Le Fua'iga Sa'o i le gaosiga semiconductor: Pe a fetaui maamea tekinolosi micron
1.1 Maua fa'afuase'i i mea fa'asaienisi
E tusa ai ma le lipoti a le 2023 SEMI International Semiconductor Association, o le 63% o fale gaosi oloa a le lalolagi ua amata ona faʻaogaina faʻavae maʻamu nai lo faʻavae uʻamea masani. O lenei maʻa masani, lea e afua mai i le magma condensation loloto i le lalolagi, o loʻo toe tusia le talaʻaga o le gaosiga o le semiconductor ona o ona uiga faʻapitoa faʻapitoa:
Le lelei o le inertia vevela: o le faʻalauteleina o le vevela o le maamora 4.5 × 10⁻⁶ / ℃ e naʻo le 1/5 o le uʻamea uʻamea, ma le tulaga mautu o le ± 0.001mm o loʻo tausia i le galuega faifaipea a le masini lithography.
Uiga fa'afefete o le vibration: o le fa'aogaina o le fete'ena'iga i totonu e 15 taimi e sili atu nai lo le u'amea lafo, fa'aoga lelei masini micro-vibration.
Zero magnetization natura: faʻaumatia atoa le mea sese i le laser fua
1.2 O le femalagaiga fa'atusa mai lo'u i le fab
O le avea o se fa'ata'ita'iga a le ZHHIMG i Shandong, o se fasi ma'amora mata e mana'omia ona faia:
Ultra-saʻo machining: lima-axis sootaga machining nofoaga autu mo le 200 itula o le vili faifai pea, roughness luga e oo atu i Ra0.008μm
Togafitiga faʻatagata matua: 48 itula o faʻamaʻi faʻamaʻi faʻale-aganuʻu i le aʻoga tumau o le vevela ma le susu, lea e faʻaleleia ai le mautu o le oloa e 40%
Lona lua, ta'e le ono sa'o fa'afitauli o le gaosiga o le semiconductor "fofo papa"
2.1 Fuafuaga fa'aitiitiga fua fa'atatau o le va'aiga
Tulaga fa'ata'ita'iga: Ina ua mae'a le su'eina o kesi i Siamani, fa'aaoga la tatou kasa fa'afefete ma'amora:
| O le lautele o le apa | fa'aitiitiga fua o chip | faaleleia mafolafola |
| 12 inisi | 67% | ≤0.001mm |
| 18 inisi | 82% | ≤0.0005mm |
2.2 Fa'asologa o le fa'aogaina o le lithographic sa'o sa'o polokalame fa'atosina
Faiga tau taui vevela: fa'apipi'i masini sima mata'ituina le fesuiaiga o foliga i le taimi moni ma otometi ona fetuutuunai le tulaga fa'aoga.
Fua faʻamatalaga: i lalo ole fesuiaiga ole 28 ℃ ± 5 ℃, o le faʻapipiʻiina saʻo e fesuisuiai i lalo ole 0.12μm
Taimi meli: Mati-24-2025