻiga, o se fesuiaiga o le 0.2μm i totonu o le 50mm e mafai foi ona iloa, lea e talafeagai mo le vave iloa i le gaosiga tele. ;
iii. Metotia tioata mafolafola Optical
O le auala tioata tioata mafolafola opitika e talafeagai mo le suʻesuʻeina o faʻavae vaega laiti. Fa'apipi'i mau le tioata mafolafola fa'apitoa i luga e fa'ata'ita'i i luga o le fa'avae ma mata'ituina le fa'alavelave fa'alavelave o lo'o faia i le va i lalo o le fa'amalamaina o se fa'apogai malamalama (pei o le lamepa sodium). Afai o ta'i o laina sa'o tutusa, e ta'u mai ai le mafolafola lelei. Afai e aliali mai ni ta'i fa'afefete, fa'atatau le sese mafolafola e fa'atatau i le tikeri o le pi'o o laina. O laina taʻavale taʻitasi e faʻatusalia ai se eseesega maualuga o le 0.316μm, ma e mafai ona maua faʻamatalaga mafolafola e ala i le liua faigofie. ;
Fa. Tolu-faamaopoopo Fua masini Suʻega metotia
O le tolu-faamaopoopoina fua masini e mafai ona ausia maualuga-saʻo fua i le tolu-dimensional avanoa. Tuu le maamora tulaga i luga o le laulau galue o le masini fua ma faaaoga le su'esu'e e tutusa le aoina mai o faamatalaga mai le tele o vaega fua i luga o le tulaga. Ole faiga ole fuaina ole masini e fa'agasolo ma au'ili'ili nei fa'amaumauga e maua ai se lipoti mafolafola ole tulaga. O lenei auala e le gata e mafai ona iloa mafolafola, ae maua ai foi isi ta'iala geometric o le tulaga i le taimi lava e tasi, ma e talafeagai mo le su'esu'eina atoatoa o fausaga tetele maamora. ;
O le a'oa'oina o nei metotia su'esu'e e mafai ona fesoasoani ia te oe e iloilo sa'o ai le fa'amafolafola o le maamora sa'o fa'avae ma tu'uina atu se fa'amaoniga mautinoa mo le fa'agaioiga mautu o meafaigaluega sa'o.