I totonu o potu filemu o fale suʻesuʻe faʻatulagaina, potu mama o semiconductor, ma potu o le metrology a le ea, o loʻo faagasolo ai se suiga filemu. E le naʻo polokalama faakomepiuta poʻo sensors e faʻatinoina—ae o meafaitino lava ia e fausia ai le faavae o le fuaina lava ia. O loʻo i luma o lenei suiga ia mea faigaluega faʻapitoa mo le fuaina o le seramika, e aofia ai le laina ea e sili ona mautu ma le silicon-carbide (Si-SiC) e matuā mautu ma faʻatafafā. E le naʻo ni meafaigaluega nei; o ni mea e mafai ai ona faʻafouina se vaitau fou lea e le mafai ai ona finauina le mautu, le toe fai, ma le le faʻaleagaina o le vevela.
Mo le silia ma le afa seneturi, na pulea ai e le granite uliuli le fua sa'o o le fuaina o mea. O lona fa'aitiitia masani, le fa'alauteleina maualalo o le vevela, ma le lelei tele o le lamolemole na avea ai ma mea e sili ona fa'aaogaina mo papatusi luga, sikuea, ma pito sa'o. Ae a'o fa'agasolo pisinisi i le fa'atinoina o le fa'atagaina o le sub-micron ma e o'o lava i le nanometer-scale—aemaise lava i le semiconductor lithography, space optics, ma le quantum computing—ua fa'ateleina le manino mai o tapula'a o le granite. E mamafa, e faigofie ona micro-chip pe a fa'afeso'ota'i soo, ma, e ui i lona ta'uleleia, o lo'o fa'aalia pea le tolotolo la'ititi mo se taimi umi i lalo o le avega po'o le suiga o le siosiomaga.
Ulufale mai i keramika fa'ainisinia: e lē o ni omea manifinifi e pei ona masani ai, ae o mea mafiafia, tutusa, ma lelei le fa'atinoga e faia i lalo o le vevela ma le mamafa tele. I totonu o nei mea, e lua vasega e tu matilatila mo fa'aoga o le metrology: alumina mama maualuga (Al₂O₃) ma le silicon carbide e fa'apipi'i i le tali (Si-SiC). E ui o lo'o ofoina atu e nei mea uma ni fa'aleleiga tetele i luga o mea masani, ae o lo'o latou faia ni matafaioi eseese—ma fa'atasi ai, latou te fa'atusalia ai le pito i luma o mea e mafai ona faia i le metrology fa'atusatusaga.
Se'i fa'aaogā le fua fa'asa'o o le ea seramika, mo se fa'ata'ita'iga. Ua mamanuina mo le fa'aaogaina i vaega e feavea'i ai le ea po'o ni interferometers opitika, o lenei meafaigaluega e mana'omia ai le sa'o atoatoa, la'ititi le mamafa, ma leai se fe'avea'iga o le vevela. Fa'avae i le aluminafa'atonutonu seramika—fa'a'a'aina i le masini i le lamolemole ma le sa'o i totonu ole ±0.5 µm i luga ole 500 mm ma fa'apupula i le ma'alili o le luga i lalo ole Ra 0.02 µm—e maua tonu lava lena mea. O lo latou mafiafia maualalo (~3.6 g/cm³) e fa'aitiitia ai le inertia i faiga fuaina fa'aolaola, ae o lo latou natura e le fa'amaneta, e le fa'avevela e ave'ese ai le fa'alavelave i siosiomaga eletise po'o maneta maaleale. I meafaigaluega siaki wafer po'o fa'atulagaga fa'atulagaina o le laser tracker, lea e o'o lava i se micron o le aufana e mafai ona fa'api'opi'o ai taunuuga, o le keramika ea sa'o e maua ai se fa'asinomaga mautu, le inert reference e tumau pea i suiga o le vevela ma ta'amilosaga fa'atino.
Ae a manaʻomia le malosi atoatoa ma le faʻavevela o le vevela—e pei o le faʻatulagaina o le faʻata o le vateatea poʻo le maualuga o le malosi o le laser cavity metrology—e liliu atu inisinia i vaega silicon-carbide (Si-SiC) parallelepiped ma sikuea e maualuga le saʻo. O le Si-SiC o se tasi o mea sili ona malosi ua iloa, faʻatasi ai ma le Young's modulus e sili atu i le 400 GPa—e sili atu ma le faatolu le taimi nai lo le uʻamea—ma le faʻavevela o le vevela e tutusa ma le alumini. O le mea taua, o lona coefficient of thermal expansion (CTE) e mafai ona faʻainisinia e fetaui ma tioata opitika poʻo silicon wafers, e mafai ai ona faʻalauteleina le eseesega e lata ane i le zero i faʻapotopotoga hybrid. O se sikuea Si-SiC e faʻaaogaina o se faʻasinomaga autu i se meafaigaluega EUV lithography o le a le gata ina taofia lona foliga—ae o le a tetee malosi i le faʻalavelave mai le vevela poʻo le gatete i le lotoifale.
O le mea e mafai ai ona ausia nei mea e le gata o meafaitino, ae o le tomai i le gaosiga o mea e fuaina ai le seramika. O le masini sa'o o le Si-SiC, mo se fa'ata'ita'iga, e mana'omia ai uili olo taimane, fa'avae CNC sub-micron, ma faiga fa'apipi'i e tele-la'asaga e faia i siosiomaga e pulea le vevela. E o'o lava i le mamafa itiiti o totoe mai le sintering le lelei e mafai ona o'o atu ai i le fa'api'opi'o o le fa'apipi'iina. O le mafua'aga lea e na'o ni nai gaosi oloa fa'apitoa i le lalolagi e tu'ufa'atasia le fa'asologa o meafaitino, fa'atulagaina sa'o, ma le metrology mulimuli i lalo o le tasi taualuga—o se gafatia e vavae'ese ai gaosi oloa moni o le vasega metrology mai le au fa'atau oloa seramika lautele.
I le ZHONGHUI INTELLIGENT MANUFACTURING (JINAN) GROUP CO., LTD (ZHHIMG), o lenei tu'ufa'atasiga fa'atulagaina e taua tele i la matou misiona. O a matou mea e fua ai mea fa'a-seramika—e aofia ai fa'ata'ita'iga o le ea sa'o o le seramika ua fa'amaonia i le DIN 874 Grade AA ma le silicon-carbide (Si-Si-C) parallelepiped maualuga ma mea fa'atafafa e mafai ona su'esu'eina i tulaga fa'atonuina o le PTB ma le NIST—e gaosia i totonu o potu mama ISO Vasega 7 e fa'aaoga ai fa'atonuga fa'apitoa o le sintering ma le fa'auma. O vaega ta'itasi e ui atu i le fa'amaoniga atoatoa o le interferometric, fa'amaoniga CMM o fa'atagaga fa'ata'atitia (flatness, parallelism, perpendicularity), ma su'ega o le atoatoa o le fogaeleele a'o le'i lafoina. O le i'uga o se mea fa'a-fa'asinomaga e le gata ina ausia fa'amatalaga fa'atulagaina—ae sili atu i lo latou tutusa i vaega uma.
O loʻo faʻatupulaʻia le manaʻoga mo lea faʻatinoga. I le gaosiga o semiconductor, o le EUV ma le maualuga-NA lithography systems e manaʻomia ai ni fausaga faʻatulagaina e mautu i totonu o le sefulu nanometers i luga o le mamao o le mita—e le mafai e aunoa ma le thermal-mechanical synergy a le Si-SiC. I le aerospace, o nofoa opitika satelite na faia i faʻasinomaga seramika e faʻamautinoa ai le mautu i luga o le orbit e ui lava i le tele o le taamilosaga o le vevela. E oʻo lava i matāʻupu fou e pei o le iloa o galu kalave poʻo le atinaʻeina o le atomic clock, lea e taua ai le mautu o le picometer, o mea taua o le seramika ma le Si-SiC ua avea ma mea e le mafai ona faʻaaogaina.
O le mea taua, o nei meafaigaluega e taulaʻi foʻi i le faʻaauauina ma le tau atoa o le umiaina. E ui o le tupe faʻafaigaluega muamua i se silicon-carbide parallelepiped e maualuga le saʻo e ono sili atu nai lo le granite tutusa, o lona umi tautua e mafai ona 5-10 taimi umi atu i siosiomaga e tele le faʻaaogaina. E le manaʻomia le faʻaʻuʻuina, teteʻe i vailaʻau masani uma ma plasma, ma e le manaʻomia le toe faʻatulagaina ona o le mitiia o le susu—e le pei o le uʻamea poʻo nisi granite. Mo pule o le lelei o loʻo faʻagaoioia i lalo o tulaga faʻatonuina a le AS9100, ISO 13485, poʻo le SEMI, o lenei faʻatuatuaina e faʻaliliu saʻo atu i le faʻaitiitia o le taimi e le faʻagaoioia ai, itiiti ifo faʻamaumauga o suʻesuʻega, ma sili atu le talitonuina o tagata faʻatau.
E le gata i lea, e le tatau ona galo le matagofie ma le aoga o nei mea faigaluega. O se sikuea Si-SiC ua fa'apupulaina e pupula i se pupula u'amea ae e mama ifo nai lo le u'amea. O se fua fa'asa'o ea seramika e lagona le malosi ae e faigofie ona si'itia—e fetaui lelei mo le fa'amaonia lima i avanoa vaapiapi. O nei uiga fa'aletagata e taua tele i fale su'esu'e moni lea e a'afia ai le fa'agasologa o galuega i aso ta'itasi e le ergonomics ma le faigofie o le fa'aogaina.
O lea la, pe o toe faʻamatalaina ea e mea e fuaina ai mea seramika le saʻo maualuga? O loʻo taoto le tali i faʻamaumauga—ma i le lisi faʻatupulaʻia o taʻitaʻi faʻavaomalo o loʻo faʻamaoti mai nei o ni tulaga faʻatonuina. Mai faʻalapotopotoga faʻale-atunuʻu o loʻo faʻamaonia tulaga faʻatonuina o le umi o le isi tupulaga i sapalai Tier 1 o loʻo faʻamaonia vaega o le EV drivetrain, ua manino le suiga: pe a tatau ona faʻaitiitia le le mautonu, e faʻatuatuaina e inisinia ia seramika faʻainisinia.
A o faaauau pea e pisinisi a latou savaliga faifai pea agai i le puleaina o le fua fa'a-atomika, e tasi le mea moni e le mafai ona faafitia: o le lumanai o le fuaina o mea o le a le vaneina mai maa po o le faia i u'amea. O le a fa'apala, oloina, ma fa'apupula i le seramika—ma le silicon carbide.
O le ZHONGHUI INTELLIGENT MANUFACTURING (JINAN) GROUP CO., LTD (ZHHIMG) o se kamupani e lauiloa i le lalolagi atoa i fofo o fua fa'atatau o le seramika ma le silicon-carbide e sili ona sa'o. O lo'o fa'apitoa i mea e fua ai le seramika, le fua fa'atatau o le ea seramika, ma vaega fa'atafafā ma le silicon-carbide (Si-SiC) e maualuga le sa'o, e tu'uina atu e le ZHHIMG ni mea taua ua fa'amaonia atoatoa, e tusa ai ma le fale su'esu'e mo semiconductor, va'alele, puipuiga, ma su'esu'ega fa'asaienisi. Lagolagoina e tusipasi ISO 9001, ISO 14001, ma le CE, o a matou oloa e fa'atuatuaina e kamupani tekonolosi ta'imua i le lalolagi atoa. Su'esu'e a matou faila o fua fa'atatau maualuluga i lewww.zhhimg.com.
Taimi na lafoina ai: Tesema-05-2025