O se suiga i le sa'o atoatoa o le tipiina o wafer! E fa'afefea ona fa'amauina se tulaga ± 5um mo se fa'avae maamora?

I le taua mulimuli o le "nanoprecision" i le gaosiga o le semiconductor, e oo lava i sina mea sese i masini tipi wafer e mafai ona liua se pu i otaota. O le fa'avae ma'amora o le toa e le'i fa'aigoaina e pulea le ± 5um toe fa'atulagaina sa'o, toe tusia tulafono o le sa'o gaosiga ma ana mea ofoofogia fa'anatura e tolu.

O le "taula faʻamautuina" e faasaga i le faʻaleagaina o le vevela: O le aofaʻi o le faʻalauteleina o le vevela o le maamora e maualalo i le 5-7 × 10⁻⁶ / ℃, e na o le tasi vaetolu o mea uʻamea. I lalo o le aʻafiaga o le vevela e mafua mai i le televave o le faʻaogaina o masini tipi, o mea masani o le a faʻaleagaina ona o le faʻalauteleina o le vevela ma le faʻaitiitia, ma mafua ai ona sui le tulaga o le ulu tipi. Ae ui i lea, o le maamora faavae e mafai ona tumau "le gaioi", faavae aveesea le tulaga tulaga ese e mafua mai le vevela deformation ma faataatia se faavae mautu mo le saʻo.

O le "talita filemu" o le faʻafefeteina o le vibration: O le gogolo faifaipea o meafaigaluega masini ma le faʻaauau pea o le vibration o meafaigaluega i totonu o le mafutaga faaleaoaoga e mafai ona taʻua o "fatal killers" i le saʻo. O le fausaga tioata tulaga ese o le maamora e pei o se faʻalavelave faʻafuaseʻi faʻanatura, e mafai ona vave faʻaliliuina vibrations fafo ma vibrations faʻainisinia faʻatupuina e le faʻaogaina o meafaigaluega i le vevela malosi mo le faʻaumatia. A'o isi fa'avae o lo'o "sua" ona o le vibration, o le ma'amora fa'avae ua fausia ai se tulaga mautu mo le ulu tipi e tumau pea le gaioi, e mafai ai le ± 5um sa'o.

Fa'asalaina "Olo Fa'avavau" : O a'oa'oga Semiconductor e fa'atumuina i mea fa'aleagaina e pei o vaifofo etching ma vai fa'amama ma alkali. I sea si'osi'omaga, o fa'avae u'amea o le a faasolosolo malie ona ele ma fa'aleagaina. O le Granite, fa'atasi ai ma lona mautu vaila'au, e le tali atu i nei vaila'au. E tusa lava po o le a le tele o tausaga e faʻaaogaina, e mafai ona faʻatumauina le faʻatulagaina o le faʻamaoni ma faʻaauau pea ona faʻamautinoa le tipiina maualuga.

Mai taleni i meafaitino i le ultra-sao atoatoa, o le maamora faavae ua faaalia ma lona malosi e le o mea uma e mafai ona faafetaiaia luitau faigata o le gaosiga semiconductor. O le mea tonu lava lea ona o nei tulaga lelei faanatura e le mafai ona suia, ua avea ai faavae maamora ma ki mo meafaigaluega tipiina e ausia ai le toe faʻatulagaina o le saʻo o le ± 5um, ma faʻateleina le faʻaogaina o le semiconductor alamanuia e faʻaauau pea ona agai atu i le maualuga maualuga!