I le lalolagi o gaosiga maualuluga—lea e faʻaitiitia ai le faʻapalepale i lalo ifo o le 5 microns ma faʻauma ai luga e latalata i le tulaga lelei o le vaʻaia—o meafaigaluega tatou te faʻalagolago i ai e tatau ona faʻaleleia atili nai lo le masani. Mo le tele o tausaga, o le uʻamea ma le granite na pulea ai le laulau o le fuaina o fua. Ae a o faʻagasolo pisinisi e pei o masini semiconductor, vaʻalele optics, ma masini faʻafomaʻi laiti i totonu o vaega e oʻo lava i le vevela o le vevela poʻo le ofuina faʻapitoa e faʻaalia ai se mea sese e le taliaina, o loʻo tulaʻi mai se vasega fou o meafaigaluega faʻasino: o mea na faia e le o faia mai uʻamea poʻo maʻa, ae mai keramika faʻapitoa faʻapitoa.
I le ZHHIMG, ua matou sili atu nai lo le na o le ofoina atuFusi Sa'o Keramikapo'o oloa o le Ceramic Square Ruler. O lo'o matou toe fa'auigaina le mea e mafai ona avea ma se pito sa'o—e ala i le tu'ufa'atasia o mea seramika e matua mautu ma le mamanu fa'aonaponei, e aofia ai la matou Custom Ceramic air floating ruler fou, o se fofo e aveese atoa ai le feso'ota'iga fa'amekanika a'o tu'uina atu ai le toe faia i le tulaga nanometer.
Aiseā e fa'aaogā ai keramika? E amata le tali i le tulaga molecular. E le pei o le u'amea—lea e fa'alauteleina tele pe a vevela—po'o le granite—lea, e ui lava i lona mautu, e tumau pea le porous ma le eseese—o keramika fa'ainisinia e pei o le zirconia-toughened alumina (ZTA) ma le silicon nitride e ofoina atu le porosity e toetoe lava a leai se zero, ma'a'a tulaga ese (1400–1800 HV), ma le thermal expansion coefficients e maualalo e pei o le 3–4 µm/m·°C. O lona uiga o le Ceramic Straight Edge mai le ZHHIMG e fa'atumauina lona geometry i luga o suiga o le vevela lea o le a fa'aletonu ai meafaigaluega masani i le tele o microns.
Ae e le lava na'o meafaitino. O le mea moni e ese ai a matou fua fa'a-seramika o le sa'o o latou gaosiga. Fa'aaogaina le oloina o taimane, fa'apala'au sub-aperture, ma le fa'amaoniga o le laser interferometric i totonu o potu mama ISO Vasega 5, matou te ausia ai le fa'asa'oina o le sa'o e sili atu nai lo le 0.8 µm i luga ole 500 mm—ua fa'amaonia e le gata i le taimi e tu'uina atu ai, ae fa'amaumauina i lipoti atoa o le fa'atulagaina e mafai ona su'esu'eina i tulaga fa'atonuina a le NIST ma le PTB. Ta'itasiFua Fa'atafafā Seramikae faia i ai le suega o le perpendicularity e ala i le electronic autocollimation, ma ia mautinoa o loo taofia tulimanu i totonu ole 1 arc-second (≈0.5 µm deviation ile 100 mm).
E lē o ni fa'amatalaga fa'ata'ita'i ia. O mea moni ia mo tagata fa'atau e le toe gafatia ni fetuunaiga. O se kamupani tu'uina atu vaega o le EUV lithography ta'uta'ua ua fa'aogaina nei la matou Ceramic Straight Ruler mo le fa'atulagaina o fa'avaa lagolago o le fa'ata. "O u'amea e pi'o i taimi o ta'amilosaga umi o le fa'aalia," o le tala lea a le latou tagata su'esu'e autu. "Na pikiina e le granite ni fasi mea. O le fa'ata'ita'iga seramika? Ua 18 masina o tumau pea—e le mana'omia se toe fa'atulagaina."
Ae o le tulaga atoatoa e mafai ona faaleagaina pe a pa'i atu. Toso se fua i luga o se mea, ma e te ono lamatia ai ni maosi laiti, faalavelave i le ata o le suauu, po o le faaleagaina o le elasticity—aemaise lava i u'amea vaivai po o tioata vali. O iina e oso ai i luma le fou a le ZHHIMG faatasi ai ma le fua o le Custom Ceramic air floating.
E lē na'o se pito sa'o o le seramika lea e viliina ai ni pu. O se faiga e fa'ainisinia atoatoa i le ea, ua mamanuina e fa'aaoga ai le fa'aogaina o le computational fluid dynamics e tu'uina atu ai le ea e tafe tutusa ma le laminar i le umi atoa o le fua. A fa'amamafaina i le ea mama ma mago (po'o le nitrogen i siosiomaga ma'ale'ale), e opeopea le fua i le 5–10 microns i luga a'e o le mea faigaluega—e ave'ese ai le pa'i fa'aletino a'o fa'atumauina pea le sa'o lelei. O le i'uga? Fuaina moni e le o se pa'i mo le lamolemole, sa'o, po'o le fa'amaoniga o le maualuga o la'asaga, fa'atasi ai ma le toe faia i lalo i le ±0.2 µm.
O se tasi o fale suʻesuʻe komepiuta kuantum i Suitiselani ua faʻaaogaina nei se fua faʻatonutonu ea e 600-mm Custom Ceramic e siaki ai ave o le superconducting chip. "Soʻo se paʻi - e tusa lava pe faʻaaogaina se penitala vaivai - e faʻaalia ai le atuatuvale e suia ai le faʻatinoga o le qubit," o le faʻamatalaga lea a le latou inisinia faʻagasologa. "O le fua faʻatonutonu seramika e opeopea i le ea e maua ai le faʻasinomaga matou te manaʻomia e aunoa ma le paʻi atu i le vaega. Ua avea ma mea taua tele."
O le mea e mafai ai lenei mea ona o le tuʻufaʻatasia tulaga ese a le ZHHIMG o le saienisi o meafaitino, masini saʻo, ma le tomai faʻapitoa i le fuaina o mea. E ui o le tele o tagata faʻatau oloa e faʻaaogaina keramika o ni vaega faʻatulagaina, matou te faʻaleleia atili i latou o ni mea e fuaina ai mea. O a matou mamanu o le Ceramic Square Ruler e aofia ai pito ua faʻapipiʻiina e puipuia ai le malepe, tua ua maeʻa ona valiina e faʻaitiitia ai le susulu i lalo o moli suʻesuʻe, ma faʻailoga faʻapitoa mo faiga vaʻai otometi. Mo faʻaoga mama, e faʻapupula luga i le Ra < 0.02 µm e faʻaitiitia ai le pipii o vaega.
Ma ona e eseese fa'aoga ta'itasi, matou te lē talitonu i le tasi le lapo'a e fetaui mo tagata uma. E te mana'omia se Ceramic Straight Edge fa'atasi ai ma ala e fa'apipi'i ai le vacuum e taofi ai ni wafers manifinifi i le taimi o le siakiina? Ua matou fausia. Mana'omia sefua fa'atafafāfa'atasi ai ma pu e fa'atulaga i le pito o lau su'ega CMM? Ua mae'a. E te mana'o i se fua fa'atonutonu ea ea fa'apitoa e iai masini fa'alogo mamafa fa'atasi ma le fa'amatalaga fa'atulagaina numera? Ua uma ona faia le beta testing ma se Tier-1 aerospace client.
Ua sosoo ai ma le iloagofie o le alamanuia. I le 2025 Global Advanced Metrology Review, na taʻua ai le ZHHIMG o le pau lea o le kamupani o loʻo ofoina atu se aiga atoa o meafaigaluega faʻasino seramika ua faʻamaonia—e aofia ai fesuiaiga o loʻo feʻaveaʻi—faʻatasi ai ma le faʻamaoniga atoatoa o le geometric ma le mafai ona suʻeina faʻatekinolosi. Ae o le mea e sili atu ona taua, o loʻo faʻatelevaveina le faʻaaogaina: e silia ma le 60% o a matou oka o le fua seramika ua sau nei mai alamanuia na muamua manatu o ia meafaigaluega "soʻona tele"—seʻia oʻo ina latou fuaina le eseesega.
O se kamupani fou e gaosia ni mea fa'afoma'i e gaosia ni mea fa'apipi'i neula ua suia mai le u'amea i la matou Ceramic Square Ruler ma ua va'aia le oso a'e o le latou fua muamua i le 22%. "O le sikuea tuai na tu'ua ai ni vaega laiti i luga o fale titanium," o le tala lea a le latou pule o le QA. "Matou te le'i iloaina se'ia o'o ina matou suia. O lea la, ua pasia e vaega uma siaki va'aia ma fua i le taimi muamua."
O lea la, a o e iloiloina lau isi faʻaleleia atili o fua, fesili ifo ia te oe lava: Pe o loʻu tulaga saʻo o loʻo i ai nei o loʻo faʻaopoopoina ai le le mautonu—pe o le a aveesea ai?
Afai e fa'agaoioia lau faiga i le pito o le faigofie ona iloa, atonu o lo'o taoto le tali i keramika—e le o se mea fou, ae o se mea e mana'omia. I le ZHHIMG, matou te le gata ina gaosia le Ceramic Straight Ruler, Ceramic Square Ruler, po'o meafaigaluega Ceramic Straight Edge. Matou te fa'ainisinia le mautinoa i totonu o micron uma.
Taimi na lafoina ai: Tesema-31-2025