8 Fa'aoga Masani o Vaega o Granite Sa'o i Meafaigaluega Semiconductor

I le pisinisi semiconductor, lea o le "nanometer" o le iunite masani o le fuaina, e le mafai ona finauina le tulaga lelei o le fausaga o masini. A o faʻaitiitia le chip nodes i le 5nm ma tua atu, o le manaʻoga mo le faʻaitiitia o le gatete ma le mautu o le vevela e oʻo atu i tulaga maualuluga. O vaega o le granite saʻo ua suia mai le avea ma se filifiliga maualuga i le "DNA" taua o masini gaosi semiconductor.

I le avea ai ma se tasi e taʻimua i le tuʻuina atu o fausaga meafaigaluega e maualuga le mautu, e iloiloina e le ZHHIMG® faʻaoga sili ona taua e valu lea e avea ai le granite ma toa lē leoa o le falegaosimea.

1. Fa'avae o Masini Lithography

O le masini lithography o le masini sili ona lavelave i le filifili o semiconductor. E tatau i le fa'avae ona lagolagoina ni faiga opitika tetele a'o tumau pea le filemu. O le maualuga o le mafiafia ma le fa'aitiitia o le vevela i totonu o le Granite e mafai ai ona mitiia ni gatete laiti mai le siosiomaga o lo'o siomia ai, ma fa'amautinoa ai o lo'o tumau pea le sa'o o le puna o le malamalama i le tulaga atomika.

2. La'asaga o le Gaoioiga o le Ea

O le felauaiga o le wafer e vave tele e manaʻomia ai le gaoioi e aunoa ma le feteʻenaʻi. Talu ai e mafai ona faʻapipiʻi le granite i le tulaga lamolemole e itiiti ifo i le micron, e avea ai ma paʻaga atoatoa mo tekinolosi e feaveaʻi ai le ea. O le "air cushion" e faaseʻe i luga o le granite e aunoa ma le ofuina, ma maua ai le gaioiga lamolemole e manaʻomia mo le scanning ma le tulaga.

3. Fa'avae o Su'esu'ega ma Fuainumera o Wafer

A maeʻa ona vaneina, e tatau ona siaki vaega o le masini mo ni faʻaletonu. Soʻo se faʻalauteleina o le vevela i totonu o le faʻavaa o le masini o le a iʻu ai i se "false positive" poʻo se faʻaletonu ua misia.Vaega granite sa'oia maua ai se siosiomaga e lē gaoioi e aunoa ma le vevela, ma ia mautinoa o faʻamaumauga o suʻesuʻega o se ata moni lea o le fogāeleele o le wafer, ae lē o le faʻaleagaina o le masini.

4. Faiga o le Gaoioiga o Gantry (Fausaga o le Alalaupapa)

I le ta'aviliina saoasaoa maualuga po'o le fa'apipi'iina o uaea, e tatau ona vave gaoioi le "alalaupapa" po'o le gantry e aunoa ma le lūlūina. O le gantry granite e ofoina atu se fua fa'atatau sili atu o le malosi-i-le-mamafa pe a fa'atusatusa i le u'amea vela, ma fa'aitiitia ai le "taimi e fa'amautu ai" - o le taimi e tatau ai i se masini ona fa'atali mo le taofi o le gatete a'o le'i mafai ona fa'atinoina lana isi galuega.

5. Fa'avaa o Meafaigaluega Fa'aleleia Laser

A maua se fa'aletonu i se ufimata po'o se wafer, e fa'aaogaina lasers mo le toe fa'aleleia sa'o. O lenei mea e mana'omia ai se fa'avae fa'atulagaina e matua'i le maneta ma e le tafe ai le eletise. O le granite e fa'anatura lona puipuiga, e puipuia ai le fa'alavelave fa'aeletoronika mai le a'afia ai le ala maaleale o le laser.

6. CMM (Masini Fua Fa'atasi) mo Potu Mama

O le puleaina o le lelei i totonu o le fale gaosi semiconductor e manaʻomia ai CMM e mafai ona teteʻe atu i tulafono faʻatonutonu mama. E le pei o le uʻamea, e mafai ona faʻamamago ni vaega laiti pe faʻaʻeseʻese, o le granite e teteʻe atu i le 'aisa ma le ele, ma tausia ai se fausaga mautu maualuga o le meafaigaluega e aunoa ma le faʻaleagaina o le siosiomaga.

7. Fa'avae o le Fa'apupulaina Fa'amekanika Fa'akemikolo (CMP)

O le faiga o le CMP e aofia ai le slurry ma vailaʻau e matuā faʻaleagaina ai uʻamea. O le teteʻe masani o le Granite i vailaʻau faʻakemikolo e avea ai ma mea lelei mo le faʻavae o le fausaga o iunite faʻapala, ma faʻamautinoa ai le umi o le ola e tusa lava pe i siosiomaga faigata o vailaʻau.

8. Faiga Fa'apipi'i Ion

O siosiomaga maualuga-voltage i totonu o ion implants e manaʻomia ai vaega e le faʻalavelave i ion beams pe faia ai le electrical arcing. O meatotino dielectric o le Granite e avea ai ma se filifiliga saogalemu ma mautu mo le faʻapipiʻiina o vaega eletise maaleale ma le vacuum.

Aiseā e fa'aaogā ai le ZHHIMG® mo le Semiconductor Infrastructure?

I le ZHHIMG®, matou te malamalama o se fa'avae o masini semiconductor e sili atu nai lo na o se fasi ma'a—o se meafaigaluega ua uma ona fa'atulagaina. O la matou ma'a granite uliuli fa'apitoa, fa'atasi ai ma lo matou tomai i le oloina o le ma'a mo le silia ma le 30 tausaga, e mafai ai ona matou ausia le mafolafola ma le tutusa o le ma'a e fetaui ma mana'oga faigata o le vaitaimi o le sub-micron.

• Meafaitino: Maa granite uliuli ZHHIMG® e mafiafia tele ma manifinifi.

• Sa'o: O togi sa'o e tusa ai ma le DIN 876 Vasega 00 po'o fa'amatalaga fa'apitoa a le JIS/ASME.

• Fa'apitoa: O mea fa'apipi'i tu'ufa'atasi, T-slots, ma ala e feavea'i ai le ea ua uma ona fa'apipi'i muamua i totonu o a matou fale faigaluega e 10,000m² le tele e tumau le vevela.